項目案例
Case
金牌項目
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Gold project
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2020
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真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)維護(hu)中有(you)很(hen)多注意事項(xiang)，非專業的(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)維護(hu)人(ren)(ren)員(yuan)容易發生一些常(chang)(chang)識性錯(cuo)(cuo)誤(wu)。接(jie)下(xia)來，我主要介(jie)紹(shao)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)維護(hu)中的(de)(de)(de)(de)常(chang)(chang)見(jian)錯(cuo)(cuo)誤(wu)。常(chang)(chang)見(jian)的(de)(de)(de)(de)錯(cuo)(cuo)誤(wu)是什(shen)么?我們(men)應該如(ru)何避免錯(cuo)(cuo)誤(wu)。希望通(tong)過以(yi)下(xia)內(nei)容，您可(ke)(ke)(ke)以(yi)加(jia)深對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)維護(hu)內(nei)容的(de)(de)(de)(de)理解(jie)。 維修真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)時(shi)常(chang)(chang)見(jian)錯(cuo)(cuo)誤(wu) 1、焊(han)管(guan)自(zi)沖(chong)(chong)洗(xi)(xi)管(guan) 真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)大部分沖(chong)(chong)洗(xi)(xi)管(guan)將(jiang)使(shi)用(yong)密(mi)封(feng)(feng)介(jie)質本身從泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)入口(kou)穿過沖(chong)(chong)洗(xi)(xi)管(guan)，以(yi)引入密(mi)封(feng)(feng)腔來沖(chong)(chong)洗(xi)(xi)密(mi)封(feng)(feng)端面(mian)。因為沖(chong)(chong)洗(xi)(xi)管(guan)兩端的(de)(de)(de)(de)接(jie)頭(tou)(tou)密(mi)封(feng)(feng)件(jian)和(he)(he)螺紋接(jie)頭(tou)(tou)容易泄(xie)漏，所(suo)以(yi)有(you)時(shi)清洗(xi)(xi)液(ye)也會(hui)侵蝕波紋管(guan)的(de)(de)(de)(de)密(mi)封(feng)(feng)件(jian)。修理真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)后(hou)，卸下(xia)沖(chong)(chong)洗(xi)(xi)管(guan)，并(bing)(bing)用(yong)電焊(han)方法焊(han)接(jie)兩端的(de)(de)(de)(de)接(jie)頭(tou)(tou)。如(ru)果沒有(you)沖(chong)(chong)洗(xi)(xi)管(guan)，沖(chong)(chong)洗(xi)(xi)液(ye)將(jiang)中斷摩擦(ca)(ca)副(fu)并(bing)(bing)增加(jia)溫度，這也將(jiang)縮短機械(xie)密(mi)封(feng)(feng)的(de)(de)(de)(de)使(shi)用(yong)壽(shou)命。 2、拆下(xia)波紋管(guan)密(mi)封(feng)(feng)水(shui)套(tao) 波紋管(guan)型機械(xie)密(mi)封(feng)(feng)件(jian)通(tong)常(chang)(chang)具有(you)導水(shui)套(tao)。冷(leng)卻水(shui)直接(jie)從密(mi)封(feng)(feng)套(tao)進入導水(shui)套(tao)的(de)(de)(de)(de)外部，然后(hou)在摩擦(ca)(ca)后(hou)從密(mi)封(feng)(feng)套(tao)流(liu)出。冷(leng)卻水(shui)不僅可(ke)(ke)(ke)以(yi)冷(leng)卻摩擦(ca)(ca)副(fu)，而且可(ke)(ke)(ke)以(yi)防止(zhi)密(mi)封(feng)(feng)腔中的(de)(de)(de)(de)液(ye)體泄(xie)漏。為了減少因暢通(tong)無阻的(de)(de)(de)(de)冷(leng)卻水(shui)通(tong)道而引起的(de)(de)(de)(de)麻煩，真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)維護(hu)人(ren)(ren)員(yuan)經常(chang)(chang)會(hui)因無故障操作而卸下(xia)導水(shui)套(tao)，這將(jiang)導致冷(leng)卻水(shui)不經密(mi)封(feng)(feng)墊流(liu)出密(mi)封(feng)(feng)墊偏轉 3、定時(shi)調(diao)節泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)軸(zhou)(zhou)承(cheng)托架螺栓(shuan) 維修真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)時(shi)，請將(jiang)轉子、軸(zhou)(zhou)承(cheng)托架和(he)(he)其他(ta)組件(jian)放入泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)殼中。泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)殼和(he)(he)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)蓋之間的(de)(de)(de)(de)墊圈可(ke)(ke)(ke)調(diao)節葉輪(lun)的(de)(de)(de)(de)軸(zhou)(zhou)向位置。將(jiang)蓋固(gu)定在一起，然后(hou)用(yong)螺栓(shuan)將(jiang)軸(zhou)(zhou)承(cheng)托架固(gu)定到泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)蓋上。最后(hou)，聯(lian)軸(zhou)(zhou)器已安裝并(bing)(bing)對(dui)準(zhun)。校正時(shi)應先調(diao)整電機，首先調(diao)整軸(zhou)(zhou)向間隙(xi)，然后(hou)再調(diao)整徑向間隙(xi)。一些維護(hu)人(ren)(ren)員(yuan)會(hui)調(diao)整泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)蓋和(he)(he)軸(zhou)(zhou)承(cheng)托架的(de)(de)(de)(de)緊固(gu)螺栓(shuan)的(de)(de)(de)(de)緊度，因為它們(men)在調(diao)節...
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一些市場用戶報告(gao)說，在(zai)他們(men)購(gou)買的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)成套(tao)設備的(de)(de)(de)故障中，“噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)不(bu)能投(tou)入(ru)(ru)(ru)(ru)運(yun)(yun)行(xing)(xing)”占最大(da)(da)比例(li)，導致真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)受限，影(ying)響冷凝器(qi)(qi)(qi)(qi)真(zhen)(zhen)空的(de)(de)(de)改(gai)善。這對(dui)單位經(jing)濟有很大(da)(da)影(ying)響。6號機組真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)在(zai)低(di)溫(wen)(wen)季節無法(fa)投(tou)入(ru)(ru)(ru)(ru)運(yun)(yun)行(xing)(xing)，真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)受到(dao)限制(zhi)，導致冷凝器(qi)(qi)(qi)(qi)真(zhen)(zhen)空差。現在(zai)真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)“噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)不(bu)能投(tou)入(ru)(ru)(ru)(ru)運(yun)(yun)行(xing)(xing)”的(de)(de)(de)故障消除(chu)了(le)(le)，整(zheng)套(tao)設備的(de)(de)(de)產量(liang)增(zeng)(zeng)加(jia)(jia)了(le)(le)，冷凝器(qi)(qi)(qi)(qi)真(zhen)(zhen)空在(zai)低(di)溫(wen)(wen)季節增(zeng)(zeng)加(jia)(jia)了(le)(le)0.8千帕。 一，分(fen)析(xi)噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)不(bu)能投(tou)入(ru)(ru)(ru)(ru)運(yun)(yun)行(xing)(xing)的(de)(de)(de)原(yuan)因(yin): 1、真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)旁通(tong)閥(fa)泄(xie)漏 2、機械(xie)磨損(sun)增(zeng)(zeng)加(jia)(jia) 3、機械(xie)磨損(sun)增(zeng)(zeng)加(jia)(jia) 4、維護不(bu)到(dao)位 5、維護不(bu)到(dao)位 6、維護標準不(bu)當 7、低(di)溫(wen)(wen)季節冷卻(que)水(shui)溫(wen)(wen)度(du)高(gao)(gao) 8、真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)氣源(yuan)(yuan)(yuan)含水(shui)量(liang)過(guo)高(gao)(gao) 9、真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)流量(liang)調整(zheng)不(bu)當 檢(jian)查發現，主要(yao)原(yuan)因(yin)是噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)旁通(tong)閥(fa)無內部(bu)泄(xie)漏，噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)表(biao)面溫(wen)(wen)度(du)穩定(ding)，不(bu)低(di)于0℃。檢(jian)查噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)旁通(tong)閥(fa)前后(hou)溫(wen)(wen)差達到(dao)8℃~15℃，表(biao)明閥(fa)門內部(bu)泄(xie)漏嚴(yan)重，直接影(ying)響真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)成套(tao)裝(zhuang)置的(de)(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)。噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)投(tou)入(ru)(ru)(ru)(ru)運(yun)(yun)行(xing)(xing)后(hou)，管(guan)壁溫(wen)(wen)度(du)從常溫(wen)(wen)急劇變(bian)化到(dao)-15℃。冷凝器(qi)(qi)(qi)(qi)真(zhen)(zhen)空波動很大(da)(da)。檢(jian)查真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)進水(shui)管(guan)是否(fou)含有大(da)(da)量(liang)水(shui)。 二(er)，解(jie)決辦法(fa): 1.真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)空氣源(yuan)(yuan)(yuan)被(bei)改(gai)變(bian)為(wei)相對(dui)低(di)濕度(du)的(de)(de)(de)大(da)(da)氣。真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)氣源(yuan)(yuan)(yuan)改(gai)為(wei)大(da)(da)氣，另外安裝(zhuang)了(le)(le)手動隔離閥(fa)和過(guo)濾(lv)網。 2.為(wei)了(le)(le)消除(chu)閥(fa)門的(de)(de)(de)內部(bu)泄(xie)漏，檢(jian)修改(gai)造后(hou)的(de)(de)(de)閥(fa)門，對(dui)復(fu)型(xing)止回閥(fa)進行(xing)(xing)了(le)(le)合理化改(gai)造，采用了(le)(le)可靠性(xing)高(gao)(gao)的(de)(de)(de)氣動橡膠襯里蝶(die)閥(fa)來消除(chu)內部(bu)泄(xie)漏。 實(shi)施后(hou)，對(dui)比結果(guo)表(biao)明，真(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)噴(pen)(pen)射(she)(she)器(qi)(qi)(qi)(qi)已...
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真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)是(shi)(shi)一種(zhong)(zhong)在(zai)(zai)(zai)封閉(bi)空(kong)(kong)(kong)間內(nei)改善、產生和(he)(he)維持真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)的(de)(de)(de)裝(zhuang)置，可廣(guang)泛應用于(yu)制藥、冶金、化(hua)工(gong)、食品、電(dian)(dian)子等(deng)行(xing)(xing)業(ye)。根據行(xing)(xing)業(ye)，除了(le)在(zai)(zai)(zai)制藥工(gong)業(ye)中(zhong)廣(guang)泛使用之外(wai)(wai)，市(shi)場上(shang)還(huan)有(you)各種(zhong)(zhong)類型的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，包括(kuo)干式螺旋(xuan)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、水環泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、滑閥泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、旋(xuan)轉(zhuan)葉(xie)片(pian)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、往復(fu)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)和(he)(he)擴散泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。用戶可以根據不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)工(gong)作壓力范圍和(he)(he)不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)工(gong)作要求使用不(bu)同(tong)類型的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。 事實上(shang)，近(jin)年(nian)來，隨(sui)著我國(guo)醫(yi)藥、食品、電(dian)(dian)子等(deng)行(xing)(xing)業(ye)的(de)(de)(de)快速(su)發(fa)展(zhan)，相(xiang)關(guan)(guan)裝(zhuang)備制造業(ye)一直保(bao)持著快速(su)增長(chang)的(de)(de)(de)勢(shi)頭。其中(zhong)，中(zhong)國(guo)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)行(xing)(xing)業(ye)實現(xian)了(le)持續、穩(wen)定(ding)、快速(su)的(de)(de)(de)發(fa)展(zhan)。然而(er)，在(zai)(zai)(zai)增長(chang)的(de)(de)(de)同(tong)時，真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)產量大(da)、產值低的(de)(de)(de)問(wen)題(ti)也逐(zhu)漸顯現(xian)出來。與國(guo)外(wai)(wai)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)相(xiang)比，尤(you)其是(shi)(shi)研發(fa)創新能(neng)力，與國(guo)外(wai)(wai)同(tong)行(xing)(xing)相(xiang)比還(huan)有(you)很大(da)差(cha)(cha)距。 