與(yu)傳統(tong)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空設(she)備(bei)相比，水(shui)(shui)(shui)環(huan)(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)在(zai)(zai)晶(jing)(jing)圓(yuan)吸(xi)附(fu)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)技術，通(tong)過(guo)精確控制切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)工具(ju)與(yu)晶(jing)(jing)圓(yuan)表面的(de)(de)(de)(de)(de)接觸力(li)度(du)(du)與(yu)角(jiao)度(du)(du)，結(jie)(jie)合高效的(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空吸(xi)附(fu)系統(tong)，實現了(le)對晶(jing)(jing)圓(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)高效、精準切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)。這(zhe)一過(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)，晶(jing)(jing)圓(yuan)吸(xi)附(fu)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)水(shui)(shui)(shui)環(huan)(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)作(zuo)為(wei)核心(xin)設(she)備(bei)，發揮了(le)至關(guan)重要(yao)的(de)(de)(de)(de)(de)作(zuo)用。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空度(du)(du)穩(wen)定：水(shui)(shui)(shui)環(huan)(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)提(ti)(ti)供穩(wen)定的(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空環(huan)(huan)境，確保(bao)晶(jing)(jing)圓(yuan)在(zai)(zai)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)過(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)能(neng)(neng)夠(gou)(gou)(gou)牢(lao)固地吸(xi)附(fu)在(zai)(zai)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)平臺上(shang)，避(bi)免因(yin)振動或外(wai)力(li)干擾(rao)導致(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)偏差或損(sun)壞。水(shui)(shui)(shui)環(huan)(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)還具(ju)備(bei)良好的(de)(de)(de)(de)(de)密封性和耐腐(fu)蝕性，能(neng)(neng)夠(gou)(gou)(gou)有效防止塵埃、雜(za)質等污(wu)染(ran)物進入切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)區(qu)域，保(bao)證晶(jing)(jing)圓(yuan)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)的(de)(de)(de)(de)(de)潔凈度(du)(du)和精度(du)(du)。其(qi)結(jie)(jie)構(gou)簡單、運(yun)行(xing)穩(wen)定，維護(hu)成本低(di)(di)廉(lian)水(shui)(shui)(shui)作(zuo)為(wei)工作(zuo)介質，環(huan)(huan)保(bao)無污(wu)染(ran)水(shui)(shui)(shui)環(huan)(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)具(ju)有較(jiao)寬的(de)(de)(de)(de)(de)抽氣范圍和較(jiao)強的(de)(de)(de)(de)(de)抽氣能(neng)(neng)力(li)，能(neng)(neng)夠(gou)(gou)(gou)滿足不同規格、不同材質的(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)需求(qiu)。在(zai)(zai)實際應用中(zhong)(zhong)，晶(jing)(jing)圓(yuan)吸(xi)附(fu)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)水(shui)(shui)(shui)環(huan)(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)已廣泛應用于集成電路、微電子、光電子等領域的(de)(de)(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)工藝中(zhong)(zhong)。例如，在(zai)(zai)先進制程(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)CPU、GPU等高性能(neng)(neng)芯(xin)片(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)制造(zao)過(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)，晶(jing)(jing)圓(yuan)吸(xi)附(fu)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)水(shui)(shui)(shui)環(huan)(huan)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空機(ji)組(zu)(zu)以其(qi)卓越的(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空性能(neng)(neng)和穩(wen)定性，確保(bao)了(le)芯(xin)片(pian)切(qie)(qie)(qie)(qie)割(ge)(ge)(ge)的(de)(de)(de)(de)(de)精度(du)(du)和成品(pin)率，為(wei)產(chan)品(pin)的(de)(de)(de)(de)(de)高性能(neng)(neng)和低(di)(di)成本生產(chan)提(ti)(ti)供了(le)有力(li)保(bao)障。
發布時間：
2024
-
09
-
05