工作在10-5Pa以上的超高真空機組具有擴散泵,分子泵超高真空機組和無油超高真空機組。該真空機組具有以下特征:
1.主真空(kong)泵的(de)最高真空(kong)度很(hen)高,在10-7?10-8pa以上
2.可以(yi)承(cheng)受200?450°C的(de)高溫烘烤。
3.主泵回油(you)的分壓非(fei)常低。
4.對(dui)真空泵(beng)送氣體(ti)具(ju)有較強選擇性(xing)的主泵(beng)應配備足夠大的輔助泵(beng)。
5.要求真空室(shi),管道,閥等的材(cai)料的氣體(ti)輸出率低,氣體(ti)泄漏率小。
(1)擴散(san)泵超高真空機組
以(yi)擴散泵為主泵的超高真空(kong)機組的極(ji)限(xian)真空(kong)度為10-7?10-8Pa。
為了減少來自擴(kuo)散(san)(san)泵前(qian)級的(de)(de)氣(qi)體的(de)(de)反向擴(kuo)散(san)(san)和機械(xie)泵油的(de)(de)反向擴(kuo)散(san)(san)對極限(xian)真空的(de)(de)影響,可以(yi)在前(qian)級使用抽速小的(de)(de)擴(kuo)散(san)(san)泵降低擴(kuo)散(san)(san)泵的(de)(de)壓縮(suo)比,減少小擴(kuo)散(san)(san)。如果將鈦升華捕集(ji)器(qi)添加到擴(kuo)散(san)(san)泵的(de)(de)入口,則可以(yi)進(jin)一步降低來自擴(kuo)散(san)(san)泵的(de)(de)氮氣(qi)的(de)(de)分(fen)壓,并且(qie)可以(yi)獲(huo)得(de)10-11
Pa的(de)(de)超高(gao)真空。
(2)分子泵(beng)超高(gao)真空裝(zhuang)置(zhi)
以分子泵為主泵的(de)(de)超(chao)高真空(kong)裝置的(de)(de)極(ji)限真空(kong)度為10-8Pa,具有(you)啟動快,油(you)污(wu)少的(de)(de)特點(dian)。
增加裝置中的(de)液(ye)氮捕(bu)集器可以提高抽速。水(shui)冷疏水(shui)閥位于機(ji)械泵的(de)出口,以防止油蒸氣進入系統。
(3)無油超高真空機組
不使用油(you)作(zuo)為工作(zuo)流體(ti)且未用有(you)機(ji)材料密(mi)封的真空(kong)(kong)機(ji)組(zu)稱為無(wu)油(you)超高真空(kong)(kong)機(ji)組(zu)。常用的主(zhu)真空(kong)(kong)泵(beng)有(you)低溫泵(beng),鈦(tai)泵(beng),濺射離(li)子泵(beng)等,它們可以達(da)到10-7?10-8Pa的極限真空(kong)(kong)度。與抽(chou)油(you)機(ji)相(xiang)比,具有(you)以下(xia)優點
1.可(ke)獲得清潔的真空,無污染(ran)源(yuan)。
2.當啟動無油真空泵(beng)(beng)時,可(ke)以將預抽泵(beng)(beng)隔離。
3.如果(guo)抽水突然(ran)停止,則不會污染系(xi)統。
4.無油,無聲音,無振動(dong),改(gai)善了工作環境。
5.極限真空度高,抽速大,抽氣時間短。