例如，在(zai)(zai)(zai)技術(shu)(shu)上(shang)，以直聯旋(xuan)片(pian)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)為例，雖然目前國(guo)內(nei)直聯旋(xuan)片(pian)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)沒有(you)重大(da)技術(shu)(shu)問(wen)題(ti)，價格也遠低于(yu)進口產品，但在(zai)(zai)(zai)一些(xie)關(guan)(guan)鍵技術(shu)(shu)上(shang)還(huan)存(cun)在(zai)(zai)(zai)差(cha)(cha)距。為保(bao)證直聯泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)在(zai)(zai)(zai)高速(su)、高溫下的(de)(de)(de)穩(wen)定(ding)、可靠運行(xing)(xing)，進一步提高國(guo)產直聯旋(xuan)轉(zhuan)葉(xie)片(pian)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)除水汽能(neng)力，必須解決軸封漏油和(he)(he)旋(xuan)轉(zhuan)葉(xie)片(pian)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)材料及真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)油的(de)(de)(de)性能(neng)和(he)(he)質量問(wen)題(ti)。 另(ling)外(wai)(wai)，目前各大(da)醫(yi)院(yuan)的(de)(de)(de)負壓站主(zhu)要采用液環真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)和(he)(he)旋(xuan)葉(xie)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。然而(er)，在(zai)(zai)(zai)這種(zhong)(zhong)危險的(de)(de)(de)疫(yi)情下，患者的(de)(de)(de)痰液、唾液和(he)(he)呼氣(qi)中(zhong)有(you)大(da)量的(de)(de)(de)病毒。在(zai)(zai)(zai)通(tong)過真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統吸入管道(dao)到達真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)并排放到大(da)氣(qi)中(zhong)的(de)(de)(de)過程中(zhong)，存(cun)在(zai)(zai)(zai)二(er)次傳(chuan)輸(shu)的(de)(de)(de)巨大(da)風險。基于(yu)上(shang)述情況(kuang)，一家外(wai)(wai)資企業(ye)對武(wu)漢霍山(shan)醫(yi)院(yuan)的(de)(de)(de)MINK無油爪式真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)給(gei)予了(le)緊急支持。本(ben)發(fa)明不(bu)僅可以在(zai)(zai)(zai)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)入口處增加一個細菌過濾器，而(er)且由于(yu)...
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今天給大家介紹一(yi)(yi)個我(wo)(wo)們(men)做(zuo)過的(de)(de)食(shi)品(pin)(pin)(pin)廠的(de)(de)案例，像湖(hu)南做(zuo)這(zhe)塊(kuai)的(de)(de)食(shi)品(pin)(pin)(pin)公司(si)還是很多的(de)(de)，像小(xiao)魚干(gan)，鴨脖這(zhe)種很多。湖(hu)南某(mou)食(shi)品(pin)(pin)(pin)有限公司(si)主要(yao)(yao)做(zuo)休閑(xian)食(shi)品(pin)(pin)(pin)客戶(hu)原先用的(de)(de)是國(guo)產(chan)的(de)(de)油(you)旋(xuan)片(pian)(pian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵，我(wo)(wo)們(men)提供的(de)(de)設計3臺GHS730VSD+替(ti)代了(le)他原來(lai)(lai)的(de)(de)產(chan)品(pin)(pin)(pin)。 能(neng)耗對比(bi)：中(zhong)央(yang)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統相比(bi)原真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統，可節(jie)能(neng)30%--50%，此外，還可節(jie)省(sheng)原本(ben)需(xu)(xu)要(yao)(yao)用來(lai)(lai)降(jiang)低由油(you)旋(xuan)片(pian)(pian)工作帶來(lai)(lai)的(de)(de)溫升所(suo)需(xu)(xu)的(de)(de)空(kong)(kong)(kong)調電費(fei); 車間環境(jing)對比(bi)：原真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統油(you)旋(xuan)片(pian)(pian)都放置在(zai)包裝(zhuang)機旁(pang)，出(chu)氣口的(de)(de)油(you)霧會(hui)對車間環境(jing)，工人健(jian)康(kang)，食(shi)品(pin)(pin)(pin)安全(quan)帶來(lai)(lai)隱患; 