半導體行業水環真空(kong)泵系(xi)統應用案例
半導(dao)體行(xing)業(ye)的真(zhen)空應用工藝:
1、半導體(ti)行業中(zhong)的蒸發,濺射,PECVD,真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)干法(fa)刻(ke)蝕,真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)吸附(fu),測試設備,機械手,自動化真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)清掃(sao)等鍵合(he)工(gong)序里所(suo)需用(yong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)為生產真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(中(zhong)高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong));清掃(sao)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(粗(cu)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong));工(gong)藝真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(粗(cu)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong))。部分還有要求真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵向被(bei)抽空(kong)(kong)(kong)間內的返流為零,以保護工(gong)件免受污染。
2、工(gong)藝(yi)真(zhen)空(kong)主要(yao)利(li)用負壓(ya)吸附進行(xing)工(gong)件(jian)搬運或(huo)(huo)夾持,清掃(sao)真(zhen)空(kong)主要(yao)利(li)用負壓(ya)與大氣(qi)壓(ya)差(cha)進行(xing)液(ye)體或(huo)(huo)顆粒的清除或(huo)(huo)輸(shu)送,此類應用中液(ye)環(huan)真(zhen)空(kong)泵和多級(ji)離(li)心風(feng)機是(shi)非常關鍵的生產輔助設備。
半導體真空系統應用要求及案例:
1、應用要(yao)(yao)求——半導(dao)體行(xing)業的工藝(yi)特性(xing)(xing),要(yao)(yao)求真空系統絕對無油,對設備的穩定性(xing)(xing)和可(ke)靠性(xing)(xing)要(yao)(yao)求也比較高。
2、應用案例——湖南(nan)某電(dian)氣公司(si)擁有半(ban)導(dao)體生產(chan)線,形成從設(she)(she)計、制造、封裝與(yu)測試等全套能力,電(dian)氣汽車組件配(pei)套建設(she)(she)項目,選用了2套康斯頓2BV水環真空(kong)系統,(水環真空(kong)泵安(an)全可靠,100%無油,完全滿足半(ban)導(dao)體行業的工藝真空(kong)要求),目前設(she)(she)備安(an)裝調試完畢,機(ji)組運行穩(wen)定。
該項目全部產能將用于新能源汽車用基材及組件生產,恒才機電康斯頓真空泵系統的應用,整體提升了電氣功率半導體工藝平臺及生產制造能力,真空泵系統/真空泵工藝可滿足新能源汽車領域巨大市場需求,進一步做大做強做優功率半導體產業。
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