液(ye)環真(zhen)空泵結構(gou)及工作原理
液(ye)環(huan)真(zhen)空泵(beng)(beng)是一種使(shi)用液(ye)體作為工(gong)作介質(zhi)的粗泵(beng)(beng)。水環(huan)真(zhen)空泵(beng)(beng)用作工(gong)作介質(zhi),也可(ke)以使(shi)用其他(ta)工(gong)作油,如油,硫(liu)酸和乙酸。主要使(shi)用工(gong)業水環(huan)真(zhen)空泵(beng)(beng)。
液(ye)環真空(kong)泵(beng)有單(dan)(dan)級(ji)(ji),雙(shuang)級(ji)(ji),單(dan)(dan)作(zuo)用(yong)和(he)雙(shuang)作(zuo)用(yong)應(ying)用(yong)。單(dan)(dan)級(ji)(ji)和(he)兩級(ji)(ji)真空(kong)泵(beng)是(shi)指(zhi)(zhi)葉輪(lun)(lun)的(de)級(ji)(ji)數;單(dan)(dan)/雙(shuang)動作(zuo)是(shi)指(zhi)(zhi)葉輪(lun)(lun)/殼體的(de)形式,單(dan)(dan)作(zuo)用(yong)葉輪(lun)(lun)真空(kong)泵(beng)葉輪(lun)(lun)旋轉一次(ci),氣體經過一次(ci)抽吸/排(pai)出;雙(shuang)作(zuo)用(yong)真空(kong)泵(beng)使(shi)其葉輪(lun)(lun)旋轉一周。吸入和(he)排(pai)出兩種(zhong)氣體。
使(shi)用真空泵時(shi),需要注意以下事項:
1.真空(kong)泵(beng)的(de)工作壓力應滿足真空(kong)設備的(de)極限真空(kong)和工作壓力要求。例如(ru),真空(kong)涂層需要1×10-5mmHg的(de)真空(kong),并且所選(xuan)真空(kong)泵(beng)的(de)真空(kong)度(du)至(zhi)少為5×10-6mmHg。泵(beng)的(de)真空(kong)通常選(xuan)擇為比真空(kong)設備的(de)真空(kong)高一半數量(liang)級。
2.正確選(xuan)擇(ze)(ze)真空泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)工(gong)作(zuo)點。每個泵(beng)(beng)(beng)都(dou)有(you)一(yi)定(ding)的(de)(de)工(gong)作(zuo)壓力范圍,如:擴散泵(beng)(beng)(beng)為(wei)10-3~10-7mmHg。在(zai)(zai)(zai)如此(ci)(ci)寬(kuan)的(de)(de)壓力范圍內,泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)泵(beng)(beng)(beng)送速度隨壓力變化,其穩定(ding)的(de)(de)工(gong)作(zuo)壓力范圍為(wei)5×10。 -4?5×10-6mmHg。因(yin)此(ci)(ci),泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)工(gong)作(zuo)點應在(zai)(zai)(zai)此(ci)(ci)范圍內選(xuan)擇(ze)(ze),不應在(zai)(zai)(zai)10-8mmHg下長時間工(gong)作(zuo)。另一(yi)個例子是鈦(tai)升(sheng)華泵(beng)(beng)(beng)可以在(zai)(zai)(zai)10-2mmHg下工(gong)作(zuo),但其工(gong)作(zuo)壓力應小于1×10-5mmHg。
3.在工作壓力下,真空泵應(ying)能清除真空設備過程中產生的(de)所有氣體。
4.正確組(zu)合(he)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。由于真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)具有(you)選擇(ze)性(xing)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)送,有(you)時泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)不(bu)能(neng)滿足泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)送要(yao)求,并且需要(yao)將多個泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)組(zu)合(he)以(yi)彼此互補以(yi)滿足泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)送要(yao)求。例如,鈦升華泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)對(dui)氫氣(qi)(qi)具有(you)高(gao)抽速(su),但不(bu)能(neng)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)送,并且三極(ji)(ji)濺(jian)射(she)離(li)子泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(或(huo)雙極(ji)(ji)不(bu)對(dui)稱陰極(ji)(ji)濺(jian)射(she)離(li)子泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng))對(dui)氬氣(qi)(qi)具有(you)一定的抽速(su)。組(zu)合(he)時,真(zhen)(zhen)空裝置(zhi)將具有(you)更好的真(zhen)(zhen)空。另外(wai),有(you)些真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)不(bu)能(neng)在大氣(qi)(qi)壓下工作(zuo),需要(yao)預真(zhen)(zhen)空;一些真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)出口壓力低于大氣(qi)(qi)壓力,需要(yao)前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng),因此需要(yao)將泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)組(zu)合(he)在一起。
5.真(zhen)空設(she)備對油(you)污的(de)要(yao)求(qiu)(qiu)。如(ru)果(guo)設(she)備嚴格要(yao)求(qiu)(qiu)無(wu)油(you),則應選擇(ze)(ze)各(ge)種無(wu)油(you)泵,如(ru):水環泵,分(fen)子篩吸附(fu)泵,濺射離子泵,低溫泵等(deng)。如(ru)果(guo)要(yao)求(qiu)(qiu)不(bu)嚴格,你可以選擇(ze)(ze)有一個油(you)泵,加上一些(xie)油(you)污措(cuo)施,如(ru)加入(ru)冷阱(jing),擋板,油(you)阱(jing)等(deng),也可以達到清潔真(zhen)空要(yao)求(qiu)(qiu)。
6.了解(jie)要泵(beng)送的(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)成分。該氣(qi)(qi)(qi)體(ti)不(bu)含可凝結的(de)蒸氣(qi)(qi)(qi),沒有(you)顆粒(li)粉塵,也沒有(you)腐蝕性(xing)。選(xuan)擇(ze)真空泵(beng)時,您需要知道氣(qi)(qi)(qi)體(ti)成分并選(xuan)擇(ze)合適的(de)泵(beng)送氣(qi)(qi)(qi)體(ti)泵(beng)。如果(guo)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)中含有(you)蒸汽,微(wei)粒(li)和(he)腐蝕性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti),請(qing)考慮在泵(beng)的(de)入(ru)口管道上安裝(zhuang)冷凝器,集塵器等輔助設(she)備。
7.從真空泵排(pai)出的油(you)蒸汽如何(he)影(ying)響環(huan)境?如果環(huan)境不允許污染,您(nin)可以選擇無(wu)油(you)真空泵或(huo)將油(you)蒸汽排(pai)放到外面。
8.真空(kong)泵(beng)工(gong)作時產生的振(zhen)動對過(guo)(guo)程和(he)環境沒有影(ying)響。如果過(guo)(guo)程不(bu)允許,請選擇無振(zhen)動泵(beng)或(huo)采取防(fang)振(zhen)措施(shi)。
9.真空泵的價格,運行和維護費用