真空系統應用于半導體工業還是比較多的。接下來,介紹我們就來介紹真空系統的內容。
真空(kong)系(xi)統簡介
通過真空系統的設計,在單個生產機器上,更多的單個泵被幾個更大的真空泵代替。自動變頻控制系統通過儲氣罐的主支管配置并連接到生產機器上。真空供應根據生產要求全自動,節能、低成本、維護方便、性能穩定。員工工作區域的噪音水平大大降低,以滿足半導體行業的技術要求。
真空泵應用部分
1.生(sheng)(sheng)產用真空(kong)主(zhu)要是通過高真空(kong)減少工作空(kong)間(jian)的空(kong)氣(qi),保持工作空(kong)間(jian)的清潔。所用真空(kong)泵的主(zhu)要類(lei)型(xing)包括干式(shi)泵(干式(shi)螺旋(xuan)真空(kong)泵、爪式(shi)泵)、分(fen)子泵及(ji)其裝置(zhi)。生(sheng)(sheng)產用真空(kong)設(she)備數量多,功率小。
2.清潔真(zhen)空主(zhu)要(yao)利用負壓和大氣壓之間的差異來清潔或輸送液體或顆粒。對于這些應用,主(zhu)要(yao)使用水(shui)環泵和多級(ji)(ji)離心(xin)風扇(shan)。由于真(zhen)空度低,通常(chang)采用多級(ji)(ji)離心(xin)風機(ji),真(zhen)空源是其系統的一部分。
3.工藝真空主要(yao)采用工件搬運負壓吸附或夾緊。螺(luo)桿泵(beng)(beng)、爪(zhua)式(shi)泵(beng)(beng)、水環泵(beng)(beng)、旋轉葉(xie)片泵(beng)(beng)和微(wei)油螺(luo)桿泵(beng)(beng)等干式(shi)泵(beng)(beng)都是(shi)過程真空中常(chang)見(jian)的真空設備。
真空泵(beng)+控制(zhi)系(xi)統+儲氣罐+管道安裝
半導體(ti)真空泵應(ying)用安全事項:
1、防止真(zhen)空泵(beng)溫度過高(gao):
真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)溫(wen)(wen)(wen)度(du)過(guo)(guo)高(gao)會(hui)(hui)影響真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)和排氣(qi)量,對生(sheng)產有直接影響。在半(ban)導體在真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的應用中,有害氣(qi)體比(bi)較(jiao)多,而無論是干式真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)還(huan)是油封機械泵(beng),泵(beng)腔內(nei)溫(wen)(wen)(wen)度(du)過(guo)(guo)高(gao),高(gao)溫(wen)(wen)(wen)下易燃易爆(bao)及有毒氣(qi)體就會(hui)(hui)容易發(fa)生(sheng)危險。
2、半導體真空泵(beng)有(you)效稀釋(shi)有(you)害(hai)氣體的濃度:
半導體(ti)易產生前面所說的易燃易爆(bao)、有毒的有害氣(qi)體(ti)。所以半導體(ti)真空泵應用中在抽(chou)取(qu)這些介質(zhi)時就(jiu)必須防止它們在真空泵內或者排氣(qi)過程中發生一些不可控的反應。
比(bi)如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhi),在(zai)與空氣(qi)(qi)(qi)或氧接觸(chu)的(de)(de)時候,會(hui)引起燃(ran)燒甚至爆(bao)炸;氫氣(qi)(qi)(qi)在(zai)空氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)的(de)(de)混(hun)合(he)比(bi)例達到(dao)一定程度與溫(wen)度時也會(hui)發(fa)生燃(ran)燒。這(zhe)些都取決于該(gai)物質(zhi)的(de)(de)量以及與環境的(de)(de)壓(ya)力、溫(wen)度的(de)(de)關系。因此半(ban)導(dao)體真(zhen)空泵在(zai)抽(chou)取這(zhe)些介質(zhi)時,需(xu)要用氮氣(qi)(qi)(qi)之類的(de)(de)惰性氣(qi)(qi)(qi)體,在(zai)壓(ya)縮(suo)前即(ji)將這(zhe)些氣(qi)(qi)(qi)體稀釋到(dao)當時條件下的(de)(de)安全范(fan)圍(wei).
3、真空(kong)泵注意氧氣的濃(nong)度:
空氣中的氧如果濃(nong)度(du)過高也會發(fa)生燃燒(shao)及(ji)爆炸風(feng)險。所以(yi)一些情況下需(xu)注意(yi)氧的濃(nong)度(du),采用惰(duo)性(xing)氣體來(lai)稀(xi)釋,防止濃(nong)度(du)過高;假(jia)設是油封機械泵(beng)可能還需(xu)要采用一些惰(duo)性(xing)的與氧相容的真空泵(beng)油,并(bing)及(ji)時更換油濾和油品。
4、定期清洗真空泵及其(qi)他附件、過濾、管(guan)道,避免超壓(ya):
半導體真空泵(beng)應(ying)用時,抽取介(jie)質過程(cheng)中經過反應(ying)室與(yu)真空泵(beng),其(qi)成分可能(neng)極(ji)為復雜,如(ru)SiH4與(yu)O2在泵(beng)口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設是油(you)封式機械泵(beng),這(zhe)些氣體物質還可能(neng)與(yu)泵(beng)油(you)發(fa)生化反。這(zhe)些變(bian)化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介(jie)質,就可能(neng)堵塞真空泵(beng)或管(guan)路系統(tong),影(ying)響(xiang)真空泵(beng)性能(neng),造成壓力上升或超壓,一點中提到的危險性也更大。所(suo)以(yi)需要及時的清洗,并在必(bi)要的時候設置過濾設備。