真空泵在其工作壓力下，應及時排出真空設備過程中產生的所有氣體。真空泵的正確組合。因為真空泵具有選擇性泵送，有時一個泵不能滿足泵送要求，需要組合和補充幾個泵來滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對于氫氣具有較高的泵送速度，但是不能泵送氦氣，而三極濺射離子泵(或雙極不對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣具有一定的泵送速度，并且兩者的結合將導致真空裝置具有更好的真空度。
真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)不能在大(da)氣壓下工作，需要預抽真(zhen)空。一(yi)些真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)的出口壓力(li)低(di)于大(da)氣壓，需要前置泵(beng)(beng)(beng)。因此，所有(you)泵(beng)(beng)(beng)都(dou)需要組合(he)使用。真(zhen)空設(she)備對油(you)(you)(you)污染的要求(qiu)。如(ru)果設(she)備嚴(yan)格(ge)要求(qiu)無油(you)(you)(you)，應選(xuan)(xuan)用各種非油(you)(you)(you)泵(beng)(beng)(beng)，如(ru):水環泵(beng)(beng)(beng)、分(fen)子(zi)篩吸附泵(beng)(beng)(beng)、濺射離(li)子(zi)泵(beng)(beng)(beng)、低(di)溫(wen)泵(beng)(beng)(beng)等(deng)。如(ru)果要求(qiu)不嚴(yan)格(ge)，可以選(xuan)(xuan)擇(ze)油(you)(you)(you)泵(beng)(beng)(beng)，并(bing)采取(qu)一(yi)些防止油(you)(you)(you)污染的措施，如(ru)增加冷(leng)阱(jing)、擋板、油(you)(you)(you)阱(jing)等(deng)。也能滿足清潔(jie)真(zhen)空的要求(qiu)。
![真空泵預防漏油的密封要求]( "真空泵預防漏油的密封要求")
真空泵應安裝在堅實的地面上，周圍應留有足夠的空間，便于檢查、維護和保養。基礎應保持在真空泵底座下方的水平位置。建議在底座的四個角上安裝緩沖橡膠或螺栓，以確保真空泵的平穩運行和低振動。
真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)與系(xi)統之間的(de)連(lian)接(jie)管(guan)道應(ying)(ying)(ying)密封(feng)可靠。對(dui)于小(xiao)型(xing)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)，金(jin)屬(shu)管(guan)道連(lian)接(jie)墊圈(quan)應(ying)(ying)(ying)由(you)耐油橡膠制成。對(dui)于小(xiao)型(xing)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)，應(ying)(ying)(ying)采(cai)用真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)軟管(guan)連(lian)接(jie)。管(guan)道直徑不應(ying)(ying)(ying)小(xiao)于真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)吸入直徑，管(guan)道應(ying)(ying)(ying)短，彎頭少。真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)密封(feng)環境的(de)具體操作(zuo)如下(xia):
1、機械密封裝置;
(1)動環和靜環的(de)表面(mian)應光滑干凈，無(wu)劃痕，密封(feng)面(mian)的(de)平(ping)整度應保持在(zai)0.87um以(yi)內(nei).
(2)水(shui)環(huan)真空泵密(mi)封裝置(zhi)處(chu)的(de)軸徑向跳動應小(xiao)于0.03毫米
(3)彈(dan)(dan)簧(huang)(huang)無(wu)裂紋、銹蝕等缺陷(xian)，彈(dan)(dan)簧(huang)(huang)兩端面與中(zhong)心線的垂(chui)直度偏差(cha)(cha)應(ying)小于5/1000，同(tong)一(yi)機(ji)械密封中(zhong)彈(dan)(dan)簧(huang)(huang)之間的自由高(gao)度差(cha)(cha)不應(ying)大(da)于0.5 mm
(4)動環(huan)和靜環(huan)密(mi)封端面的鋼包偏(pian)差不(bu)大于0.02毫米(mi)(mi)，兩(liang)個端面的不(bu)平行度不(bu)大于0.04毫米(mi)(mi)
2.浮環密封裝置:
(1)支撐環、浮(fu)動(dong)(dong)(dong)環和浮(fu)動(dong)(dong)(dong)環安裝(zhuang)在軸上的部分應(ying)(ying)光滑無(wu)損(sun);浮(fu)動(dong)(dong)(dong)環和支撐環的密封端面應(ying)(ying)進(jin)行彩色(se)涂層檢(jian)查(cha)，并(bing)要求(qiu)接觸(chu)良好。
(2)浮動環同軸(zhou)套管的總(zong)徑(jing)向間隙一般為0.15-0.25毫米
(3)文字軸承環和(he)軸套的徑向間隙應(ying)均(jun)勻(yun)。
(4)支(zhi)撐彈簧(huang)應(ying)無缺陷(xian)，同組(zu)浮環支(zhi)撐彈簧(huang)的(de)(de)(de)自(zi)由高度偏差不(bu)(bu)得大(da)于(yu)0.5毫米(mi)。機械真空泵(beng)的(de)(de)(de)漏油(you)(you)(you)(you)(you)主(zhu)要位于(yu)軸封(feng)、放油(you)(you)(you)(you)(you)孔(kong)、油(you)(you)(you)(you)(you)窗(chuang)、油(you)(you)(you)(you)(you)箱等(deng)(deng)處(chu)。主(zhu)要原因是(shi)磨損時(shi)間過長(chang)，密封(feng)損壞(huai)(huai)或(huo)裝配不(bu)(bu)良，螺釘(ding)未壓緊時(shi)受力不(bu)(bu)均勻。當在(zai)某個地方發現漏油(you)(you)(you)(you)(you)時(shi)，維修(xiu)工人(ren)和操作人(ren)員應(ying)立(li)即(ji)采取措施。他(ta)們不(bu)(bu)應(ying)該想(xiang)當然地認為“小問題”是(shi)無害(hai)的(de)(de)(de)，就讓它去吧。否則，從(cong)長(chang)遠來看，泵(beng)會(hui)泄(xie)漏或(huo)損壞(huai)(huai)。解(jie)(jie)決(jue)漏油(you)(you)(you)(you)(you)并(bing)不(bu)(bu)難，只(zhi)需先排(pai)干泵(beng)油(you)(you)(you)(you)(you)，拆(chai)卸漏油(you)(you)(you)(you)(you)處(chu)并(bing)更(geng)(geng)換(huan)密封(feng)即(ji)可(ke)。軸封(feng)泄(xie)漏的(de)(de)(de)解(jie)(jie)決(jue)方案以前也(ye)有(you)介紹。排(pai)油(you)(you)(you)(you)(you)孔(kong)、鉛板(ban)、橡膠紙板(ban)、耐(nai)油(you)(you)(you)(you)(you)真空橡膠板(ban)等(deng)(deng)泄(xie)漏。可(ke)作為墊(dian)片更(geng)(geng)換(huan)，并(bing)可(ke)處(chu)理油(you)(you)(you)(you)(you)窗(chuang)等(deng)(deng)其(qi)他(ta)密封(feng)處(chu)的(de)(de)(de)漏油(you)(you)(you)(you)(you)