真空(kong)機(ji)組(zu)的分類?
真空(kong)機組一般根據主泵(beng)的類型來(lai)命(ming)名,然后可根據產(chan)品特點(dian)來(lai)進行(xing)分類,如含油真(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)與無油真(zhen)空機(ji)組(zu)(zu);更常見(jian)的,是(shi)按真(zhen)空應用范圍來(lai),可分為低真(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)、中真(zhen)空泵(beng)機(ji)組(zu)(zu)、高真(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)及超高真(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)。
1.低真空機(ji)組
工作壓力高、排氣量大,多用于真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥機真空脫氣等。低真空機組常用的主泵,容積式真空泵中的往復泵、水環泵(beng)、油封機械泵(beng)、螺桿(gan)真空泵(beng)、濕(shi)式羅茨泵(beng)以及噴射(she)泵(beng)、分子(zi)篩吸附泵(beng)等這些直(zhi)排大氣型(xing)的真空泵(beng)都可以勝任,但根據被抽(chou)氣體的清潔程(cheng)度、濕(shi)度及其(qi)他(ta)條(tiao)件,需配(pei)置除塵器、氣水油水分離(li)器、干燥阱等設施。
2.中真空機組
適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統中,如鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理及醫藥化工、電工焊接等行業。以往中真空機組由羅茨(ci)真(zhen)空泵+油(you)(you)封機械泵(beng)、羅茨(ci)真空(kong)+水環真空(kong)泵(beng)以及雙羅茨(ci)真空(kong)泵(beng)這(zhe)樣(yang)的(de)(de)組合居多。隨著螺桿真空(kong)泵(beng)這(zhe)樣(yang)的(de)(de)無(wu)油(you)(you)真空(kong)泵(beng)的(de)(de)興起,羅茨(ci)真空(kong)泵(beng)+螺桿真空(kong)泵(beng)這(zhe)樣(yang)的(de)(de)無(wu)油(you)(you)真空(kong)機組也(ye)逐(zhu)漸增(zeng)多,適應性更廣。
3.高真空機組
工作于分子流狀態下,工作壓力區間在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情(qing)況下(xia)主泵由擴散(san)泵、分子泵、鈦升華泵以及(ji)低溫(wen)冷凝泵等(deng)來承擔,由于它們無(wu)法直接在大氣下(xia)工作,因此必(bi)須配置前(qian)級(ji)泵、預抽泵等(deng),特殊情(qing)況下(xia)為(wei)防止氣壓波動還需要配置維(wei)持泵與儲氣罐等(deng)。
4.超高真空機組
工作壓力區間在10-6~10-10Pa,需要主泵的極限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作壓力區間內保證相應的抽速,如濺射離子泵、渦輪分子泵等,而且對系統組成的材料要求能經受200~450℃高溫烘烤并保證低漏氣率與出氣率等。
真空系統可以(yi)抽哪些氣體?
1.真空系統工藝過程中產生的氣體:
它包括工藝過(guo)程(cheng)中材料放出的(de)氣(qi)體以及(ji)工藝需(xu)要而引入的(de)氣(qi)體,同(tong)(tong)時真空(kong)系統中液體或固體蒸發的(de)氣(qi)體也包含其中。不(bu)同(tong)(tong)的(de)工藝過(guo)程(cheng)以及(ji)不(bu)同(tong)(tong)的(de)被處理材料,這(zhe)部分氣(qi)體的(de)量的(de)計算都(dou)是(shi)不(bu)同(tong)(tong)的(de)。?
?
2.真(zhen)空系(xi)統內原本存(cun)在的大氣(qi)氣(qi)體
:
真(zhen)空系(xi)統中真(zhen)(zhen)空容器(qi)室、真(zhen)(zhen)空管路(lu)等(deng),這些原(yuan)本就含(han)有一定量的(de)大氣(qi)氣(qi)體成分,在(zai)抽氣(qi)初期(qi),它們是真(zhen)(zhen)空系統(tong)抽氣(qi)的(de)主要氣(qi)體負荷(he),也是被系統(tong)最(zui)早抽走(zou)的(de)。?
3.真空系統中的泄漏(lou)氣體(ti):
??
泄(xie)漏(lou)(lou)氣(qi)體包括大氣(qi)通過真空密封的(de)(de)連接(jie)處以(yi)及各種(zhong)漏(lou)(lou)隙通道泄(xie)漏(lou)(lou)進入真空系(xi)統內部的(de)(de)氣(qi)體。對于確定(ding)的(de)(de)真空系(xi)統來說,泄(xie)漏(lou)(lou)的(de)(de)氣(qi)體量是一個(ge)常數(shu)。不(bu)同(tong)的(de)(de)真空系(xi)統應用、不(bu)同(tong)的(de)(de)極限(xian)壓力,對泄(xie)漏(lou)(lou)氣(qi)體的(de)(de)量也有嚴(yan)格的(de)(de)限(xian)制。?
4.真空系統中各種材料表面解(jie)吸釋放(fang)出來的氣(qi)體
:
常壓下(xia),真空系統中的材(cai)料表面會(hui)(hui)吸附、溶解部分氣(qi)(qi)體(ti)。在負壓狀態下(xia),這部分氣(qi)(qi)體(ti)會(hui)(hui)被重新釋放(fang)出來。它的放(fang)氣(qi)(qi)流量與材(cai)料性(xing)能、處理(li)工(gong)藝(yi)以(yi)及材(cai)料表面狀態有關(guan)。?
5.真空系(xi)統(tong)外大氣通過器(qi)壁材料滲透到系(xi)統(tong)內的氣體(ti):
氣體在固體中也會發生溶解、滲透。因此大氣通過容器壁結構材料會向真空系統內滲透部分氣體。這種滲透在一般的金屬系統下可以不考慮,但部分應用在玻璃真空系統或薄壁金屬系統會需要考慮滲透氣體帶來的影響。?
