在《真空系統中金屬材料的出氣來源》中,螺桿真空泵制造商介紹了真空系統中的金屬廢氣主要來自兩個方面。接下來,讓我們了解通用金屬零件的脫氣方法。
通常情況下,真空系統中的金屬零件和真空室外殼可以通過真空烘烤進行脫氣。清潔后殘留的揮發性雜質,氧化物以及各種有機和無機污染物可以更輕松地在真空中去除;此外,在真空環境中的擴散效應也有利于去除金屬中的雜質原子并減少材料中的氣體含量。隨著溫度的升高,金屬表面上的解吸氣體量和從金屬表面擴散的氣體量都將增加。身體會增加。因此,金屬材料通常被加熱到可以承受脫氣的最高溫度。
在(zai)(zai)對(dui)(dui)(dui)金(jin)屬零件(jian)進行真空烘烤(kao)和(he)脫氣之(zhi)前,必須對(dui)(dui)(dui)表面進行除油,清除表面上(shang)的(de)氧化(hua)層和(he)其他污染(ran)物,然后在(zai)(zai)真空中加(jia)熱進行脫氣。真空烘烤(kao)脫氣通常在(zai)(zai)10 ^
-2?10 ^
-3Pa的(de)壓力下(xia)進行。同(tong)(tong)時,通常選(xuan)擇最高的(de)烘烤(kao)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)作為材料的(de)退火溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)。這不僅保證(zheng)了(le)良好的(de)真空性能,而(er)且消除了(le)金(jin)屬零件(jian)。加(jia)工過程中的(de)內應力。但是對(dui)(dui)(dui)于(yu)不同(tong)(tong)材料的(de)金(jin)屬零件(jian),烘烤(kao)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)和(he)時間會有所不同(tong)(tong)。對(dui)(dui)(dui)于(yu)托架和(he)彈(dan)簧之(zhi)類的(de)預應力零件(jian),烘烤(kao)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)需要低(di)于(yu)退火溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)。鋁制零件(jian)由于(yu)熔點較低(di)而(er)無(wu)法烘烤(kao)。
500℃以(yi)上(shang);對(dui)(dui)(dui)于(yu)厚(hou)壁或直徑較大的(de)零件(jian),應適當延長烘烤(kao)時間。
另外(wai),實際上,對于(yu)真(zhen)空工(gong)程中常用的(de)不銹(xiu)鋼和(he)鋁或鋁合金(jin)材料(liao),真(zhen)空烘烤(kao)脫(tuo)(tuo)氣(qi)(qi)和(he)輝(hui)光(guang)排出(chu)脫(tuo)(tuo)氣(qi)(qi)的(de)效果(guo)大(da)致(zhi)相同(tong),但是脫(tuo)(tuo)附材料(liao)的(de)組(zu)成不同(tong)。真(zhen)空烘烤(kao)脫(tuo)(tuo)氣(qi)(qi)的(de)殘余氣(qi)(qi)體主要由二(er)氧(yang)化碳,一氧(yang)化碳,水(shui)和(he)氫氣(qi)(qi)組(zu)成,而輝(hui)光(guang)放電脫(tuo)(tuo)氣(qi)(qi)的(de)殘余氣(qi)(qi)體主要為(wei)氫氣(qi)(qi)。
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