干式真空泵
干式真空泵是無油干式機械真空泵的簡稱。干式真空泵是一種不使用油、水或其他聚合物等流體作為工作介質的真空泵。這使得干式真空泵的清潔度更好,并防止油污染。因此,干式真空泵主要用于對潔凈度要求較高的真空等離子清洗機,如半導體領域、生物醫學領域和航空航天領域。真空等離子清洗機上最常用的干式真空泵之一是干式螺桿真空泵。
干式螺桿真空泵
干式螺桿真空泵是一種真空泵,它利用一對螺桿在真空泵殼體內高速同步反向旋轉,從而產生作用力,實現抽吸和排氣的功能。由于干式螺桿真空泵相互之間沒有摩擦,運行平穩,噪音低,所以工作腔內不需要潤滑油。干式螺桿真空泵是一種性能優異的干式真空泵,與其他真空泵相比有很多優點:
第一,干式螺桿真空泵的極限真空度很高,最高極限真空可達到1-2Pa;
第二,干式螺桿真空泵性能穩定,噪音低,故障率低,維護簡單;
第三,干式螺桿真空泵的一種工作腔和螺桿轉子表面均有防腐涂層,可適應惡劣工況。
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