許多工廠都增加了真空泵(beng)系統,但我們不知道如何操作真空系統檢漏。今天我們將介紹定義和方法。
一、泄(xie)漏(lou)率的定義和單位
對于容(rong)積為v的容(rong)器,單位時間內壓(ya)力變(bian)化δP與容(rong)器容(rong)積v的乘積為泄(xie)漏率:
q=V *δP/δt
常(chang)見(jian)的泄(xie)漏速率單位為: pa.m/s、mbar.l/s、torr.l/s
泄漏率實(shi)際(ji)上反映了一定時間內泄漏氣體分子的(de)數量(liang)。嚴格地說,一個沒有泄漏的(de)系統不是
有。泄(xie)漏(lou)(lou)檢測的目的是將泄(xie)漏(lou)(lou)率控制在可接受(shou)的水平,而不(bu)影響系統(tong)的正常運行。
(1)氣(qi)泡法檢漏
將壓制好的試件浸(jin)入(ru)水箱中(zhong)或(huo)使用肥皂泡(pao)法。氣(qi)泡(pao)可以反(fan)映(ying)泄(xie)漏(lou)率(lv)。這種方法通常用于檢(jian)(jian)測(ce)(ce)一些小物品。例(li)如,工(gong)藝氣(qi)瓶泄(xie)漏(lou)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)、配氣(qi)盤泄(xie)漏(lou)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)、磁控(kong)靶泄(xie)漏(lou)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)、弧源水冷(leng)座泄(xie)漏(lou)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)、真空室水冷(leng)套泄(xie)漏(lou)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)等(deng)。雖(sui)然不能定(ding)量檢(jian)(jian)測(ce)(ce)泄(xie)漏(lou)率(lv)的大小,但確定(ding)是否存在泄(xie)漏(lou),是一種非常簡單有效的泄(xie)漏(lou)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)方法。
(2)壓降法檢漏
增加正壓或將試件抽真空至一定(ding)壓力,然后關閉閥門,通過真空計(ji)觀察單位時間內的(de)壓力變化。真空壓降法可用于評(ping)估泄漏(lou)率(lv)。泄漏(lou)檢測是一項非常(chang)重要的(de)技術指標,可以(yi)作為設備驗(yan)收的(de)標準。
(3)氣(qi)體檢測法檢漏
氣體(ti)檢測方法(fa)(fa)可(ke)分為:氨檢漏(lou)(lou)法(fa)(fa)、鹵(lu)素檢漏(lou)(lou)法(fa)(fa)和(he)氦(hai)質譜檢漏(lou)(lou)法(fa)(fa),其(qi)中氦(hai)質譜檢漏(lou)(lou)法(fa)(fa)是最(zui)常用和(he)最(zui)常見的。與其(qi)他氣體(ti)相比,氦(hai)有許多優點,例如:不可(ke)燃、無毒、價格(ge)合適、非(fei)常輕、化學性質惰(duo)性、氣體(ti)分子小等。
使用檢漏儀(yi):的注意事項
掌握適當的(de)噴射(she)時(shi)間。
泄漏檢測的順序(xu)。從(cong)(cong)上到(dao)下(xia),從(cong)(cong)遠到(dao)近吹。
使(shi)用(yong)前需要校(xiao)準。