干(gan)式真空泵在一個特殊的行業中應(ying)用廣(guang)泛,為了配合行業的使用,方便用戶的選擇,廠(chang)家(jia)分為多種(zhong),主(zhu)要有以下(xia)形式。
雙圓裂片式真空泵
雙圓裂片式真空泵的修訂與目前最流行、應用最廣泛的羅茨泵很相似。 實際上,一些最初的干泵設置修正思想是把羅茨泵重疊起來。
這樣的多級修訂使瓦斯氣體通路變得相當復雜,各級需要大的流量氮瓦斯氣體發揮稀釋和隔離的作用。 此外,為了達到良好的真空度,對各級的間隙要求非常嚴格。
當然,該設置修訂會增加內部壓縮比,因此電功耗相對較低。
三葉圓裂片式真空泵
三(san)葉(xie)裂(lie)片(pian)式真(zhen)空泵設置修訂(ding)和雙(shuang)圓(yuan)(yuan)裂(lie)片(pian)式設置修訂(ding)的原理完全相同(tong),只(zhi)是在一周的時間(jian)里把瓦斯氣體(ti)分成三(san)個,而(er)不(bu)是像雙(shuang)圓(yuan)(yuan)裂(lie)片(pian)式那樣(yang)分成兩個。
這(zhe)兩種設計有相同(tong)的優點(dian)和缺(que)點(dian)。 為了進一步降低電功耗,根據(ju)傳(chuan)動部的制造商選擇了2個直(zhi)流(liu)馬達(da),但這(zhe)也會(hui)導致扭(niu)矩的減少,重啟(qi)的能力下降。
與雙(shuang)圓(yuan)(yuan)裂(lie)片(pian)式設定訂(ding)正同(tong)樣(yang),三(san)葉(xie)圓(yuan)(yuan)裂(lie)片(pian)式設定訂(ding)正的各段為了發揮稀釋和隔離(li)的作用(yong),需要較大(da)的流(liu)量氮瓦斯氣體(ti)。
組合式(羅茨+爪(zhua))真空泵
組合(he)式(shi)(shi)(羅(luo)茨+爪)的(de)(de)(de)設(she)(she)定(ding)改正(zheng)是羅(luo)茨提高低壓下(xia)的(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)(qi)效(xiao)(xiao)率,爪提高高壓下(xia)的(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)(qi)效(xiao)(xiao)率。 其基本原(yuan)理和(he)瓦斯(si)氣(qi)(qi)體通道(dao)與先前介紹的(de)(de)(de)圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設(she)(she)置修(xiu)訂(ding)完全相同。
有些廠(chang)家將其最終段改為(wei)星形設(she)(she)置訂(ding)正(zheng),一轉即可將氣(qi)(qi)體分為(wei)五(wu)個,如三圓(yuan)裂片式(shi)(shi)設(she)(she)置訂(ding)正(zheng)可分為(wei)三個。
類(lei)似(si)地,在許多處理中,在組合(he)設(she)(she)置修(xiu)訂(ding)的(de)(de)(de)每級中,大流量氮瓦斯(si)氣(qi)(qi)體需(xu)要用作稀釋和(he)隔離。
外部(bu)壓縮型螺(luo)桿式真空泵
在(zai)外部(bu)壓(ya)縮(suo)型(xing)螺桿(gan)式(shi)設(she)定(ding)(ding)(ding)(ding)修訂中(zhong),使(shi)(shi)用(yong)一對(dui)等間(jian)距螺桿(gan)。 由此(ci)(ci),將(jiang)內部(bu)壓(ya)縮(suo)抑(yi)制在(zai)最(zui)小限度,并且使(shi)(shi)瓦(wa)斯氣體(ti)定(ding)(ding)(ding)(ding)通路(lu)最(zui)短也變(bian)得最(zui)簡(jian)單。
由此(ci)(ci),氣體(ti)在(zai)泵內的(de)(de)停留(liu)時間(jian)也變(bian)得最(zui)短。 該設(she)定(ding)(ding)(ding)(ding)糾正減少了內部(bu)的(de)(de)壓(ya)縮(suo)比,相對(dui)提高(gao)了電功耗,但在(zai)許(xu)多(duo)(duo)復雜的(de)(de)半(ban)導體(ti)工藝(yi)中(zhong)呈現(xian)出極高(gao)的(de)(de)穩(wen)定(ding)(ding)(ding)(ding)性。
這(zhe)種單段(duan)設(she)定(ding)(ding)(ding)(ding)修正對(dui)氮(dan)瓦(wa)斯氣體(ti)的(de)(de)使(shi)(shi)用(yong)量的(de)(de)要求也非(fei)常小、簡(jian)單,因此(ci)(ci)在(zai)不(bu)同(tong)的(de)(de)工藝(yi)中(zhong)的(de)(de)兼容(rong)性良好(hao)。 在(zai)很多(duo)(duo)清洗(xi)過程中(zhong)不(bu)需要使(shi)(shi)用(yong)氮(dan)瓦(wa)斯氣體(ti)。
內(nei)部壓縮型螺(luo)桿式真空泵(beng)
除了使用一對(dui)不等(deng)間隔螺(luo)桿(gan)之外(wai),內部(bu)壓(ya)縮(suo)(suo)型(xing)螺(luo)桿(gan)式(shi)設定(ding)修(xiu)正和(he)外(wai)部(bu)壓(ya)縮(suo)(suo)型(xing)螺(luo)桿(gan)式(shi)設定(ding)修(xiu)正的基(ji)本原理非常相似。 螺(luo)桿(gan)間容積減少(shao),內部(bu)產生(sheng)(sheng)壓(ya)縮(suo)(suo)。
該設定(ding)修(xiu)正通過發生(sheng)(sheng)內部(bu)壓(ya)縮(suo)(suo)而降低(di)至相當于多(duo)(duo)級(ji)泵(beng)的等(deng)級(ji)。 但(dan)是(shi),在(zai)很多(duo)(duo)過程中,這種內部(bu)壓(ya)縮(suo)(suo)與多(duo)(duo)級(ji)泵(beng)一樣,容易引(yin)起泵(beng)體(ti)內的氣體(ti)物理化學變(bian)化,引(yin)起硬化和(he)液化。
由于干式真空泵類型便于行業選擇,因此不同媒體的選擇形式不同,客戶可以根據具體情況進行選擇。