螺桿真空泵于(yu)半導體設備意義重大(da):
若半導體(ti)器件不同(tong)材料層(ceng)之間混入(ru)氣體(ti)分子,會破壞器件的(de)(de)電學(xue)或光學(xue)性能,而真空系統(tong)可對芯片的(de)(de)性能和良率(lv)起(qi)決定性作用。
半導體真空泵應用:
晶圓(yuan)制造過(guo)程中(zhong)的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛(ke)制程。
Atlas螺(luo)桿真空(kong)(kong)機擁有(you)VSD和(he)設定點控制功能,而常(chang)規的(de)真空(kong)(kong)泵是不具(ju)備這樣的(de)功能的(de),可(ke)根據實際(ji)所需真空(kong)(kong)水(shui)平或速(su)度,提供(gong)需求的(de)真空(kong)(kong)氣量,避(bi)免造成浪(lang)費,Atlas螺(luo)桿真空(kong)(kong)泵是真空(kong)(kong)領(ling)域的(de)節能減(jian)排(pai)真空(kong)(kong)系(xi)統,節能可(ke)達(da)50%,深受(shou)用(yong)戶好評。
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