維修保(bao)養(yang)(yang)：油(you)旋(xuan)片(pian)(pian)相比(bi)油(you)螺桿保(bao)養(yang)(yang)更加頻繁(fan)，同(tong)時由于沒有任何前(qian)處理，包裝(zhuang)食(shi)品(pin)(pin)(pin)中(zhong)的(de)(de)粉末以及(ji)水分會(hui)進入泵內，使(shi)得油(you)旋(xuan)片(pian)(pian)保(bao)養(yang)(yang)更加頻繁(fan)，增加客戶(hu)的(de)(de)維護保(bao)養(yang)(yang)費(fei)，人工費(fei); 使(shi)用壽命：食(shi)品(pin)(pin)(pin)包裝(zhuang)要(yao)(yao)求真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度都在(zai)20—50mbar之間，要(yao)(yao)求較(jiao)高(gao)，油(you)旋(xuan)片(pian)(pian)一(yi)(yi)般使(shi)用3--5年(nian)就需(xu)(xu)要(yao)(yao)進行(xing)更換，而油(you)螺桿使(shi)用壽命可達(da)20年(nian)，減(jian)少(shao)了(le)客戶(hu)重復(fu)采購成(cheng)本(ben)。 使(shi)用阿特拉(la)斯(si)的(de)(de)產(chan)品(pin)(pin)(pin)呢(ni)?極大地(di)減(jian)少(shao)了(le)客戶(hu)的(de)(de)設備(bei)維護量，在(zai)車間里面(mian)沒有廢氣的(de)(de)排放，減(jian)少(shao)車間污染，能(neng)夠(gou)節(jie)約(yue)50%的(de)(de)能(neng)耗。 因為是食(shi)品(pin)(pin)(pin)包裝(zhuang)機配套的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵所(suo)以客戶(hu)會(hui)不了(le)解這(zhe)需(xu)(xu)要(yao)(yao)我(wo)(wo)們(men)詳(xiang)細介紹一(yi)(yi)下。投入成(cheng)本(ben)也不會(hui)太高(gao)。要(yao)(yao)保(bao)證車間的(de)(de)正常生產(chan)要(yao)(yao)求。不能(neng)出(chu)現大面(mian)積停(ting)產(chan)現象。所(suo)以要(yao)(yao)做(zuo)備(bei)用方案。 我(wo)(wo)們(men)阿特拉(la)斯(si)的(de)(de)螺桿真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵產(chan)品(pin)(pin)(pin)最有效就是節(jie)能(neng)方面(mian)，改善車間環境(jing)，減(jian)少(shao)維護成(cheng)本(ben)。
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半導(dao)體(ti)(ti)(ti)(ti)工(gong)藝真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)主(zhu)要(yao)用(yong)(yong)于鍵合工(gong)藝，如(ru)(ru)蒸發、濺射、等離子體(ti)(ti)(ti)(ti)化(hua)學氣(qi)(qi)相沉積、真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)干法(fa)刻蝕、真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)吸附(fu)、測試設備、真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)清洗等。半導(dao)體(ti)(ti)(ti)(ti)生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)制造過(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)(zhong)容易產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)易燃(ran)、易爆(bao)、有(you)毒物(wu)質(zhi)(zhi)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)，對生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)人(ren)員安全構成(cheng)威脅。因此(ci)，半導(dao)體(ti)(ti)(ti)(ti)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)應(ying)用(yong)(yong)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)幾個安全注意(yi)事項如(ru)(ru)下: 1.定期(qi)清潔真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)其(qi)(qi)他附(fu)件、過(guo)(guo)(guo)(guo)濾器和(he)(he)(he)(he)(he)(he)管(guan)(guan)道，以避(bi)免(mian)過(guo)(guo)(guo)(guo)壓(ya)。 在(zai)(zai)(zai)半導(dao)體(ti)(ti)(ti)(ti)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)應(ying)用(yong)(yong)中(zhong)(zhong)(zhong)，當(dang)(dang)(dang)(dang)介質(zhi)(zhi)在(zai)(zai)(zai)介質(zhi)(zhi)提取過(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)(zhong)通過(guo)(guo)(guo)(guo)反應(ying)室和(he)(he)(he)(he)(he)(he)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)時(shi)(shi)(shi)，介質(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)組成(cheng)可能極其(qi)(qi)復雜。