真空泵的作用是從除了氣體分子的真空室抽真空,以減少在所述真空室中的氣體壓力,以便達到所需的真空度。廣義地從大氣中高真空具有大的范圍內,到目前為止還沒有一個真空系統可以覆蓋該范圍。因此,為了實現不同的產品的過程指標,和工作的設備的工作壽命要求效率,不同的真空部分需要選擇真空系統的不同的配置。為了獲得最佳的結構中,真空泵系統被選擇,有以下幾點應予以考慮。
1,確定(ding)在真空中工作范圍
它(ta)首先檢(jian)查以確定真(zhen)空(kong)的(de)(de)每(mei)個過程(cheng)的(de)(de)要求的(de)(de)程(cheng)度。由于(yu)每(mei)個進(jin)程(cheng)具有其自身的(de)(de)真(zhen)空(kong)范(fan)圍的(de)(de)適應,必須仔細(xi)研究(jiu),以確定。
2,確定最終(zhong)的真空(kong)
在真空排(pai)氣系統由(you)過程(cheng)所需要的(de)(de)真空度(du)的(de)(de)檢查的(de)(de)基礎上確定(ding)的(de)(de)限(xian)制的(de)(de)真空度(du),因(yin)為該系統確定(ding)真空系統的(de)(de)工作(zuo)最好的(de)(de)真空度(du)最終。
一(yi)般地,該系統的(de)極限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)比操(cao)作系統,真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)低(di)20%,比真(zhen)(zhen)空(kong)前(qian)級泵的(de)極限(xian)程度(du)低(di)50%。
3,選擇(ze)主真空(kong)泵計算(suan)
S = 2.303v / TLOG(P1 / P2).
其中:S是(shi)真(zhen)空(kong)(kong)抽速,v是(shi)真(zhen)空(kong)(kong)室的容積,t為(wei)達到所(suo)要求的真(zhen)空(kong)(kong)度(du)所(suo)需(xu)的時間,p1為(wei)初始壓力,P2是(shi)真(zhen)空(kong)(kong)的所(suo)需(xu)程度(du)。
4,真空容積
檢查(cha)時間以(yi)達到所(suo)需的真空水平(ping)時,泄漏的真空線的流動(dong)阻力。
考慮的(de)需(xu)求(qiu),以達到真空(kong)排氣速(su)度(du)所需(xu)的(de)真空(kong)度(du)后,根據工藝要求(qiu)一定的(de)條(tiao)件下(xia)維持(chi)。
5,排氣的類型和(he)量泵送
檢查的(de)(de)排氣(qi)用吸入(ru)工藝(yi)要求的(de)(de)類型(xing)和數量。因為反應(ying)發生(sheng),如(ru)果液體泵(beng)的(de)(de)氣(qi)體種類和真空泵(beng)系統將被(bei)污染。同時,氣(qi)體必(bi)須考慮,以確(que)定在(zai)泵(beng)送過(guo)程中(zhong)由時間產生(sheng)的(de)(de)廢氣(qi)的(de)(de)適當的(de)(de)量。