2021
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干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)主要在(zai)半(ban)(ban)導體行業、化(hua)學工(gong)業、薄膜產(chan)業得(de)到(dao)應用(yong)(yong)與(yu)發展(zhan)。國外(wai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)(beng)市場正處于(yu)蒸蒸日上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)階段，如日本，半(ban)(ban)導體行業已全(quan)部(bu)(bu)用(yong)(yong)干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)代(dai)替油(you)封(feng)式(shi)機械泵(beng)(beng)(beng)(beng)，而歐美半(ban)(ban)導體行業45%以上用(yong)(yong)干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)代(dai)替了油(you)封(feng)式(shi)機械泵(beng)(beng)(beng)(beng)，大(da)大(da)提(ti)高了產(chan)品(pin)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)性能和質(zhi)量。 為了滿足不(bu)同應用(yong)(yong)領域和不(bu)同工(gong)況的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)要求(qiu)，國外(wai)有螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、多級羅茨真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、多級爪式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、往復(fu)式(shi)活(huo)塞(sai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、渦旋(xuan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)以及(ji)渦輪式(shi)無油(you)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)等(deng)。干(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)(beng)極限壓(ya)力(li)從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。 1、干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)介紹及(ji)原理(li) 此為立式(shi)雙螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)，它(ta)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)吸氣和排(pai)氣原理(li)和大(da)多數是一(yi)樣的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)，是利(li)用(yong)(yong)一(yi)對(dui)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)，在(zai)泵(beng)(beng)(beng)(beng)殼(ke)中作(zuo)同步高速反向旋(xuan)轉(zhuan)而產(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)吸氣和排(pai)氣作(zuo)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)抽氣設備(bei)。 干(gan)(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)工(gong)作(zuo)時，相(xiang)互之間(jian)無摩(mo)擦，運轉(zhuan)平(ping)穩，噪音(yin)低(di)(di)(di)，工(gong)作(zuo)腔無需潤滑油(you)，因此，干(gan)(gan)式(shi)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)(beng)能抽除含有大(da)量水蒸汽(qi)及(ji)少量粉塵(chen)。由于(yu)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)制成(cheng)變螺(luo)(luo)距(ju)結構，與(yu)等(deng)螺(luo)(luo)距(ju)結構相(xiang)比，極限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)更高，而消耗功率(lv)更低(di)(di)(di)，具(ju)有節(jie)能，免維修等(deng)優點。它(ta)是油(you)封(feng)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)更新換代(dai)產(chan)品(pin)。 備(bei)品(pin)備(bei)件是標(biao)準(zhun)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)O型圈。從上至(zhi)下(xia)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)送(song)方(fang)式(shi)能可靠地處理(li)夾帶液體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)濕氣及(ji)粉塵(chen)，并且無需過濾器(qi)。最(zui)優化(hua)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)外(wai)形設計使(shi)功率(lv)消耗降(jiang)到(dao)最(zui)低(di)(di)(di)，簡(jian)單的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)設計可使(shi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)腔在(zai)1小時內(nei)在(zai)現場全(quan)部(bu)(bu)解體，易(yi)于(yu)清(qing)洗維護。 2、獨特(te)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)冷卻方(fang)式(shi) 很(hen)多泵(beng)(beng)(beng)(beng)轉(zhuan)子(zi)卡死(si)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)原因是吸入(ru)含有粉塵(chen)及(ji)結晶的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)物(wu)質(zhi)、高溫發生(sheng)聚合(he)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)物(wu)質(zhi)、熱敏性物(wu)質(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)升華造成(cheng)轉(zhuan)子(zi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)間(jian)...