真空系統的種類(lei)有很多,但無(wu)論哪一(yi)種真空(kong)應用設備都有一(yi)套排除被抽容器內(nei)氣(qi)體的抽氣(qi)系統,以(yi)便在真空(kong)容器內(nei)獲得所(suo)需(xu)要的真空(kong)條件。舉例來說:一(yi)個真(zhen)空(kong)處理用的容器,用管道和閥(fa)門將它與真(zhen)空泵連接起來(lai),當(dang)真(zhen)空泵對容(rong)器進行抽空時(shi),容(rong)器上要(yao)有(you)真(zhen)空測量裝(zhuang)置(zhi),這就構成(cheng)了一個(ge)最簡單的真(zhen)空抽氣系(xi)統(tong)(如圖1)。
?
如圖1所示的最簡單的真空系統只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度,當需要獲得高真空范圍內的真空度時,通常在圖1所(suo)示的(de)真(zhen)(zhen)空系統中串(chuan)聯(lian)一(yi)個(ge)(ge)高(gao)真(zhen)(zhen)空泵。當串(chuan)聯(lian)一(yi)個(ge)(ge)高(gao)真(zhen)(zhen)空泵之(zhi)后,通常要在高(gao)真(zhen)(zhen)空泵的(de)入口(kou)和出口(kou)分別加上閥(fa)門,以便高(gao)真(zhen)(zhen)空泵能單獨保(bao)持真(zhen)(zhen)空。如果(guo)所(suo)串(chuan)聯(lian)的(de)高(gao)真(zhen)(zhen)空泵是一(yi)個(ge)(ge)油(you)擴散泵,為了防止大(da)量的(de)油蒸氣返(fan)流進入被(bei)抽容器,通常(chang)在(zai)油擴散泵的(de)入口加一個(ge)捕(bu)集器——水冷障板(ban)(如圖(tu)2所(suo)示)。根據要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等,這樣就構成了一個較完善的高真空系統。
?
凡是由兩個以上真空泵串聯組成的真空系統,通常都把抽低真空的泵叫做它上一級高真空泵的前級泵(或稱前置(zhi)泵),而最高一級的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)叫做該真(zhen)(zhen)(zhen)空系統的(de)主(zhu)泵(beng),即它(ta)是(shi)最主(zhu)要的(de)泵(beng),被抽容器中的(de)極限真(zhen)(zhen)(zhen)空度(du)和(he)工作(zuo)真(zhen)(zhen)(zhen)空度(du)就(jiu)由主(zhu)泵(beng)確定(ding)。被抽容器出口(kou)到主(zhu)泵(beng)入(ru)口(kou)之間(jian)的(de)管路稱(cheng)為高真(zhen)(zhen)(zhen)空管路,主(zhu)泵(beng)入(ru)口(kou)處的(de)閥門稱(cheng)為主(zhu)閥。
通常前級泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱為予真空管路,該管路上的閥門稱為予真空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱為前級管道,該管路上的閥門稱為前級管道閥,而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動而設置的。
總起來(lai)說,一個較完善(shan)的真空系統由下列元件組(zu)成:
1.真空閥門(men);
2.連(lian)接管道;
3.抽氣設備:例如各(ge)種真空泵;?
4.其它元件:例如捕集(ji)器(qi)、除塵器(qi)、真空繼電器(qi)規頭(tou)、儲(chu)氣(qi)罐等(deng)。
5.真空測量裝(zhuang)置:例如真空壓力表(biao)、各種(zhong)規管(guan);?
真空(kong)系統設計(ji)(ji)的(de)基本內容:是根據被抽(chou)容器對真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)的(de)要求,選擇適當的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)設計(ji)(ji)方案,進行(xing)選、配泵計(ji)(ji)算;確定(ding)導管(guan)、閥(fa)門、捕集(ji)器、真(zhen)(zhen)空(kong)測量元件(jian)等,進行(xing)合理配置,最(zui)后劃出真(zhen)(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)裝配圖(tu)(tu)和零部(bu)件(jian)圖(tu)(tu),真(zhen)(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)用(yong)一句話(hua)來概括,就是用(yong)來獲得有特(te)定(ding)要求的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)的(de)抽(chou)氣系(xi)統(tong)。
?
?