自打干式真空泵被設計出來,機械機構就有明顯的差異。當然這是由于廠家和品牌不同造成的.干式真空泵分為圓裂片式真空泵、爪式真空泵、組合式(羅茨+爪)真空泵、螺桿式真空泵。前面的3中我們稱為多級泵,這種的工作方式差不多。都是利用多級真空腔對氣體進行反復的壓縮來產生真空。在多次反復壓縮的過程當中,氣體的溫度和壓力也產生比較復雜的變化,因而比較容易引起氣體物理特性的變化。螺桿真空泵呢就是單級泵.只靠一個真空腔宋產生真空。根據其氣體壓縮方式的不同,又可將其分為內部壓縮型螺桿泵和外部壓縮型螺桿泵。下面就來詳細的了解一下吧。
圓裂片(pian)式真空泵
雙圓裂片式設(she)計(ji)和(he)目前最(zui)流行(xing)和(he)廣泛(fan)應用的(de)羅茨泵(beng)非常相似。事實上(shang),一些最(zui)早期的(de)干泵(beng)設(she)計(ji)思想(xiang)就(jiu)是將羅茨泵(beng)疊加起(qi)(qi)來(lai)。這種多級(ji)設(she)計(ji)使得氣體通(tong)路相當(dang)復雜,并且每一級(ji)都需要較(jiao)大(da)流量(liang)的(de)氮(dan)氣起(qi)(qi)到稀釋和(he)隔離作用。同時,為(wei)了(le)達到好的(de)真(zhen)空度,對(dui)各(ge)級(ji)的(de)間隙有非常嚴格的(de)要求。當(dang)然,這種設(she)計(ji)由于增(zeng)加了(le)內(nei)部的(de)壓(ya)縮比而使得其耗電量(liang)相對(dui)較(jiao)低。
三葉圓裂(lie)片式真空(kong)泵
三(san)葉圓(yuan)(yuan)(yuan)裂(lie)片(pian)式(shi)設(she)計(ji)和雙(shuang)圓(yuan)(yuan)(yuan)裂(lie)片(pian)式(shi)設(she)計(ji)的(de)(de)原理完全相(xiang)同,只是在旋(xuan)轉一圈中將(jiang)氣(qi)體分(fen)為三(san)份而不是像雙(shuang)圓(yuan)(yuan)(yuan)裂(lie)片(pian)式(shi)分(fen)為兩(liang)份。這兩(liang)種設(she)計(ji)有著相(xiang)同的(de)(de)優點和缺點。為了進一步降低耗(hao)電量,在傳動(dong)部分(fen)有的(de)(de)廠家選用(yong)兩(liang)個(ge)直流(liu)馬達,但這也會(hui)導致扭矩減小(xiao),重新啟動(dong)的(de)(de)能力—下降。同雙(shuang)圓(yuan)(yuan)(yuan)裂(lie)片(pian)式(shi)設(she)計(ji)一樣,三(san)葉圓(yuan)(yuan)(yuan)裂(lie)片(pian)式(shi)設(she)計(ji)的(de)(de)每一級都(dou)需要較大流(liu)量的(de)(de)氮(dan)氣(qi)來起(qi)到(dao)稀釋(shi)和隔離(li)作用(yong)。
組(zu)合式(羅茨+爪(zhua))真(zhen)空泵(beng)
組合式(shi)(羅茨+爪)設計(ji)用羅茨來(lai)(lai)提高在(zai)較低壓力下的(de)抽氣(qi)(qi)效率(lv),用爪來(lai)(lai)提高在(zai)較高壓力下的(de)抽氣(qi)(qi)效率(lv)。它的(de)基本原理和氣(qi)(qi)體(ti)通路同前面介紹(shao)的(de)圓裂(lie)(lie)片(pian)式(shi)設計(ji)完全相(xiang)同。也有些廠家將其(qi)最后一級改為(wei)星(xing)型設計(ji),這樣可(ke)以在(zai)旋轉一圈中將氣(qi)(qi)體(ti)分(fen)為(wei)五份(fen),就(jiu)像三圓裂(lie)(lie)片(pian)式(shi)設計(ji)可(ke)以將其(qi)分(fen)為(wei)三份(fen)。同樣,在(zai)很多工藝中,組合式(shi)設計(ji)的(de)每(mei)一級都需要(yao)較大(da)流量的(de)氮氣(qi)(qi)來(lai)(lai)起到稀釋(shi)和隔離作(zuo)用。
外部(bu)壓縮型(xing)螺桿式真(zhen)空泵(beng)
在(zai)外部壓(ya)縮型螺桿(gan)式設(she)計(ji)中(zhong),使(shi)用一對等(deng)距(ju)螺桿(gan)。這(zhe)(zhe)使(shi)得(de)(de)內(nei)部壓(ya)縮減(jian)到最小,同時(shi)使(shi)得(de)(de)氣體(ti)(ti)(ti)通路(lu)最短(duan)也最簡單。這(zhe)(zhe)樣(yang),氣體(ti)(ti)(ti)在(zai)泵(beng)體(ti)(ti)(ti)內(nei)停留(liu)的時(shi)間也最短(duan)。雖然(ran)這(zhe)(zhe)種設(she)計(ji)由于減(jian)少了內(nei)部的壓(ya)縮比而使(shi)得(de)(de)其耗電量(liang)相對較(jiao)高,但在(zai)很多復雜的半導體(ti)(ti)(ti)工(gong)藝(yi)中(zhong)表現出極高的穩定性。這(zhe)(zhe)種單級(ji)設(she)計(ji)使(shi)得(de)(de)其對氮(dan)氣用量(liang)的要求也非常小而且簡單,這(zhe)(zhe)樣(yang)就(jiu)使(shi)得(de)(de)其在(zai)不(bu)同工(gong)藝(yi)中(zhong)有很好(hao)的互換(huan)性。在(zai)很多清潔的工(gong)藝(yi)中(zhong)甚至可以不(bu)用氮(dan)氣。
內部壓縮型(xing)螺桿式真空泵
除了使(shi)用一對非等距螺(luo)桿(gan)(gan)以外,內部(bu)壓縮(suo)型(xing)螺(luo)桿(gan)(gan)式設(she)計和外部(bu)壓縮(suo)型(xing)螺(luo)桿(gan)(gan)式設(she)計的基本(ben)原理非常相(xiang)似(si)。螺(luo)桿(gan)(gan)間(jian)容積(ji)的不斷減小使(shi)得其(qi)內部(bu)產(chan)生壓縮(suo)。這種(zhong)設(she)計由(you)于產(chan)生內部(bu)壓縮(suo)而使(shi)得其(qi)耗電量降低到同多(duo)級泵相(xiang)當的水平。但在(zai)很多(duo)工藝中,這種(zhong)內部(bu)壓縮(suo)同多(duo)級泵一樣,極易(yi)造成氣體在(zai)泵體內的物理化(hua)(hua)學(xue)變化(hua)(hua)而產(chan)生固化(hua)(hua)或(huo)液化(hua)(hua)。