與傳統(tong)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)設備相比(bi)，水(shui)環(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)機(ji)(ji)(ji)(ji)組(zu)在(zai)(zai)晶圓(yuan)吸附切(qie)割(ge)(ge)技術，通過(guo)精確控(kong)制切(qie)割(ge)(ge)工(gong)(gong)具與晶圓(yuan)表面的(de)(de)(de)(de)接觸力(li)度(du)(du)與角(jiao)度(du)(du)，結合高效(xiao)的(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)吸附系統(tong)，實現了(le)對(dui)晶圓(yuan)的(de)(de)(de)(de)高效(xiao)、精準切(qie)割(ge)(ge)。這一過(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)，晶圓(yuan)吸附切(qie)割(ge)(ge)水(shui)環(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)機(ji)(ji)(ji)(ji)組(zu)作(zuo)(zuo)為核心設備，發揮了(le)至關重(zhong)要(yao)的(de)(de)(de)(de)作(zuo)(zuo)用。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)(du)穩定：水(shui)環(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)機(ji)(ji)(ji)(ji)組(zu)提供穩定的(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)環(huan)境，確保(bao)晶圓(yuan)在(zai)(zai)切(qie)割(ge)(ge)過(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)能(neng)夠牢固地吸附在(zai)(zai)切(qie)割(ge)(ge)平臺(tai)上，避免因振動或(huo)外力(li)干擾導致的(de)(de)(de)(de)切(qie)割(ge)(ge)偏差或(huo)損壞。水(shui)環(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)機(ji)(ji)(ji)(ji)組(zu)還(huan)具備良好的(de)(de)(de)(de)密封性(xing)(xing)和(he)耐腐(fu)蝕性(xing)(xing)，能(neng)夠有效(xiao)防止塵(chen)埃、雜(za)質等(deng)污染(ran)物進(jin)入切(qie)割(ge)(ge)區域，保(bao)證晶圓(yuan)切(qie)割(ge)(ge)的(de)(de)(de)(de)潔凈度(du)(du)和(he)精度(du)(du)。其結構簡單、運(yun)行穩定，維護成本低(di)廉(lian)水(shui)作(zuo)(zuo)為工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)介質，環(huan)保(bao)無污染(ran)水(shui)環(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)機(ji)(ji)(ji)(ji)組(zu)具有較寬的(de)(de)(de)(de)抽氣范圍和(he)較強的(de)(de)(de)(de)抽氣能(neng)力(li)，能(neng)夠滿足(zu)不同規格、不同材質的(de)(de)(de)(de)晶圓(yuan)切(qie)割(ge)(ge)需(xu)求。在(zai)(zai)實際(ji)應(ying)用中(zhong)(zhong)，晶圓(yuan)吸附切(qie)割(ge)(ge)水(shui)環(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)機(ji)(ji)(ji)(ji)組(zu)已廣泛應(ying)用于集成電路、微電子、光(guang)電子等(deng)領域的(de)(de)(de)(de)晶圓(yuan)切(qie)割(ge)(ge)工(gong)(gong)藝中(zhong)(zhong)。例如，在(zai)(zai)先(xian)進(jin)制程(cheng)的(de)(de)(de)(de)CPU、GPU等(deng)高性(xing)(xing)能(neng)芯(xin)片(pian)的(de)(de)(de)(de)制造過(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)，晶圓(yuan)吸附切(qie)割(ge)(ge)水(shui)環(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)機(ji)(ji)(ji)(ji)組(zu)以(yi)其卓(zhuo)越的(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)性(xing)(xing)能(neng)和(he)穩定性(xing)(xing)，確保(bao)了(le)芯(xin)片(pian)切(qie)割(ge)(ge)的(de)(de)(de)(de)精度(du)(du)和(he)成品(pin)率(lv)，為產品(pin)的(de)(de)(de)(de)高性(xing)(xing)能(neng)和(he)低(di)成本生產提供了(le)有力(li)保(bao)障。
發(fa)布(bu)時(shi)間(jian)：
2024
-
09
-
05