?在結構設(she)計建設(she)過(guo)程中需要注意的(de)十(shi)個方面:??
一、結構材料選擇標準的無縫鋼管和板材,減少焊接結構,提高真空部件的氣密性。對于需要進行焊接結構的系統元件,應針對性的選擇焊接性能好的鋼材。
二、合理設(she)計(ji)焊(han)接(jie)結構,提高焊(han)接(jie)工(gong)(gong)藝質量(liang)。焊(han)接(jie)是(shi)真空系統建設(she)過程中(zhong)(zhong)的(de)一道重要(yao)工(gong)(gong)序,焊(han)接(jie)結構要(yao)避免處于真空中(zhong)(zhong)的(de)焊(han)縫有(you)污物(wu)積存(cun)的(de)空隙。如果(guo)出現污物(wu)積存(cun)或空隙,不(bu)僅會給清洗(xi)造成困難,還會成為(wei)(wei)真空系統中(zhong)(zhong)緩慢放氣的(de)氣源。如果(guo)焊(han)縫出現死(si)空間,就會成為(wei)(wei)難以找到漏(lou)隙所在。
三(san)、避免出現隔離孔穴(氣袋(dai)),或為(wei)其開設出氣孔,便于快速抽真(zhen)空。氣袋(dai)會成(cheng)為(wei)緩(huan)慢放氣的源泉,增(zeng)長(chang)了抽氣時間。
四、最好(hao)能對真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統內(nei)(nei)(nei)的(de)(de)構件及內(nei)(nei)(nei)壁(bi)(bi)進(jin)行電鍍拋光、氧化處理等,減少表(biao)(biao)面(mian)放氣(qi)。不(bu)同(tong)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)環(huan)境對內(nei)(nei)(nei)壁(bi)(bi)粗糙度(du)的(de)(de)要(yao)(yao)求也(ye)不(bu)相同(tong),原(yuan)則上要(yao)(yao)求處于真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統內(nei)(nei)(nei)的(de)(de)構件和(he)殼體(ti)內(nei)(nei)(nei)壁(bi)(bi)表(biao)(biao)面(mian)是越光潔(jie)越好(hao)(一(yi)般高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)的(de)(de)內(nei)(nei)(nei)壁(bi)(bi)粗糙度(du)Ra為(wei)6.3~3.2;中真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)的(de)(de)內(nei)(nei)(nei)壁(bi)(bi)粗糙度(du)Ra為(wei)12.5左右;超(chao)高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)的(de)(de)內(nei)(nei)(nei)壁(bi)(bi)要(yao)(yao)求拋光,達到非(fei)常光潔(jie)的(de)(de)表(biao)(biao)面(mian)。另(ling)外需要(yao)(yao)注意,生銹的(de)(de)金(jin)屬(shu)表(biao)(biao)面(mian)對抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)十(shi)分(fen)不(bu)利(li)。
五、法蘭連接(jie)先(xian)焊(han)接(jie)后加工,保證尺寸、粗(cu)糙度要求(qiu)以(yi)及氣密性。焊(han)接(jie)時(shi)容(rong)易引起(qi)法蘭變形,因此(ci)目前國內都采用焊(han)接(jie)后再(zai)對法蘭加工,這樣既可達(da)到尺寸和粗(cu)糙度的要求(qiu),又(you)能保證兩個法蘭連接(jie)時(shi)密封可靠(kao)。
六、高溫度下(xia)工(gong)作的真空橡膠密封圈(quan),可采用水冷(leng)結(jie)構加以保護,防止部(bu)件部(bu)件損壞(huai)或壽命變(bian)短(duan)。
七、真(zhen)(zhen)空系統元件及真(zhen)(zhen)空室殼體器壁需滿(man)足(zu)(zu)一定厚度(du),以滿(man)足(zu)(zu)其有足(zu)(zu)夠的(de)強度(du)保證不會在內力(li)外力(li)作用下(xia)發生變形(xing)(滿(man)足(zu)(zu)內外部打壓,3個大氣壓下(xia)不變形(xing))。實際(ji)應用中,真(zhen)(zhen)空容器一般(ban)采用圓形(xing)結構較好;而端蓋(gai)采用凸形(xing)結構為好。
八、保(bao)證由外部進入(ru)真(zhen)空室(shi)內(nei)的(de)轉動件或(huo)移動件的(de)動密(mi)封(feng)性能(neng)。除了選擇(ze)好的(de)密(mi)封(feng)結構外,其(qi)中的(de)軸(zhou)或(huo)桿(gan)一定要滿足粗糙(cao)度(du)要求,防止(zhi)軸(zhou)和桿(gan)上(shang)無軸(zhou)向劃痕,這種(zhong)劃痕會(hui)引起氣體泄(xie)漏,降(jiang)低系(xi)統的(de)真(zhen)空度(du),且不易被發現。
九、真空系統上測量規管座位置的安排應遵循如下原則:a.不能將測量規管放在密封面較多的地方。因為每一個密封面都不可能保證絕對不漏氣,密封面集中之處,必然是容易漏氣的地方,測量值可能不準。b.規管內壁各處,必須保證真空衛生,否則會造成測量不準。c.規管應盡量接在靠近被測量的地方,以減少測量誤差。
十、真(zhen)空(kong)室(shi)殼體上的水(shui)套(tao)結(jie)構,要保證水(shui)流暢通無阻,更不能出現死水(shui),造(zao)成局(ju)部過熱。因此進出水(shui)管位(wei)置要一下(xia)一上,且(qie)設置流水(shui)隔層,使水(shui)沿一定的路線流動(dong)。