2021
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干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)主(zhu)要(yao)(yao)在(zai)半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)行(xing)業(ye)(ye)、化學(xue)工業(ye)(ye)、薄膜產(chan)業(ye)(ye)得到應用(yong)與發展。國外的(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)市場正處于蒸(zheng)(zheng)蒸(zheng)(zheng)日上的(de)(de)(de)階段,如(ru)日本,半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)行(xing)業(ye)(ye)已全(quan)部(bu)(bu)用(yong)干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)代(dai)替(ti)油封(feng)式(shi)(shi)(shi)機械泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng),而(er)歐美半(ban)導(dao)(dao)(dao)體(ti)(ti)行(xing)業(ye)(ye)45%以上用(yong)干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)代(dai)替(ti)了(le)油封(feng)式(shi)(shi)(shi)機械泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng),大(da)大(da)提高了(le)產(chan)品(pin)的(de)(de)(de)性能(neng)(neng)和(he)質量。 為了(le)滿足不(bu)同應用(yong)領域和(he)不(bu)同工況的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求,國外有螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、多級羅茨真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、多級爪式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、往復式(shi)(shi)(shi)活(huo)塞真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、渦旋(xuan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)以及(ji)(ji)渦輪式(shi)(shi)(shi)無(wu)油真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)等。干(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)極(ji)限壓力從10Pa~10-2Pa,抽(chou)速從20m3/h~500m3/h。 1、干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)介紹及(ji)(ji)原(yuan)理(li) 此為立式(shi)(shi)(shi)雙(shuang)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng),它(ta)(ta)的(de)(de)(de)吸(xi)(xi)氣(qi)和(he)排氣(qi)原(yuan)理(li)和(he)大(da)多數(shu)是(shi)一樣的(de)(de)(de),是(shi)利用(yong)一對螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan),在(zai)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)殼中作同步高速反向旋(xuan)轉(zhuan)而(er)產(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)吸(xi)(xi)氣(qi)和(he)排氣(qi)作用(yong)的(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)設備(bei)。 干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)工作時,相(xiang)互(hu)之間無(wu)摩擦,運轉(zhuan)平穩(wen),噪音(yin)低,工作腔(qiang)(qiang)無(wu)需(xu)潤滑(hua)油,因(yin)此,干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)能(neng)(neng)抽(chou)除(chu)含有大(da)量水蒸(zheng)(zheng)汽(qi)及(ji)(ji)少(shao)量粉塵(chen)。由于螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)制成變螺(luo)(luo)距結構,與等螺(luo)(luo)距結構相(xiang)比,極(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)更(geng)高,而(er)消耗功率更(geng)低,具有節能(neng)(neng),免維(wei)修(xiu)等優點。它(ta)(ta)是(shi)油封(feng)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)更(geng)新換(huan)代(dai)產(chan)品(pin)。 備(bei)品(pin)備(bei)件是(shi)標(biao)準的(de)(de)(de)O型圈。從上至下的(de)(de)(de)輸送(song)方(fang)式(shi)(shi)(shi)能(neng)(neng)可靠地(di)處理(li)夾(jia)帶液(ye)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)濕氣(qi)及(ji)(ji)粉塵(chen),并且無(wu)需(xu)過濾器。最優化的(de)(de)(de)螺(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)外形設計(ji)使(shi)功率消耗降到最低,簡(jian)單的(de)(de)(de)設計(ji)可使(shi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)腔(qiang)(qiang)在(zai)1小時內在(zai)現場全(quan)部(bu)(bu)解體(ti)(ti),易(yi)于清洗維(wei)護。 2、獨特的(de)(de)(de)冷卻方(fang)式(shi)(shi)(shi) 很多泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)轉(zhuan)子卡死的(de)(de)(de)原(yuan)因(yin)是(shi)吸(xi)(xi)入(ru)含有粉塵(chen)及(ji)(ji)結晶的(de)(de)(de)物質、高溫發生(sheng)聚合的(de)(de)(de)物質、熱敏性物質的(de)(de)(de)升華(hua)造(zao)成轉(zhuan)子間的(de)(de)(de)間...