一.干式螺桿(gan)真空泵原理介(jie)紹
干式螺(luo)桿真空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)原(yuan)理是(shi)利(li)用(yong)一對螺(luo)桿,在(zai)螺(luo)桿真空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)泵(beng)(beng)室內同步(bu)反向高速(su)運行,由兩個轉子.泵(beng)(beng)體和側蓋(gai)組成幾個室,實(shi)現吸排(pai)氣(qi)作(zuo)用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)泵(beng)(beng)機械設備。
這(zhe)些個的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)室定(ding)期地從真空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)吸氣(qi)口側向排(pai)氣(qi)口側“移(yi)動”,氣(qi)體以低速(su)旋轉的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)式被輸送。
即使真空(kong)泵(beng)(beng)繼續運轉,氣(qi)體的(de)(de)(de)(de)(de)流動也不會改變,所以能在(zai)一定(ding)程度上(shang)引出可能被氣(qi)體夾住的(de)(de)(de)(de)(de)細(xi)微粒子和蒸(zheng)汽。
干(gan)式螺(luo)桿(gan)(gan)(gan)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)工(gong)作(zuo)時,兩螺(luo)桿(gan)(gan)(gan)相(xiang)互間(jian)不產生(sheng)直接摩擦(ca)力,泵(beng)室(shi)內不需潤滑油,運行(xing)中機械平穩(wen),發出的(de)(de)聲音小。
與等長螺(luo)桿(gan)(gan)(gan)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)相(xiang)比,改(gai)變(bian)(bian)螺(luo)距結構的(de)(de)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)極(ji)限真空(kong)(kong)(kong)度(du)高(gao),有(you)良(liang)好(hao)的(de)(de)間(jian)隙設計和(he)連續壓縮(suo)方式,單(dan)泵(beng)可達(da)到0.0075torr(0.01 hpa
)的(de)(de)極(ji)限真空(kong)(kong)(kong)。 能耗(hao)更低(di),變(bian)(bian)螺(luo)距螺(luo)桿(gan)(gan)(gan)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)節能型設計理念,可使(shi)能耗(hao)降低(di)30%,是油封式真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)好(hao)替代品。
在半(ban)導體行(xing)業,干(gan)式螺(luo)桿(gan)(gan)(gan)式真空(kong)(kong)(kong)泵(beng),大幅(fu)度(du)提高(gao)了工(gong)作(zuo)環境(jing)的(de)(de)質量,提高(gao)了生(sheng)產的(de)(de)產品品質和(he)性能。
二.干式螺桿真空泵的選型特(te)點
干(gan)式(shi)(shi)(shi)螺(luo)桿式(shi)(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)具有良好的(de)(de)制(zhi)冷方(fang)式(shi)(shi)(shi),市售的(de)(de)干(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)多使用茄(qie)(qie)克(ke)衫(shan)(shan)冷卻(que)水(shui)蒸發制(zhi)冷轉子,干(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)采用符合流體(ti)動力學(xue)的(de)(de)螺(luo)旋(xuan)狀(zhuang)冷卻(que)水(shui)茄(qie)(qie)克(ke)衫(shan)(shan)結構,提高(gao)了(le)(le)熱交(jiao)換(huan)效率,產生了(le)(le)更(geng)好的(de)(de)蒸發制(zhi)冷效果,干(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)泵(beng)(beng)室(shi)內部也合理維持(chi)了(le)(le)低溫度
眾所周(zhou)知(zhi),溶液中的(de)酸性(xing)絡離子和堿(jian)性(xing)絡離子與金屬發生化學(xue)反(fan)應(ying)時(shi),金屬就會(hui)腐(fu)蝕,溫度越高化學(xue)反(fan)應(ying)越快,腐(fu)蝕速度越快。
一般的(de)真空(kong)泵(beng)采用(yong)耐(nai)腐(fu)蝕材質,或者轉子使用(yong)耐(nai)腐(fu)蝕性(xing)的(de)涂層(ceng)材料來(lai)延遲腐(fu)蝕速率。
利(li)用(yong)氣鎮閥裝置降(jiang)低(di)腐(fu)食性(xing)瓦(wa)斯氣體(ti)(ti)的(de)分壓(ya),能夠防(fang)止腐(fu)食性(xing)瓦(wa)斯氣體(ti)(ti)在泵(beng)室內(nei)凝結,進一步提高真空(kong)泵(beng)的(de)耐(nai)腐(fu)蝕性(xing)能力。
制(zhi)造的干(gan)式螺桿真空(kong)泵(beng)有(you)以下優點
1.清潔環境保(bao)護(hu):工作(zuo)室(shi)內無其他(ta)雜質,可(ke)獲得清潔真空
2.真空度高:間隙(xi)設計和壓縮方式良好
3.防腐設計(ji):耐腐蝕(shi)的性(xing)涂(tu)層材料,瓦斯氣體鎮閥(fa)裝(zhuang)置(zhi)
4.蒸發(fa)制冷(leng)效果:采用符合流體動力學的螺旋狀冷(leng)卻水茄克(ke)衫
5.節能:可(ke)變(bian)螺距螺桿的節能型設計
6.成(cheng)(cheng)本低(di):無污染(ran).無污染(ran).無廢棄排放處(chu)理成(cheng)(cheng)本.維護成(cheng)(cheng)本低(di).在(zai)泵出(chu)口回收排放瓦斯氣(qi)體.綜(zong)合成(cheng)(cheng)本低(di).工程(cheng)成(cheng)(cheng)本低(di)
7.開車很順暢
8.標準配(pei)置和輔助(zhu)設施完備(bei)
9.健(jian)全的零配(pei)件供應和售后服(fu)務。