半導體制造業中有許多不同的真空泵。我們將其分為兩類:主泵和高級真空泵。主泵在腔體中產生粗糙的中間真空有多種用途。在集成的多腔設備中清空容納硅晶片的區域;為高級真空泵泵送空氣。先進的真空泵用(yong)于獲得10-3 Torr到10-9 Torr? 的壓力(li)范圍以及(ji)超高(gao)真空(kong)(kong)。新晶圓廠(chang)使用(yong)的現代真空(kong)(kong)泵是干燥的,這(zhe)意味著內部沒有油(you)或(huo)潤滑劑(ji)會回流到處理室并污染硅晶圓。
螺桿泵特點:
1.轉(zhuan)子輪廓嚙合(he)均勻,密(mi)封(feng)性好,抽氣(qi)效率高。
2.最終真空(kong)度高,最大壓力可(ke)達(da)到0.2 Pa。
3.進口螺桿轉(zhuan)子專用(yong)加工(gong)中心(xin)一批,加工(gong)精度高,產品性能(neng)穩定。
4.螺桿泵(beng)的所有轉子都經過了G1動(dong)態平衡(heng)測(ce)試,并(bing)且在運行過程中泵(beng)的振動(dong)很(hen)小(xiao)。
5.泵標配了定制的(de)電(dian)動機,并且在泵的(de)油腔(qiang)和(he)電(dian)動機之(zhi)間形(xing)成(cheng)封閉結(jie)構,從(cong)而消除(chu)了電(dian)動機端部的(de)動態(tai)軸伸(shen)密封,并消除(chu)了機油泄(xie)漏引擎末(mo)端出現問題。
6.泵標(biao)配特殊的(de)可拆(chai)(chai)洗消(xiao)音(yin)器,具有良好的(de)降噪(zao)效果和低噪(zao)音(yin),同(tong)時(shi)易于拆(chai)(chai)卸(xie),清洗和維護。
7.螺桿泵結構合理,可以(yi)(yi)(yi)適應(ying)多種保養和維(wei)護措施,針對各種對泵有害的(de)情況(kuang)具有相(xiang)應(ying)的(de)處理方法,可以(yi)(yi)(yi)配(pei)備(bei)相(xiang)應(ying)的(de)結構或附件,具有很大的(de)相(xiang)關(guan)性(xing)。維(wei)護效果好,操作簡單,處理時間(jian)短,可以(yi)(yi)(yi)更好地保證(zheng)設備(bei)的(de)正常運行。