真空泵使用過程中這幾個點要注意
1.真空泵用于抽(chou)潔凈氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti),不能抽(chou)有毒(du)、易(yi)燃、易(yi)爆、腐蝕性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)或者(zhe)蒸(zheng)汽、化學品、溶劑及(ji)粉末(mo)等。如易(yi)燃氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)、含國家特(te)(te)殊(shu)化學品規定成分的特(te)(te)殊(shu)或高濃(nong)度強(qiang)酸強(qiang)堿性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)、或半導體(ti)(ti)工藝中高濃(nong)度氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)、有機(ji)溶劑、結晶(jing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)等。這些氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)容易(yi)使(shi)軸承失效。
2.進氣溫(wen)度必須低(di)于50℃,否則在被抽真空室與泵(beng)進氣口之(zhi)間(jian)必須加冷阱,降溫(wen)至低(di)于50℃。
3.抽(chou)含有水(shui)蒸汽的氣體(ti)時(shi),要打開(kai)氣鎮閥抽(chou)氣,被抽(chou)氣體(ti)水(shui)蒸汽含量(liang)要求在23克/日以下。如(ru)果超過(guo)此(ci)極(ji)限,將會(hui)縮短(duan)氣鎮閥壽命。
4.真空泵不能在(zai)腐蝕性(xing)、易燃、易爆氣體或蒸汽環境中(zhong)工作(zuo),否則會有爆炸、火災等危(wei)險。
5.不要由(you)一(yi)兩個(ge)人移(yi)動(dong)此(ci)泵(beng)(beng)。此(ci)由(you)專業人員搬運、安裝、配置、配線、操作(zuo)、維護和(he)檢(jian)查,否則會有觸電、受(shou)傷(shang)或者泵(beng)(beng)甚(shen)至被(bei)抽(chou)真空室損壞(huai)的(de)危險。
6.不要繼續使用(yong)已經損(sun)壞(huai)的(de)泵,否則(ze)會有受傷、觸電(dian)甚至被抽系(xi)統損(sun)壞(huai)等(deng)危(wei)險(xian)。
7.檢查確定(ding)此泵安全接地。
8.此泵工(gong)作(zuo)過程中或(huo)剛停機時(shi)不要接觸泵電機或(huo)金屬部(bu)件(因為工(gong)作(zuo)時(shi)很熱,最高(gao)可(ke)能(neng)達到70℃)。如確實需要接觸,采(cai)取必要防護(hu)措(cuo)施防止(zhi)受(shou)傷。
9.必須(xu)安裝電機保(bao)護開關。
10.不要刮碰進氣(qi)口與排氣(qi)口法(fa)蘭,以(yi)免損壞法(fa)蘭口,導(dao)致真空度上不去。
11.在進(jin)氣(qi)(qi)口處(chu)裝(zhuang)截止閥(fa)。真(zhen)空(kong)泵停止后進(jin)氣(qi)(qi)口處(chu)真(zhen)空(kong)度降低,是因為排氣(qi)(qi)口處(chu)的大氣(qi)(qi)返至(zhi)進(jin)氣(qi)(qi)口處(chu),不是真(zhen)空(kong)泵的原因。如要保證真(zhen)空(kong)室內(nei)的真(zhen)空(kong)度,要在真(zhen)空(kong)室與泵之間安裝(zhuang)截止閥(fa)。
12.排氣口處(chu)要(yao)接(jie)排氣管(guan),以(yi)防灰(hui)塵進入泵內。
最后(hou)要提醒(xing)大家(jia)的是(shi),在使(shi)用過程(cheng)中出現問題(ti)還是(shi)要找專業的真空泵(beng)售后(hou)維修.