真空系統實際上是真空機組的類似術語。真空機組是由多個真空泵組成的一套閉環真空設備。它不一定有一些設備,如散熱器和冷凝器。
但是一般可以稱之為真空系統的是,所有種類的部件都是完整的。真空應用設備有很多種,但無論是哪種真空應用設備,都有一套抽氣系統來排出真空容器中的氣體,從而在真空容器中獲得所需的真空條件。例如,用于真空處理的容器通過管道和閥門與真空泵相連。當真空泵抽空容器時,容器必須具有真空測量裝置,該裝置構成最簡單的真空泵系統。與機組相比,真空系統中有多少臺泵?這是不確定的,讓我們先看看泵的可能名詞解釋。
主泵(beng):在真(zhen)空(kong)系統中,用來獲得所需真(zhen)空(kong)度以滿足特定工藝要(yao)求的(de)真(zhen)空(kong)泵(beng),如真(zhen)空(kong)鍍膜機中的(de)油擴散泵(beng)是主泵(beng)。
前(qian)(qian)級(ji)泵(beng):一種真空泵(beng),用于保(bao)持某一真空泵(beng)的前(qian)(qian)級(ji)壓(ya)力低(di)于其臨界前(qian)(qian)級(ji)壓(ya)力。安裝在如羅茨泵(beng)前(qian)(qian)面(mian)的旋(xuan)片泵(beng)或(huo)滑閥泵(beng)是前(qian)(qian)級(ji)泵(beng)。
原(yuan)泵(beng):真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng),從大氣(qi)壓(ya)力開始泵(beng)送空(kong)(kong)氣(qi),并將系統壓(ya)力泵(beng)送到另一(yi)臺真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)開始運行。例如,真(zhen)空(kong)(kong)鍍(du)膜(mo)機中的滑閥泵(beng)就是原(yuan)油泵(beng)。
維(wei)護(hu)(hu)(hu)泵(beng):在真空系統中,當空氣量很(hen)小(xiao)時,前(qian)級泵(beng)不能(neng)有效使用。因此,配置一(yi)(yi)個容量較小(xiao)的(de)輔助泵(beng)來維(wei)持主泵(beng)的(de)運行,主泵(beng)被稱為維(wei)護(hu)(hu)(hu)泵(beng)。如果擴散(san)泵(beng)的(de)出口裝有一(yi)(yi)個小(xiao)型(xing)旋轉葉片泵(beng),它就(jiu)是維(wei)護(hu)(hu)(hu)泵(beng)。
事實上,簡單的(de)真(zhen)空(kong)系統只能(neng)獲得(de)粗略(lve)的(de)真(zhen)空(kong),而(er)高(gao)(gao)真(zhen)空(kong)泵(beng)通常(chang)串聯(lian)在真(zhen)空(kong)系統中,以(yi)獲得(de)比如羅茨泵(beng)和螺(luo)桿泵(beng)更(geng)高(gao)(gao)的(de)真(zhen)空(kong)。當高(gao)(gao)真(zhen)空(kong)泵(beng)串聯(lian)時,通常(chang)在高(gao)(gao)真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)入口和出口分別增加閥門,這(zhe)樣高(gao)(gao)真(zhen)空(kong)泵(beng)可(ke)以(yi)獨立維持真(zhen)空(kong)。
據信,如果串聯的高真空泵是油擴散泵,為了防止大量的油蒸汽回流進入被泵入容器,通常在油擴散泵的入口處增加一個——水冷擋板。根據需要,還可以在管道上增加除塵器、真空繼電器表頭、真空軟連接管道、真空泵入口排氣閥、散熱器等,形成一個比較完善的高真空系統。
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