1.真空泵的工作壓力應滿足極限真空和真空設備工作壓力的要求。例如,真空鍍膜要求真空度為110-5毫米汞柱,所選真空泵的真空度至少應為510-6毫米汞柱。通常,所選泵的真空度比真空設備的真空度高一半到一個數量級。
2.正(zheng)確選擇真空泵(beng)的工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)點。每(mei)臺泵(beng)都有一定的工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)壓力(li)(li)范(fan)圍,例(li)如擴(kuo)散泵(beng)為10-3 ~
10-7兆歐。在(zai)如此(ci)寬的壓力(li)(li)范(fan)圍內(nei),泵(beng)的泵(beng)速隨壓力(li)(li)變化(hua),其穩定工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)壓力(li)(li)范(fan)圍為510-4~510-6mmHg。因此(ci),泵(beng)的工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)點應選擇在(zai)此(ci)范(fan)圍內(nei),不允許在(zai)10-8兆歐以下(xia)長(chang)時間(jian)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)。另一個例(li)子是(shi)鈦升華(hua)泵(beng)可(ke)以在(zai)10-2mHg下(xia)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo),但是(shi)其工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)壓力(li)(li)應該(gai)小于(yu)110-5mHg。
3.真空泵應能在其工(gong)作壓力(li)下排出真空設(she)備(bei)過程中產(chan)生(sheng)的所(suo)有氣體。
4.真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)正確(que)組合(he)。因為真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)具(ju)有(you)(you)選擇性泵(beng)(beng)(beng)(beng)送(song)(song),有(you)(you)時一個(ge)泵(beng)(beng)(beng)(beng)不(bu)(bu)能(neng)滿足泵(beng)(beng)(beng)(beng)送(song)(song)要(yao)(yao)求,需(xu)要(yao)(yao)組合(he)和補充(chong)幾個(ge)泵(beng)(beng)(beng)(beng)來滿足泵(beng)(beng)(beng)(beng)送(song)(song)要(yao)(yao)求。例如,鈦升(sheng)華泵(beng)(beng)(beng)(beng)對(dui)于(yu)(yu)氫氣(qi)具(ju)有(you)(you)較高的(de)泵(beng)(beng)(beng)(beng)送(song)(song)速度(du),但是不(bu)(bu)能(neng)泵(beng)(beng)(beng)(beng)送(song)(song)氦氣(qi),而(er)三極(ji)濺射(she)(she)離(li)子(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(或雙(shuang)極(ji)不(bu)(bu)對(dui)稱(cheng)陰極(ji)濺射(she)(she)離(li)子(zi)泵(beng)(beng)(beng)(beng))對(dui)于(yu)(yu)氬氣(qi)具(ju)有(you)(you)一定的(de)泵(beng)(beng)(beng)(beng)送(song)(song)速度(du),并且兩者(zhe)的(de)結合(he)將導(dao)致真(zhen)空(kong)(kong)裝(zhuang)置具(ju)有(you)(you)更(geng)好的(de)真(zhen)空(kong)(kong)度(du)。此外,一些真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)不(bu)(bu)能(neng)在大(da)氣(qi)壓(ya)下(xia)工作,需(xu)要(yao)(yao)預真(zhen)空(kong)(kong);一些真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)出口壓(ya)力低于(yu)(yu)大(da)氣(qi)壓(ya),需(xu)要(yao)(yao)一個(ge)前置泵(beng)(beng)(beng)(beng),所(suo)以所(suo)有(you)(you)的(de)泵(beng)(beng)(beng)(beng)都(dou)需(xu)要(yao)(yao)組合(he)使用(yong)。
5.真空(kong)設備(bei)對油(you)(you)污染(ran)(ran)的要(yao)求(qiu)。如(ru)果設備(bei)嚴格(ge)要(yao)求(qiu)無油(you)(you),應選用各種非油(you)(you)泵,如(ru):水(shui)環(huan)泵、分(fen)子篩吸附(fu)泵、濺射離子泵、低溫泵等。如(ru)果要(yao)求(qiu)不(bu)嚴格(ge),可以選擇油(you)(you)泵,并采(cai)取一些(xie)防止油(you)(you)污染(ran)(ran)的措施(shi),如(ru)增加冷阱、擋板、油(you)(you)阱等。也能滿足清潔真空(kong)的要(yao)求(qiu)。
6.了解(jie)要泵送的(de)氣體的(de)成分。該氣體不含(han)可冷凝蒸汽(qi)、無顆粒(li)粉塵、無腐蝕性(xing)(xing)等(deng)。選擇真(zhen)空泵時,必須了解(jie)氣體成分,并為泵送的(de)氣體選擇相應的(de)泵。如果(guo)氣體含(han)有蒸汽(qi)、顆粒(li)和(he)腐蝕性(xing)(xing)氣體,應考慮在泵的(de)入(ru)口(kou)管道上安裝輔助(zhu)設(she)備,如冷凝器(qi)和(he)集塵器(qi)。
7.真空泵(beng)排出的油蒸(zheng)汽對環境(jing)有什(shen)么影響(xiang)?如果環境(jing)不允(yun)許污染,可(ke)以選擇(ze)無油真空泵(beng),或者將(jiang)油蒸(zheng)汽排放到室(shi)外。
8.真空泵運行過程(cheng)中產生的(de)振(zhen)動(dong)是否(fou)影響工藝和環(huan)境。如(ru)果工藝流程(cheng)不(bu)允(yun)許,應選擇無(wu)振(zhen)動(dong)泵或采取防振(zhen)措(cuo)施。
9.真空泵的價格、運行和維護費用。