在充(chong)分利用真空技術和真空泵配(pei)置的(de)各種設(she)備中,真空是(shi)核心存在,可(ke)以滿足許多人的(de)需求。但是(shi)如(ru)何(he)獲得(de)真空是(shi)一個更(geng)困難(nan)的(de)問題(ti)。然后,我將與(yu)您分享水環真空泵的(de)真空抽氣方(fang)法(fa)。
1.機械方(fang)法
①可(ke)變容量泵(beng):利用泵(beng)腔容積的(de)周期性變化來完成吸,排氣,達(da)到抽氣的(de)目的(de)。該泵(beng)分(fen)為(wei)兩種類(lei)型:往復(fu)式和(he)旋轉式。
②動量傳遞泵:依(yi)靠高(gao)速旋轉葉片或高(gao)速射流將(jiang)動量傳遞給氣體(ti)或氣體(ti)分(fen)子,從(cong)而使氣體(ti)從(cong)泵的入(ru)口連續地(di)傳遞到出口。分(fen)子真空泵,水蒸氣噴射泵和擴散泵屬于這一類。
2.物理定(ding)律
氣體捕集泵是一種真空泵,它可使氣體分子吸附或冷凝在泵內的表面上。它具有以下形式:
①吸(xi)附(fu)泵(beng):一種依靠大(da)表面(mian)積吸(xi)附(fu)劑(如多孔物(wu)質)的物(wu)理吸(xi)附(fu)的捕集泵(beng)。
②吸(xi)氣泵:使用吸(xi)氣劑(ji)化(hua)學捕(bu)集氣體的(de)泵。吸(xi)氣劑(ji)通常是(shi)塊狀或沉積的(de)新鮮(xian)薄膜(mo)形式(shi)的(de)金屬或合金。
③吸(xi)氣離子泵:用(yong)于通(tong)過(guo)電(dian)場或電(dian)磁場的作用(yong)使電(dian)離的氣體吸(xi)附在吸(xi)氣材料的表面,達到抽氣的目的。它具有以下(xia)兩(liang)種形式:
(1)蒸發離子泵(beng):泵(beng)內是一種真(zhen)空泵(beng),它(ta)將(jiang)離子化氣(qi)體吸(xi)附在吸(xi)氣(qi)材料上,該吸(xi)氣(qi)材料以(yi)不(bu)連續或連續的方式升華(或蒸發)并覆蓋(gai)泵(beng)內壁。
(2)濺(jian)射離子泵(beng):泵(beng)內一種(zhong)被離子化氣體(ti)吸附在(zai)從陰極連續濺(jian)射的吸氣材料上的泵(beng),以達(da)到泵(beng)送的目的。
可(ke)以看(kan)出,它(ta)主要(yao)用于通過上面介紹(shao)的機械和(he)物(wu)理方(fang)法(fa)抽真(zhen)空,并且可(ke)以以各種(zhong)形式使用。為確保獲得的真(zhen)空度符合(he)質量要(yao)求(qiu),我們必須確保對真(zhen)空度有一定的了解和(he)熟悉。