羅茨真空泵不能單獨使用,必須配上前級泵組成機組,使用前級真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力,由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的,所以選擇前級真空泵的抽速是相當重要的。羅茨真空泵的最大壓縮比是隨排出壓力而變化的,在高排出壓力下,最大壓縮比最多大3:1,而最高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達50:1,甚至更高些。因此,選擇前級泵的抽速,要根據羅茨真空泵的長期工作壓力范圍考慮。
例如有一系統用(yong)羅茨真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)機組抽(chou)氣,要求在1mbar入口壓力時有600升(sheng)/秒(miao)的抽(chou)速,并(bing)長期工作,問應選擇多大抽(chou)速的前級泵(beng)(beng)。
先假(jia)定用30升/秒(miao)的(de)前(qian)級(ji)泵時(shi),壓縮(suo)比K=600:30=20得出K=20時(shi)最大排出壓力為30 mbar。
由(you)此得(de)出(chu),當選(xuan)用30升/秒(miao)前(qian)(qian)級(ji)泵時,在入(ru)口(kou)壓力(li)低于(yu)1.5 mbar以下工作是(shi)可行的(de),但高(gao)于(yu)1.5 mbar入(ru)口(kou)壓力(li)工作時就選(xuan)用大一些(xie)前(qian)(qian)級(ji)泵了(le)。該例(li)中(zhong),工作真(zhen)空度1 mbar低于(yu)1.5 mbar,所(suo)以30升/秒(miao)的(de)前(qian)(qian)級(ji)泵可以滿(man)足上述真(zhen)空系統的(de)抽氣要求。
1應考慮預抽時間的要求
如果正常工(gong)作(zuo)時間遠比預抽時間長(chang),可選較(jiao)小的(de)(de)(de)前級泵;假如真空室(shi)較(jiao)大(da),而(er)且要求很(hen)快預抽,就要用較(jiao)大(da)的(de)(de)(de)前級泵,有時為了(le)(le)更好發揮設(she)備的(de)(de)(de)效率,機組裝有較(jiao)大(da)的(de)(de)(de)預抽泵,在正常工(gong)作(zuo)后停(ting)掉它(ta),而(er)用較(jiao)小的(de)(de)(de)前級泵維持,這樣做(zuo)是為了(le)(le)節約功(gong)率。
2應考慮對(dui)羅茨真空泵(beng)機組的極限壓力的要求
是選(xuan)擇前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)必須考慮的(de),對極限真(zhen)空(kong)度(du)要(yao)求較高(達(da)1X10-3Pa~1X10-2 Pa壓力)一般選(xuan)用雙級旋片式(shi)油封(feng)機(ji)械泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)或雙級滑閥(fa)機(ji)械泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)作為前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。極限真(zhen)空(kong)度(du)要(yao)求在(zai)(zai)(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之(zhi)間(jian)可選(xuan)用單(dan)級油封(feng)機(ji)械泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)作為前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng),極限真(zhen)空(kong)度(du)要(yao)求在(zai)(zai)133~1333Pa之(zhi)間(jian)可選(xuan)用往復式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)或液環式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)作為前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。
當選(xuan)用(yong)往復式(shi)或液環式(shi)粗(cu)真空泵(beng)(beng)作為(wei)羅茨(ci)(ci)真空泵(beng)(beng)的前級泵(beng)(beng)時(shi),前級泵(beng)(beng)的抽速一般為(wei)羅茨(ci)(ci)真空泵(beng)(beng)的1/2-1/4,不能(neng)太(tai)大,否則將使壓縮比過大,造成羅茨(ci)(ci)真空泵(beng)(beng)的排(pai)氣溫度高(gao)而(er)不能(neng)正常工(gong)作。
3還(huan)應考慮被抽(chou)氣(qi)體中是(shi)(shi)否(fou)有(you)腐蝕性介質(zhi),是(shi)(shi)否(fou)含有(you)可凝性氣(qi)體,是(shi)(shi)大量的(de)(de)還(huan)是(shi)(shi)微(wei)量的(de)(de)
如果含有(you)腐蝕(shi)性(xing)氣體(ti),就不(bu)能選(xuan)用(yong)油封機(ji)械泵(beng)(beng),油封機(ji)械泵(beng)(beng)還(huan)不(bu)適宜抽除含有(you)大(da)量可(ke)凝性(xing)蒸汽的氣體(ti),否則將(jiang)會使(shi)密封液很(hen)快乳化,抽除含有(you)微(wei)量可(ke)凝性(xing)蒸汽的氣體(ti)時,也必須采用(yong)帶有(you)氣鎮裝置的油封機(ji)械泵(beng)(beng)作(zuo)為(wei)前(qian)級泵(beng)(beng)。
為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率,可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機組,此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。
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