新(xin)能源汽車(che)半導體行業水環真空泵系統應(ying)用(yong)案例
半導體行(xing)業的真空應(ying)用工藝:
1、半(ban)導體行業中的蒸發,濺射,PECVD,真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)干法刻蝕,真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)吸附(fu),測試設備(bei),機(ji)械手,自動化真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)清(qing)掃等鍵(jian)合(he)工序里所(suo)需用真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)為生產(chan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(中高真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong));清(qing)掃真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(粗(cu)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong));工藝真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(粗(cu)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong))。部(bu)分(fen)還有要求真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵向被抽(chou)空(kong)(kong)間內(nei)的返流為零,以保護工件免受污染。
2、工藝真(zhen)空(kong)主要(yao)利用(yong)(yong)負(fu)壓吸(xi)附進行工件搬運或(huo)夾持,清掃(sao)真(zhen)空(kong)主要(yao)利用(yong)(yong)負(fu)壓與大(da)氣壓差進行液體或(huo)顆粒(li)的清除或(huo)輸送(song),此類應用(yong)(yong)中(zhong)液環真(zhen)空(kong)泵和多級(ji)離心風機是非常關(guan)鍵的生產輔助設備。
半導體真空系統應用要求及案例:
1、應用(yong)要(yao)求——半導體行業(ye)的工藝特(te)性,要(yao)求真空系統(tong)絕對(dui)(dui)無油(you),對(dui)(dui)設(she)備的穩定(ding)性和可(ke)靠(kao)性要(yao)求也比較高。
2、應用案(an)例——湖南某電氣公司擁有一流(liu)的功率半(ban)導體生產線,形成從設(she)計、制(zhi)造(zao)、封裝(zhuang)(zhuang)與(yu)測試(shi)等全套(tao)能力,電氣汽(qi)車組件配(pei)套(tao)建設(she)項目,選用了2套(tao)康斯頓2BV水環真(zhen)(zhen)空系(xi)統,(水環真(zhen)(zhen)空泵(beng)安全可靠,100%無油,完(wan)全滿足半(ban)導體行業(ye)的工藝(yi)真(zhen)(zhen)空要(yao)求),目前設(she)備(bei)安裝(zhuang)(zhuang)調試(shi)完(wan)畢,機(ji)組運行穩定。
該項目全部產能將用于新能源汽車用基材及組件生產,恒才機電康斯頓真空泵系統的應用,整體提升了電氣功率半導體工藝平臺及生產制造能力,真空泵系統/真空泵工藝可滿足新能源汽車領域巨大市場需求,進一步做大做強做優功率半導體產業。
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