真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)廠家分(fen)析(xi)如何(he)優(you)化真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)壓(ya)力控制系(xi)統(tong)(tong)。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)廠家分(fen)析(xi)如何(he)優(you)化真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)壓(ya)力控制系(xi)統(tong)(tong)。芯片(pian)蝕刻工(gong)(gong)藝通常在受(shou)控的真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)環(huan)境(jing)中(zhong)工(gong)(gong)作(zuo)。反應空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)腔的功能是去(qu)除真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)環(huan)境(jing)中(zhong)保持工(gong)(gong)藝參數所需的不必要的水(shui)蒸氣、空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)氣和(he)額外的反應物質。為(wei)(wei)等(deng)離子體發生反應創建能夠(gou)的真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)環(huan)境(jing)。為(wei)(wei)了降低蝕刻機真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)壓(ya)力控制系(xi)統(tong)(tong)的成本,實現高真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)獲(huo)取(qu)設備的清潔(jie)、簡化和(he)小型化,同(tong)時為(wei)(wei)了提高真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)系(xi)統(tong)(tong)的抽真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)率和(he)極(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong),系(xi)統(tong)(tong)中(zhong)腔體、真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)、連接管道和(he)閥門的選擇非常重(zhong)要。
為了(le)(le)確保蝕刻(ke)(ke)工(gong)藝(yi)所需的(de)蝕刻(ke)(ke)機壓(ya)力的(de)穩定運行,大(da)泵(beng)速真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系統是要求(qiu)小(xiao)于(yu)不可(ke)的(de)組(zu)成部件(jian)。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)廠家詳細介紹(shao)了(le)(le)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)反應室(shi)、選擇、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)閥的(de)選擇、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)計(ji)和真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)檢(jian)測開(kai)(kai)關、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)計(ji)和真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)檢(jian)測開(kai)(kai)關以及(ji)連接管道。
真空泵廠家分析如何優化真空壓力控制系統。從以下五個方面展開:
(1)反應腔
? ? ? ?反應腔是真空系統的基本部件。不同的蝕刻反應腔具有不同的形狀和尺寸,但是所有的屬于容器都處于負壓下。為了增加芯片容量,反應腔體采用多工位設計,要求真空泵的泵速滿足其要求。在多工位設計中,很難保證多工位芯片的一致性。真空泵的泵送速率必須增加。分子泵是最好的選擇。根據不同工藝的需要,反應室壓力一般的工作在10-3-10-2托之間。確保反應室的真空度和壓力、確保、反應室在穩定真空下的工作一直是真空泵廠家的研究課題。
(2)真空泵(beng)選(xuan)擇
真空(kong)泵(beng)(beng)是獲得真空(kong)的關鍵(jian)設備。到目前為(wei)止,還沒有(you)一種(zhong)泵(beng)(beng)能從大氣壓工作(zuo)到接(jie)近超真空(kong)。兩個或多個泵(beng)(beng)必須組合(he)使(shi)用和(he)(he)螺旋干式泵(beng)(beng)屬于容積泵(beng)(beng)類型。其工作(zuo)循環可分(fen)為(wei)吸入、壓縮和(he)(he)排出三個過程。其優點結構穩定,重心低,轉動穩定,振動小,噪音低。分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)包(bao)括牽(qian)引分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)、渦輪分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)和(he)(he)復合(he)分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)等。分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)的選擇根據蝕(shi)刻反應空(kong)腔壓力(li)和(he)(he)體積而變化。
(3)真(zhen)空(kong)閥(fa)選(xuan)(xuan)用選(xuan)(xuan)擇擺閥(fa)是為(wei)了(le)滿(man)足(zu)分子泵大口徑尺寸的(de)(de)需要(yao)。當擺閥(fa)的(de)(de)開度大于反(fan)應室的(de)(de)壓力(li)時,其將減小。然(ran)而(er),當開口大于某個程度時,反(fan)應室的(de)(de)真(zhen)空(kong)將由于泵的(de)(de)有限(xian)泵送速度而(er)受到限(xian)制,并(bing)且壓力(li)的(de)(de)真(zhen)空(kong)將降低為(wei)不(bu)能繼(ji)續(xu)。因此,為(wei)了(le)滿(man)足(zu)壓力(li)蝕刻工藝中的(de)(de)要(yao)求,需要(yao)正確打(da)開選(xuan)(xuan)擇擺閥(fa)。
(4)真空(kong)計和真空(kong)檢(jian)測開(kai)關(guan)
真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)可以(yi)(yi)隨時(shi)監控管道(dao)(dao)的(de)反(fan)應室和壓(ya)(ya)力(li)。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)安裝(zhuang)在(zai)反(fan)應室和管道(dao)(dao)上。當真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)達到一定(ding)值時(shi),真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)閥打(da)開(kai)或關(guan)閉。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)分(fen)類方法主要有(you)兩種:①根(gen)據(ju)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)規讀數的(de)標(biao)度(du)方法進行分(fen)類,即絕(jue)對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)和相對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji);(2)根(gen)據(ju)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)的(de)測(ce)量原理進行分(fen)類,即直(zhi)接測(ce)量真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)和間(jian)接測(ce)量真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)。薄膜電容(rong)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)是一種間(jian)接絕(jue)對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)。具有(you)因(yin)其性(xing)能穩定(ding)、重(zhong)復性(xing)好、響應速度(du)快、抗(kang)過載能力(li)強、結(jie)構牢固、使用方便(bian)而(er)被廣泛應用于工業中。出于安全原因(yin),真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)管道(dao)(dao)必須配(pei)備(bei)大氣(qi)(qi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)開(kai)關(guan)。當壓(ya)(ya)力(li)值達到一個大氣(qi)(qi)壓(ya)(ya)時(shi),真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)開(kai)關(guan)將自動打(da)開(kai)排氣(qi)(qi)口(kou),以(yi)(yi)保護反(fan)應腔(qiang)和管道(dao)(dao)系統的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)儀器。
(5)連接管
真空系統最重要的性能參數是它能獲得的極限真空度和反應腔的有效泵送速度。真空系統的極限真空度是指在泵送時間足夠長的時間而沒有額外負載后,系統能夠達到的最低真空度壓力。
進口(kou)真(zhen)空(kong)泵(beng)廠家表示,現象對于任何真(zhen)空(kong)系統都(dou)絕對無泄漏(lou)(lou),能夠實現不(bu)可,因此需要在真(zhen)空(kong)管路上提供(gong)檢(jian)漏(lou)(lou)口(kou),以方便真(zhen)空(kong)檢(jian)漏(lou)(lou)。