對于(yu)組(zu)(zu)成(cheng)羅(luo)(luo)茨螺桿真空(kong)機組(zu)(zu),羅(luo)(luo)茨泵(beng)與(yu)前級泵(beng)的(de)泵(beng)速(su)比(bi)(bi)選擇(ze)非常重要(yao)。因(yin)為羅(luo)(luo)茨泵(beng)的(de)壓(ya)縮(suo)比(bi)(bi)非常有限。該壓(ya)縮(suo)比(bi)(bi)決定了前一(yi)級泵(beng)的(de)容量,因(yin)為壓(ya)縮(suo)比(bi)(bi)與(yu)泵(beng)送速(su)度成(cheng)反比(bi)(bi)。壓(ya)縮(suo)比(bi)(bi)選擇(ze)在2~10之間。此外,應(ying)考慮要(yao)求進(jin)行(xing)預退出。
真空設備是作(zuo)為(wei)各種機械設備中(zhong)使用的(de)輔助設備。如果時(shi)間在(zai)正常操作(zuo)中(zhong)比預泵(beng)時(shi)間好(hao)得多(duo),則(ze)可(ke)以選擇(ze)較(jiao)小(xiao)的(de)預泵(beng)(壓縮比可(ke)以更大(da))。如果真空密封(feng)性較(jiao)大(da),并且要求很快(kuai)被(bei)預泵(beng)送,將(jiang)使用更大(da)的(de)預泵(beng)送。有時(shi),為(wei)了充分(fen)發揮設備的(de)效率,在(zai)機組前(qian)(qian)面安裝一個(ge)較(jiao)大(da)的(de)前(qian)(qian)置泵(beng),在(zai)正常運行后停止,使用一個(ge)較(jiao)小(xiao)的(de)前(qian)(qian)置泵(beng)保持來節省功率。
選(xuan)擇前(qian)級泵(beng)(beng)(beng)時,還需要(yao)考(kao)慮羅(luo)茨真(zhen)空(kong)機(ji)組極(ji)(ji)限(xian)壓力(li)的(de)要(yao)求(qiu)。對(dui)于極(ji)(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)度較高(gao)的(de)要(yao)求(qiu)(最高(gao)1× 10-3帕~ 1×
10-2帕壓力(li))一般,選(xuan)用雙級旋葉油封機(ji)械泵(beng)(beng)(beng)或(huo)雙級滑燕機(ji)械泵(beng)(beng)(beng)作為(wei)前(qian)級泵(beng)(beng)(beng)。極(ji)(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)度要(yao)求(qiu)在(1× 10-2Pa ~ 1×
10-1Pa)之(zhi)間(jian)可選(xuan)用單級油封機(ji)械泵(beng)(beng)(beng)作為(wei)前(qian)置(zhi)泵(beng)(beng)(beng),極(ji)(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)度要(yao)求(qiu)在133-1333 Pa之(zhi)間(jian)可選(xuan)用往復真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)或(huo)液環(huan)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)作為(wei)前(qian)置(zhi)泵(beng)(beng)(beng)。
當選(xuan)擇(ze)往復式或液環(huan)式粗真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)作(zuo)為(wei)羅(luo)(luo)茨真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)作(zuo)為(wei)前級泵(beng)(beng)時(shi),前級泵(beng)(beng)的泵(beng)(beng)速一般為(wei)羅(luo)(luo)茨真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的1/2-1/4,不(bu)能(neng)過大(da),否則壓縮比過大(da),導致羅(luo)(luo)茨真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)排氣溫度高,不(bu)能(neng)工作(zuo)正常(chang)。還(huan)需要考慮泵(beng)(beng)送氣體中(zhong)的是否是否含有腐蝕性介質,以及是否是否含有大(da)量或微量的可冷(leng)凝(ning)氣體。
如果含(han)有腐蝕性氣體(ti)(ti),不能選用油封(feng)機械(xie)泵。油封(feng)機械(xie)泵不適合去除含(han)有大量(liang)可冷(leng)凝蒸(zheng)(zheng)汽的(de)氣體(ti)(ti),否則(ze)密封(feng)液(ye)會迅速(su)乳化。去除含(han)有微量(liang)可冷(leng)凝蒸(zheng)(zheng)汽的(de)氣體(ti)(ti)時,還需(xu)要選擇帶氣體(ti)(ti)壓載裝置的(de)油封(feng)機械(xie)泵作為(wei)前置泵。
為了在(zai)低入口(kou)壓力(1-100帕)獲(huo)得高泵(beng)送速率,可以使用羅(luo)茨真(zhen)(zhen)空泵(beng)作為的三級(ji)或四級(ji)單元(yuan)和(he)另一(yi)(yi)羅(luo)茨真(zhen)(zhen)空泵(beng)的前(qian)級(ji)泵(beng)組成。此時(shi),羅(luo)茨真(zhen)(zhen)空泵(beng)之間的泵(beng)速比(bi)一(yi)(yi)般介(jie)于2和(he)5之間。
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