工作在10-5Pa以上的超高真空機組具有擴散泵,分子泵超高真空機組和無油超高真空機組。該機組具有以下特征:
1.主(zhu)泵的(de)最高真空(kong)度很高,在10-7?10-8pa以上。
2.可以承(cheng)受200?450°C的高溫烘烤。
3.主泵回油(you)的分壓非常低。
4.對泵(beng)送氣體(ti)具有較(jiao)強選擇性(xing)的主泵(beng)應配備足夠(gou)大的輔助泵(beng)。
5.要求真(zhen)空室,管道,閥等的(de)材料的(de)氣體輸出率低,氣體泄漏率小(xiao)。
(1)擴散泵超高真空(kong)機(ji)組(zu)
以擴散泵為主泵的(de)超高(gao)真(zhen)空(kong)機組的(de)極限真(zhen)空(kong)度為10-7?10-8Pa。
為了(le)減(jian)少來自(zi)擴(kuo)(kuo)散(san)泵前級的(de)(de)(de)氣體向后擴(kuo)(kuo)散(san)和機械泵油的(de)(de)(de)反向擴(kuo)(kuo)散(san)對(dui)極限(xian)真(zhen)空的(de)(de)(de)影響,可以(yi)在(zai)前級使用(yong)抽速小的(de)(de)(de)擴(kuo)(kuo)散(san)泵降低擴(kuo)(kuo)散(san)泵的(de)(de)(de)壓縮比,減(jian)少小擴(kuo)(kuo)散(san)。如(ru)果將鈦升華捕集(ji)器添加到擴(kuo)(kuo)散(san)泵的(de)(de)(de)入口,則可以(yi)進一步降低來自(zi)擴(kuo)(kuo)散(san)泵的(de)(de)(de)氮氣的(de)(de)(de)分壓,并且可以(yi)獲得10-11
Pa的(de)(de)(de)超高真(zhen)空。
(2)分子泵超高真(zhen)空機組
以分子泵為主泵的超高(gao)真(zhen)空機組的極(ji)限真(zhen)空度為10-8Pa,具有啟(qi)動快,油污少的特點(dian)。
增加機(ji)組中的液氮(dan)捕集器可(ke)以提高(gao)抽速。水冷疏水閥位(wei)于機(ji)械泵的出口(kou),以防止油蒸氣進入系統。
(3)無油超高真空(kong)機組
不使用油(you)作(zuo)為工作(zuo)流體且未用有機(ji)材料密封的(de)真(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)稱為無油(you)超高真(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)。常用的(de)主(zhu)泵(beng)有低溫(wen)泵(beng),鈦泵(beng),濺射(she)離子泵(beng)等,它(ta)們(men)可(ke)以達(da)到10-7?10-8Pa的(de)極(ji)限真(zhen)空度。與抽油(you)機(ji)相比,具有以下優點:
1.可獲得清(qing)潔的真空,無污(wu)染源。
2.當(dang)啟動無油真空泵(beng)時,可以將預(yu)抽泵(beng)隔離。
3.如果抽水突然(ran)停止,則不會污染系(xi)統。
4.無(wu)油,無(wu)聲音(yin),無(wu)振動,改善了(le)工作環境。
5.極限(xian)真空(kong)度高,抽速大,抽氣時間短。