光(guang)電(dian)真空系(xi)(xi)統(tong)-阿(a)特拉斯·科普柯Atlas Copco品(pin)牌(pai)螺(luo)桿真空機(ji)組:真空領域和減排系(xi)(xi)統(tong)
阿特拉斯·科普柯(ke)Atlas Copco品牌螺桿(gan)真空機組(zu)應用領(ling)域:
分析儀(yi)器、化工、食品加工、發電解(jie)決方案(an)、半導體、平板(ban)顯示(shi)、可再生能源(太陽能、LED照明、儲能等(deng))、石材(cai)、印刷包裝、家具(ju)木材(cai)等(deng)行(xing)業。
半導體真空泵應用:
晶(jing)圓制造過程(cheng)中的單晶(jing)拉晶(jing)、LoadLock、刻蝕(shi)、CVD、ALD、封裝、測試等(deng)清(qing)潔或嚴苛制程(cheng)。
真空泵于半導體設備意義重大:
若半導體器件不同材(cai)料(liao)層之間混入氣體分子(zi),會破壞器件的電學或光學性(xing)能,而真空系統可(ke)對芯(xin)片(pian)的性(xing)能和良率起(qi)決定(ding)性(xing)作(zuo)用。
阿特(te)拉斯·科普柯(ke)Atlas Copco品牌(pai)螺桿真(zhen)空機擁有VSD和設定點控制(zhi)功能,而常規的(de)真(zhen)空泵是不具(ju)備這樣的(de)功能的(de),可根據實際所(suo)需真(zhen)空水平或速(su)度(du),提供需求(qiu)的(de)真(zhen)空氣(qi)量,避免造(zao)成浪費,Atlas螺桿真(zhen)空泵是真(zhen)空領域(yu)的(de)節能減排真(zhen)空系統,節能可達50%,深受(shou)用戶好評。