半導(dao)體(ti)(ti)工(gong)藝(yi)真空主要用(yong)于蒸發、濺射(she)、PECVD、真空干法刻(ke)蝕、真空吸(xi)附、測試設(she)備、真空清洗等(deng)鍵合工(gong)藝(yi)。半導(dao)體(ti)(ti)生(sheng)產(chan)(chan)制造過程中容易產(chan)(chan)生(sheng)易燃、易爆(bao)、有毒物質和(he)氣體(ti)(ti),對生(sheng)產(chan)(chan)和(he)人(ren)員(yuan)安(an)(an)全構成威脅。因此(ci),半導(dao)體(ti)(ti)真空泵應用(yong)中的幾個安(an)(an)全注意(yi)事項如下:
1.定(ding)期(qi)清潔真空泵及其他附件、過濾器(qi)和管道,以避免(mian)過壓
在半導體真(zhen)空泵的(de)應用中,當(dang)介(jie)質(zhi)(zhi)在介(jie)質(zhi)(zhi)提取過(guo)程中通(tong)過(guo)反(fan)應室(shi)和真(zhen)空泵時(shi),介(jie)質(zhi)(zhi)的(de)組成(cheng)可(ke)能(neng)(neng)極(ji)其復(fu)雜。例如,SiH4和O2在泵口形成(cheng)二氧化(hua)(hua)硅,而(er)四(si)氯化(hua)(hua)鈦水解形成(cheng)氯化(hua)(hua)氫。假(jia)設(she)使用油(you)封機械泵,這(zhe)些氣態物質(zhi)(zhi)也可(ke)能(neng)(neng)與泵油(you)發生反(fan)應。這(zhe)些變化(hua)(hua)假(jia)設(she)顆粒、可(ke)冷凝物或腐蝕性介(jie)質(zhi)(zhi)的(de)形成(cheng),可(ke)能(neng)(neng)會(hui)堵塞真(zhen)空泵或管道系統,影(ying)響真(zhen)空泵的(de)性能(neng)(neng),導致壓力升高或過(guo)壓,并帶來更(geng)大的(de)風險。因此,有必(bi)要(yao)(yao)及時(shi)清理,必(bi)要(yao)(yao)時(shi)設(she)置過(guo)濾(lv)設(she)備。
2.有效稀(xi)釋(shi)有害氣體的濃度
半(ban)導體(ti)容(rong)易(yi)產(chan)生上述易(yi)燃(ran)、易(yi)爆和有毒有害氣(qi)(qi)(qi)體(ti)。因此,在半(ban)導體(ti)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)的應用中,當(dang)抽(chou)取這(zhe)些(xie)(xie)(xie)介質(zhi)時(shi),有必要防(fang)止(zhi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)或排(pai)氣(qi)(qi)(qi)過程(cheng)(cheng)中發(fa)生一(yi)些(xie)(xie)(xie)不可(ke)控(kong)的反應。例如,當(dang)與空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)或氧氣(qi)(qi)(qi)接觸(chu)時(shi),SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其(qi)他物(wu)(wu)質(zhi)會引起燃(ran)燒(shao)甚至爆炸。當(dang)空(kong)(kong)氣(qi)(qi)(qi)中氫氣(qi)(qi)(qi)的混合比例達(da)到一(yi)定程(cheng)(cheng)度和溫度時(shi),也(ye)會發(fa)生燃(ran)燒(shao)。這(zhe)些(xie)(xie)(xie)都(dou)取決于物(wu)(wu)質(zhi)的數量(liang)及(ji)其(qi)與環境壓(ya)力和溫度的關系(xi)。因此,當(dang)半(ban)導體(ti)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)提取這(zhe)些(xie)(xie)(xie)介質(zhi)時(shi),在壓(ya)縮前(qian)的當(dang)前(qian)條(tiao)件下,需要惰性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)如氮氣(qi)(qi)(qi)將這(zhe)些(xie)(xie)(xie)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)稀釋(shi)到安全范圍。
3.注意(yi)氧(yang)氣的濃度
如果(guo)空(kong)氣(qi)中的(de)氧(yang)氣(qi)濃度過高,燃燒和爆炸風險也會發生。因此,在某(mou)些情況下,應注意氧(yang)氣(qi)的(de)濃度,并應使(shi)(shi)用(yong)(yong)惰(duo)性氣(qi)體稀釋(shi)它,以(yi)防(fang)止濃度過高。假設油封機(ji)械泵可能需要(yao)使(shi)(shi)用(yong)(yong)一些惰(duo)性氧(yang)兼容真空(kong)泵油,并及時更換濾油器和油品。
4.防止溫度(du)過高
這一(yi)點更容(rong)易(yi)(yi)理(li)解。在半導(dao)體(ti)(ti)在真(zhen)空(kong)泵(beng)中的應用中,有許(xu)多有害氣體(ti)(ti)。然而,無論是(shi)干(gan)式真(zhen)空(kong)泵(beng)還是(shi)油封機械泵(beng),如果(guo)泵(beng)腔內的溫度(du)過(guo)高(gao),易(yi)(yi)燃、易(yi)(yi)爆和有毒氣體(ti)(ti)在高(gao)溫下很容(rong)易(yi)(yi)造成危險。
當(dang)我們使(shi)用真(zhen)空泵時,需要注意(yi)導體使(shi)用中的(de)安全注意(yi)事項,并做好以后的(de)使(shi)用工(gong)作(zuo)。