螺(luo)桿(gan)真(zhen)空泵是容積式(shi)真(zhen)空泵的(de)(de)新成員,出現(xian)(xian)于(yu)上世紀90年代(dai)前后,發展(zhan)緩慢。 但(dan)是,作為理想的(de)(de)干(gan)式(shi)泵,螺(luo)桿(gan)真(zhen)空泵問(wen)世后,得到了迅速的(de)(de)發展(zhan)。 現(xian)(xian)在(zai)就來理解一下小(xiao)編和(he)基(ji)本知識吧(ba)!
一、螺桿真空泵特點
螺(luo)桿(gan)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)起源于螺(luo)桿(gan)式(shi)(shi)壓(ya)縮(suo)機(ji)和螺(luo)桿(gan)式(shi)(shi)液體輸送(song)泵(beng),是容積式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)中(zhong)理想的(de)(de)干式(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)。
由于能夠清潔無油真(zhen)(zhen)空(kong)環境(jing)(jing),對含有腐蝕性氣(qi)體、凝縮(suo)性蒸(zheng)汽、粉(fen)塵粒子的(de)(de)氣(qi)體有很強(qiang)的(de)(de)適應(ying)性,在電子半導體、制藥、石油化學等清潔真(zhen)(zhen)空(kong)環境(jing)(jing)的(de)(de)要求嚴格(ge)、氣(qi)體成分復雜的(de)(de)行業中(zhong),螺(luo)桿(gan)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)受到歡迎,是傳統的(de)(de)油封機(ji)械泵(beng)、液體環泵(beng)的(de)(de)模型(xing)
螺桿真空泵通過(guo)一對(dui)(dui)非(fei)對(dui)(dui)稱螺桿轉子的相對(dui)(dui)運動,周期性地(di)改變齒間容積來輸送(song)氣體,實現抽出的目(mu)的。 這些(xie)特征包括:
1、清(qing)潔無油(you),多相混(hun)輸(shu),適應(ying)性廣。 螺桿真空(kong)泵轉子之(zhi)間有嚴格的間隙,泵室內無油(you),能吸入腐蝕性氣(qi)(qi)體、有毒及粉塵、凝(ning)結性蒸汽等復雜(za)氣(qi)(qi)體。
2、結構簡單,動平衡好,可靠性高。 螺桿真空泵(beng)零件少,核心(xin)零件沒有易損(sun)件,沒有不(bu)平衡慣性力,運轉可靠,壽命長。
3 .結構簡(jian)單(dan),零件少,操作、維護(hu)簡(jian)單(dan)。
4、強(qiang)制輸送空氣,能(neng)在大壓力范圍內保證大的吸引速度,排氣量(liang)幾乎不受排氣壓力的影響。
二、螺桿真空泵的結構
螺(luo)桿真空泵一般為雙軸(zhou)結構(gou)。 螺(luo)桿真空泵是經由(you)一對非(fei)對稱螺(luo)桿轉(zhuan)子在泵室同(tong)步、高速(su)反轉(zhuan),使齒間(jian)容積周期性地變化而(er)產生(sheng)進氣和排氣作用的(de)排氣設備。
其主(zhu)要結(jie)構有螺(luo)桿轉子、軸(zhou)承(cheng)、泵(beng)(beng)體、密封件等。
螺(luo)桿轉子經精密動(dong)平衡校(xiao)正(zheng),支承(cheng)在(zai)(zai)軸(zhou)承(cheng)上,安裝(zhuang)在(zai)(zai)泵(beng)(beng)室,螺(luo)桿與螺(luo)桿之間(jian)保(bao)持著嚴格的(de)(de)一(yi)定(ding)間(jian)隙。
泵(beng)(beng)工作(zuo)時,彼此沒有摩擦,工作(zuo)順利,噪(zao)音低(di)(di),室內(nei)不需要潤滑油。
因此,螺(luo)桿真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)在(zai)(zai)能夠吸(xi)引含有大量水蒸(zheng)氣和粉塵(chen)的(de)(de)氣體的(de)(de)情況下具有極(ji)限真(zhen)空(kong)高、功耗(hao)低(di)(di)、節能、免維護等優點。
螺桿真空(kong)泵主要結(jie)構
從(cong)上(shang)圖可以看出,螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)真空泵在結構上(shang)很簡單。 形式(shi)上(shang),根據(ju)(ju)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)真空泵有臥式(shi)和(he)立式(shi)區(qu)別的(de)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)轉子型生產線,分為(wei)單頭螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)真空泵和(he)多頭螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)真空泵。單頭螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)真空泵根據(ju)(ju)轉子的(de)間距,等間距螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)。
多頭型(xing)線(xian)可以在一個導線(xian)內完成進氣、壓縮、排氣的(de)過(guo)程,導線(xian)少(shao),能(neng)有效減少(shao)泵的(de)體積和(he)重(zhong)量(liang),適用于大吸引速度區域,但(dan)其型(xing)線(xian)復(fu)雜,需要特殊工(gong)具和(he)專用機(ji)床,加工(gong)費用高,而且由于三(san)角泄漏的(de)原因,真空度不高,所以在市場上
單頭(tou)型生產線適用于小(xiao)型螺桿真空泵(beng),市場上單頭(tou)式真空泵(beng)也很多。 其中等間距(ju)螺桿真空泵(beng)室內(nei)沒有壓縮(suo),可以簡單地(di)排出固(gu)體粒子和(he)(he)凝縮(suo)性氣(qi)(qi)體,但排氣(qi)(qi)溫度和(he)(he)能(neng)量消耗度高的可變間距(ju)螺桿真空泵(beng)室內(nei)有壓縮(suo),排氣(qi)(qi)溫度低,能(neng)量消耗低,但對粉塵粒子和(he)(he)凝縮(suo)性氣(qi)(qi)體的耐性等間距(ju)差。
三、螺桿真空泵的應用
螺桿真空泵(beng)(beng)不僅適(shi)應(ying)性寬(kuan),而且(qie)能在苛刻的條件下排氣,同時能實現高真空度(0.1~1Pa
)。
因此,隨著半導(dao)體(ti)、石油化(hua)學(xue)行(xing)業(ye)(ye)的迅速(su)發(fa)展,螺桿真空泵(beng)(beng)作為理想的干(gan)式泵(beng)(beng)開始廣泛(fan)應(ying)用于電(dian)子半導(dao)體(ti)、醫藥化(hua)學(xue)工業(ye)(ye)領域,如半導(dao)體(ti)行(xing)業(ye)(ye)的蒸鍍、蝕刻、醫藥化(hua)學(xue)工業(ye)(ye)行(xing)業(ye)(ye)的蒸餾干(gan)燥、中間體(ti)、溶劑回收、石油氣回收等。
由于型線技術和加(jia)工成本(ben),螺桿真空泵廠家(jia)的購買(mai)費(fei)用比較(jiao)高,但從長期來(lai)看,其寬度適(shi)應、高效(xiao)節能環保(bao)特性和低故障修理(li)率,在運行周期內能給企業帶來(lai)較(jiao)高的綜合利益和社會(hui)環境利益,使用的更廣泛性是未來(lai)的趨勢。
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