2021
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干(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)主要在半導體(ti)行(xing)業(ye)、化(hua)學工業(ye)、薄膜產業(ye)得到應(ying)用(yong)與發展。國(guo)外(wai)的(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)市場(chang)正處于蒸(zheng)蒸(zheng)日上(shang)的(de)(de)(de)(de)階段(duan),如日本,半導體(ti)行(xing)業(ye)已全部用(yong)干(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)代(dai)替油(you)封式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)機械泵(beng)(beng)(beng),而(er)(er)歐美半導體(ti)行(xing)業(ye)45%以(yi)上(shang)用(yong)干(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)代(dai)替了(le)(le)油(you)封式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)機械泵(beng)(beng)(beng),大(da)大(da)提高了(le)(le)產品的(de)(de)(de)(de)性能和(he)質(zhi)量。 為了(le)(le)滿足不同應(ying)用(yong)領域和(he)不同工況的(de)(de)(de)(de)要求(qiu),國(guo)外(wai)有(you)螺(luo)(luo)桿式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)、多級羅茨(ci)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)、多級爪式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)、往復式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)活塞真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)、渦旋(xuan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)以(yi)及(ji)渦輪式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)無(wu)油(you)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)等(deng)。干(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)極限壓力(li)從(cong)(cong)10Pa~10-2Pa,抽速從(cong)(cong)20m3/h~500m3/h。 1、干(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)介紹及(ji)原(yuan)理 此為立式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)雙(shuang)螺(luo)(luo)桿干(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng),它的(de)(de)(de)(de)吸氣(qi)(qi)和(he)排氣(qi)(qi)原(yuan)理和(he)大(da)多數是(shi)一樣(yang)的(de)(de)(de)(de),是(shi)利用(yong)一對螺(luo)(luo)桿,在泵(beng)(beng)(beng)殼中作(zuo)(zuo)(zuo)同步高速反(fan)向旋(xuan)轉而(er)(er)產生的(de)(de)(de)(de)吸氣(qi)(qi)和(he)排氣(qi)(qi)作(zuo)(zuo)(zuo)用(yong)的(de)(de)(de)(de)抽氣(qi)(qi)設備(bei)。 干(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)工作(zuo)(zuo)(zuo)時(shi)(shi),相(xiang)互之(zhi)間無(wu)摩擦,運轉平穩,噪音低,工作(zuo)(zuo)(zuo)腔無(wu)需(xu)潤滑油(you),因(yin)此,干(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)螺(luo)(luo)桿泵(beng)(beng)(beng)能抽除含(han)(han)有(you)大(da)量水蒸(zheng)汽及(ji)少量粉塵。由于螺(luo)(luo)桿制成變螺(luo)(luo)距結構,與等(deng)螺(luo)(luo)距結構相(xiang)比,極限真(zhen)(zhen)(zhen)空更高,而(er)(er)消耗功率更低,具(ju)有(you)節能,免維(wei)修等(deng)優(you)點。它是(shi)油(you)封式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)更新換代(dai)產品。 備(bei)品備(bei)件是(shi)標準的(de)(de)(de)(de)O型圈(quan)。從(cong)(cong)上(shang)至(zhi)下的(de)(de)(de)(de)輸送方式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)能可靠地處理夾帶液體(ti)的(de)(de)(de)(de)濕(shi)氣(qi)(qi)及(ji)粉塵,并且無(wu)需(xu)過(guo)濾(lv)器。最優(you)化(hua)的(de)(de)(de)(de)螺(luo)(luo)桿外(wai)形設計(ji)使功率消耗降(jiang)到最低,簡單的(de)(de)(de)(de)設計(ji)可使泵(beng)(beng)(beng)腔在1小時(shi)(shi)內(nei)在現場(chang)全部解體(ti),易于清洗維(wei)護(hu)。 2、獨特的(de)(de)(de)(de)冷卻(que)方式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi) 很(hen)多泵(beng)(beng)(beng)轉子卡死的(de)(de)(de)(de)原(yuan)因(yin)是(shi)吸入(ru)含(han)(han)有(you)粉塵及(ji)結晶(jing)的(de)(de)(de)(de)物(wu)質(zhi)、高溫發生聚合(he)的(de)(de)(de)(de)物(wu)質(zhi)、熱敏性物(wu)質(zhi)的(de)(de)(de)(de)升華造成轉子間的(de)(de)(de)(de)間...