隨著在(zai)(zai)屏幕閱讀的(de)(de)幻想未來,顯(xian)示面板(ban)(ban)行(xing)業的(de)(de)高(gao)速(su)發(fa)展(zhan)。面板(ban)(ban)的(de)(de)制造過(guo)程(cheng)非常復雜。從玻(bo)璃基板(ban)(ban)到(dao)成品至(zhi)少需要(yao)300道工序。整個(ge)過(guo)程(cheng)需要(yao)在(zai)(zai)無塵的(de)(de)環境和精確的(de)(de)技術過(guo)程(cheng)中(zhong)進行(xing)。因此,在(zai)(zai)面板(ban)(ban)生產過(guo)程(cheng)中(zhong),高(gao)度可靠的(de)(de)真空供(gong)應尤為(wei)重要(yao)。平(ping)板(ban)(ban)顯(xian)示器(qi)(qi)廠家現在(zai)(zai)使用干螺桿(gan)真空泵技術為(wei)其高(gao)負(fu)荷(he)L/L,CVD,PVD,刻蝕(shi),溶劑蒸發(fa)工藝提供(gong)真空。本文旨在(zai)(zai)介紹(shao)下螺桿(gan)真空泵在(zai)(zai)平(ping)板(ban)(ban)顯(xian)示器(qi)(qi)中(zhong)的(de)(de)應用。
平板顯(xian)示器(FPD)的(de)制造過程需(xu)要(yao)真(zhen)空和減排設(she)備,這(zhe)些設(she)備可以(yi)支撐大(da)(da)型處(chu)(chu)理(li)室(shi)并以(yi)最大(da)(da)的(de)可靠性提(ti)供(gong)高氣體流量(liang)。需(xu)要(yao)真(zhen)空設(she)備來(lai)泵送有(you)毒,自燃性和腐蝕性氣體,并處(chu)(chu)理(li)在處(chu)(chu)理(li)室(shi)中形(xing)成(cheng)的(de)大(da)(da)量(liang)固(gu)體處(chu)(chu)理(li)副產物。
為什(shen)么選擇平板(ban)顯示器(qi)的螺桿(gan)真空泵(beng)?
選擇干式螺桿真空泵的原因實際上與其產品特性有關。它具有以下三個優點:
1、高可靠性
干式(shi)螺(luo)(luo)桿真(zhen)空(kong)泵由于其成(cheng)熟的雙螺(luo)(luo)桿設計和智(zhi)能(neng)的溫度管理而特別高(gao)(gao)效。這(zhe)些真(zhen)空(kong)泵即使(shi)在最嚴苛的應用(yong)(yong)中也能(neng)提供高(gao)(gao)可靠性(xing)和長使(shi)用(yong)(yong)壽(shou)命。
2、配備節能模式功能,可(ke)以節省大量能源
干(gan)式(shi)螺桿真空泵配備有節(jie)能(neng)電機和世(shi)界先進(jin)的節(jie)能(neng)模(mo)式(shi)功能(neng)。控制系統可根據需求(qiu)自動調整為節(jie)能(neng)模(mo)式(shi),并(bing)在需要時恢復(fu)至最大抽(chou)氣模(mo)式(shi),從(cong)而節(jie)省了大量能(neng)源。
3、最小化維護和運(yun)營成本(ben)
它(ta)的(de)(de)(de)一小部分部件(包括(kuo)轉子)都是一件式的(de)(de)(de)。得(de)益于其(qi)模塊化設計以及獨立的(de)(de)(de)羅茨泵和(he)螺桿泵機架,它(ta)易于安裝和(he)維護(hu),大(da)(da)大(da)(da)降低了大(da)(da)修成本。由于優化的(de)(de)(de)空間設計和(he)節(jie)能潛力,真空泵的(de)(de)(de)運行成本較低。
由多個干式螺(luo)桿真(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)與羅(luo)茨泵(beng)組成(cheng)的(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統是(shi)平板顯示器應用的(de)(de)(de)最佳解決(jue)方(fang)案(an),例如快速(su)排空(kong)(kong)(kong)以(yi)進入腔室,排空(kong)(kong)(kong)過渡腔室和(he)薄膜沉積(ji)腔室。在相同類型的(de)(de)(de)泵(beng)中,它們(men)提供最快的(de)(de)(de)泵(beng)送時間(jian)和(he)最快的(de)(de)(de)泵(beng)送速(su)度。通過標準(zhun)化(hua)(hua)設(she)計,真(zhen)空(kong)(kong)(kong)使系統提供了(le)極大(da)的(de)(de)(de)用戶(hu)友好性(xing)。用戶(hu)還可以(yi)受益于標準(zhun)化(hua)(hua)的(de)(de)(de)接口,例如電(dian)氣(qi)連接,吹(chui)掃氣(qi)體和(he)冷卻水,方(fang)便的(de)(de)(de)設(she)備維護(hu)以(yi)及優化(hua)(hua)的(de)(de)(de)泵(beng)管理。
以(yi)上是螺桿真(zhen)空泵在平(ping)板(ban)顯(xian)示器中(zhong)的(de)應(ying)用,如(ru)果您想了解(jie)更多,可以(yi)聯系我們公司。根(gen)據CVD,PVD,刻蝕(shi),PR涂層,盒成型,OLED蒸發(fa),包裝(zhuang),離(li)子注入等不(bu)同(tong)的(de)工(gong)藝要求,我們可以(yi)為客(ke)戶定(ding)制專業的(de)真(zhen)空解(jie)決方案。