干式真空泵是未來行業的發展趨勢。雖然現在用得不多,但除了價格高之外,也有用戶對干式真空泵不太了解,看不到未來給企業帶來的經濟效益。小編認為干式真空泵的維護重點在于如何優化干式真空泵的選擇。
對于這(zhe)些不(bu)同類型(xing)的(de)(de)(de)(de)干式真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng),我們(men)渴望(wang)減小(xiao)(xiao)(xiao)它們(men)的(de)(de)(de)(de)物理(li)尺寸(cun)。但(dan)這(zhe)與(yu)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)抽(chou)吸速(su)率相矛盾,因為真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)抽(chou)吸速(su)率與(yu)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)體積成正比,并且小(xiao)(xiao)(xiao)的(de)(de)(de)(de)物理(li)尺寸(cun)意(yi)味(wei)著小(xiao)(xiao)(xiao)的(de)(de)(de)(de)體積。當然,還有(you)另一(yi)個(ge)影響真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)抽(chou)速(su)的(de)(de)(de)(de)重要因素,即(ji)轉(zhuan)速(su)。為了(le)使小(xiao)(xiao)(xiao)型(xing)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)抽(chou)速(su)與(yu)大型(xing)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)抽(chou)速(su)相匹(pi)配,有(you)必要提高其(qi)轉(zhuan)速(su)。改變(bian)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)轉(zhuan)速(su)有(you)兩種方法,一(yi)種是(shi)(shi)改變(bian)電源的(de)(de)(de)(de)頻率,即(ji)使用變(bian)頻器(qi)(qi);二(er)是(shi)(shi)改變(bian)變(bian)速(su)箱的(de)(de)(de)(de)傳(chuan)動比。其(qi)中,采用變(bian)頻器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)優點是(shi)(shi)可以提供閉環控制,但(dan)在重載下容易造成轉(zhuan)矩損(sun)失。改變(bian)變(bian)速(su)箱的(de)(de)(de)(de)傳(chuan)動比是(shi)(shi)一(yi)種非(fei)常經濟(ji)的(de)(de)(de)(de)方法,當然,它只(zhi)能提供不(bu)可控的(de)(de)(de)(de)單速(su)。
現在,我們可以看到有這么多(duo)不同設(she)計的(de)(de)(de)干式真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng),每(mei)一個(ge)都(dou)有自己的(de)(de)(de)特點(dian),優點(dian)和缺點(dian)。長期以來(lai),使用成本是影響(xiang)人們選擇(ze)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)一個(ge)重(zhong)要因素(su)。越(yue)來(lai)越(yue)多(duo)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)用戶意(yi)識到真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)運行的(de)(de)(de)穩定(ding)性也應(ying)該考慮在內。因為真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)意(yi)外錯(cuo)誤會降低機(ji)器(qi)的(de)(de)(de)效率,影響(xiang)晶(jing)圓(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)生產(chan)和交付時間,甚至(zhi)會造成加工后的(de)(de)(de)晶(jing)圓(yuan)(yuan)報廢和機(ji)器(qi)其他部件的(de)(de)(de)損(sun)壞。由(you)于螺桿設(she)計是單級設(she)計,與多(duo)級泵(beng)(beng)如葉片泵(beng)(beng)、爪式泵(beng)(beng)和組合泵(beng)(beng)相(xiang)比,使用的(de)(de)(de)零件數(shu)量減少了(le)60%。這使得它在未來(lai)的(de)(de)(de)穩定(ding)性和維護成本方(fang)面具有很大的(de)(de)(de)優勢。
總(zong)之,如(ru)果(guo)用戶認為功(gong)耗(hao)(hao)對他(ta)來說(shuo)很重要,但(dan)氮氣消(xiao)耗(hao)(hao)對他(ta)來說(shuo)不重要,那么選(xuan)(xuan)擇(ze)內壓縮螺釘是一個很好的(de)(de)選(xuan)(xuan)擇(ze)。總(zong)的(de)(de)來說(shuo),對尾(wei)氣處(chu)理的(de)(de)要求越來越嚴格,這使得(de)今后減少氮的(de)(de)用量(liang)變得(de)更加重要。如(ru)果(guo)你想簡化你的(de)(de)庫(ku)存控制,通過使用一個單一類型的(de)(de)泵來處(chu)理各(ge)種半導體工(gong)藝沒(mei)有改變,那么外(wai)部壓縮螺釘是你的(de)(de)最佳選(xuan)(xuan)擇(ze)。
在真空泵的維(wei)護中,應(ying)注意以下幾點(dian):
(1)泵(beng)的(de)(de)制造精度(du)高,如(ru)果不需要,就不必拆卸(xie),以免因維(wei)護不當而降低精度(du)。當然,維(wei)修工人應(ying)該提(ti)高他們的(de)(de)技(ji)術(shu)水平。當泵(beng)的(de)(de)技(ji)術(shu)性能惡化時,應(ying)及時修復(fu),最好(hao)定期維(wei)護(一年(nian))。
維護期間,從真空系統中取出泵后,開始檢查并泵出。如果確認必須拆下泵進行修理,按照以下步驟取出:處的保護蓋,拆下三角帶、大皮帶和排氣口,松開各進氣口處的壓蓋,待油清洗干凈后,拆下保護蓋和油封室,取出主軸(不要弄斷鏈條),然后取出左右座。