例(li)如(ru)(ru)，四氯(lv)(lv)化(hua)硅和(he)(he)(he)(he)(he)(he)氧氣(qi)(qi)在(zai)(zai)(zai)泵(beng)口形(xing)成(cheng)二氧化(hua)硅，而四氯(lv)(lv)化(hua)鈦水解形(xing)成(cheng)鹽酸。假(jia)設是(shi)油封機械泵(beng)，這(zhe)些(xie)(xie)(xie)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)物(wu)質(zhi)(zhi)也可能與泵(beng)油發生(sheng)(sheng)反應(ying)。這(zhe)些(xie)(xie)(xie)變(bian)化(hua)假(jia)定形(xing)成(cheng)顆粒、可冷(leng)凝物(wu)或腐(fu)蝕性(xing)介質(zhi)(zhi)，它們可能阻塞(sai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)或管(guan)(guan)道系統，影響真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)能，導(dao)致(zhi)壓(ya)力上(shang)升或過(guo)(guo)(guo)(guo)壓(ya)，并造成(cheng)更大的(de)(de)(de)(de)(de)風險。因此(ci)，有(you)必(bi)要(yao)及時(shi)(shi)(shi)清理(li)，必(bi)要(yao)時(shi)(shi)(shi)設置過(guo)(guo)(guo)(guo)濾設備。 2.有(you)效稀(xi)釋有(you)害氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)濃度 半導(dao)體(ti)(ti)(ti)(ti)容易產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)上(shang)述易燃(ran)、易爆(bao)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)有(you)毒的(de)(de)(de)(de)(de)有(you)害氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)。因此(ci)，在(zai)(zai)(zai)半導(dao)體(ti)(ti)(ti)(ti)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)應(ying)用(yong)(yong)中(zhong)(zhong)(zhong)，當(dang)(dang)(dang)(dang)提取這(zhe)些(xie)(xie)(xie)介質(zhi)(zhi)時(shi)(shi)(shi)，有(you)必(bi)要(yao)防止在(zai)(zai)(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)或排(pai)氣(qi)(qi)過(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)(zhong)(zhong)發生(sheng)(sheng)一(yi)些(xie)(xie)(xie)不可控的(de)(de)(de)(de)(de)反應(ying)。例(li)如(ru)(ru)，當(dang)(dang)(dang)(dang)與空(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)(qi)或氧氣(qi)(qi)接觸時(shi)(shi)(shi)，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和(he)(he)(he)(he)(he)(he)其(qi)(qi)他物(wu)質(zhi)(zhi)會引起燃(ran)燒甚至爆(bao)炸。當(dang)(dang)(dang)(dang)空(kong)(kong)(kong)(kong)氣(qi)(qi)中(zhong)(zhong)(zhong)氫的(de)(de)(de)(de)(de)混合比例(li)達到一(yi)定程(cheng)度和(he)(he)(he)(he)(he)(he)溫度時(shi)(shi)(shi)，也會發生(sheng)(sheng)燃(ran)燒。這(zhe)些(xie)(xie)(xie)都取決于物(wu)質(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)數(shu)量(liang)及其(qi)(qi)與環境壓(ya)力和(he)(he)(he)(he)(he)(he)溫度的(de)(de)(de)(de)(de)關系。因此(ci)，當(dang)(dang)(dang)(dang)半導(dao)體(ti)(ti)(ti)(ti)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)抽取這(zhe)些(xie)(xie)(xie)介質(zhi)(zhi)時(shi)(shi)(shi)，在(zai)(zai)(zai)壓(ya)縮之前(qian)，需要(yao)惰性(xing)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)如(ru)(ru)氮氣(qi)(qi)將這(zhe)些(xie)(xie)(xie)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)稀(xi)釋到當(dang)(dang)(dang)(dang)前(qian)條件下的(de)(de)(de)(de)(de)安全范(fan)圍。 3.注意(yi)氧氣(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)濃度 如(ru)(ru)...