2021
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干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)主要(yao)在(zai)(zai)半導體行業、化學工業、薄(bo)膜(mo)產(chan)業得到應用(yong)與發(fa)展。國外(wai)(wai)的(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)(beng)市場(chang)正(zheng)處(chu)(chu)于(yu)(yu)蒸蒸日(ri)上的(de)(de)(de)(de)階段(duan)，如日(ri)本，半導體行業已全部(bu)用(yong)干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)代替油封式(shi)(shi)機械泵(beng)(beng)(beng)(beng)，而(er)歐美半導體行業45%以上用(yong)干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)代替了(le)油封式(shi)(shi)機械泵(beng)(beng)(beng)(beng)，大(da)大(da)提高了(le)產(chan)品的(de)(de)(de)(de)性(xing)能(neng)和(he)質量。 為(wei)了(le)滿足不(bu)同應用(yong)領域和(he)不(bu)同工況的(de)(de)(de)(de)要(yao)求，國外(wai)(wai)有螺桿式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、多級(ji)(ji)羅茨真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、多級(ji)(ji)爪式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、往復式(shi)(shi)活塞真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)、渦旋(xuan)(xuan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)以及(ji)(ji)渦輪(lun)式(shi)(shi)無(wu)(wu)油真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)等。干(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng)(beng)(beng)極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽(chou)速(su)從20m3/h～500m3/h。 1、干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)介紹及(ji)(ji)原(yuan)理(li) 此(ci)為(wei)立式(shi)(shi)雙螺桿干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)，它的(de)(de)(de)(de)吸氣(qi)(qi)和(he)排(pai)氣(qi)(qi)原(yuan)理(li)和(he)大(da)多數是一樣的(de)(de)(de)(de)，是利用(yong)一對螺桿，在(zai)(zai)泵(beng)(beng)(beng)(beng)殼中作同步高速(su)反(fan)向旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)而(er)產(chan)生的(de)(de)(de)(de)吸氣(qi)(qi)和(he)排(pai)氣(qi)(qi)作用(yong)的(de)(de)(de)(de)抽(chou)氣(qi)(qi)設備。 干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)工作時，相互(hu)之(zhi)間無(wu)(wu)摩擦，運轉(zhuan)平穩，噪音低(di)，工作腔無(wu)(wu)需潤滑油，因此(ci)，干(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)螺桿泵(beng)(beng)(beng)(beng)能(neng)抽(chou)除含有大(da)量水蒸汽及(ji)(ji)少量粉(fen)塵(chen)(chen)。由于(yu)(yu)螺桿制成變螺距結(jie)構，與等螺距結(jie)構相比，極限真(zhen)空(kong)(kong)更高，而(er)消(xiao)耗功率(lv)更低(di)，具有節能(neng)，免維(wei)修等優(you)點。它是油封式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)更新換代產(chan)品。 備品備件是標準的(de)(de)(de)(de)O型圈(quan)。從上至下的(de)(de)(de)(de)輸送方式(shi)(shi)能(neng)可靠地處(chu)(chu)理(li)夾帶(dai)液體的(de)(de)(de)(de)濕氣(qi)(qi)及(ji)(ji)粉(fen)塵(chen)(chen)，并且無(wu)(wu)需過濾器。最優(you)化的(de)(de)(de)(de)螺桿外(wai)(wai)形設計(ji)使(shi)功率(lv)消(xiao)耗降到最低(di)，簡單的(de)(de)(de)(de)設計(ji)可使(shi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)腔在(zai)(zai)1小時內(nei)在(zai)(zai)現場(chang)全部(bu)解體，易于(yu)(yu)清洗維(wei)護(hu)。 2、獨(du)特的(de)(de)(de)(de)冷(leng)卻方式(shi)(shi) 很多泵(beng)(beng)(beng)(beng)轉(zhuan)子卡死的(de)(de)(de)(de)原(yuan)因是吸入含有粉(fen)塵(chen)(chen)及(ji)(ji)結(jie)晶的(de)(de)(de)(de)物(wu)質、高溫(wen)發(fa)生聚合(he)的(de)(de)(de)(de)物(wu)質、熱(re)敏性(xing)物(wu)質的(de)(de)(de)(de)升華造成轉(zhuan)子間的(de)(de)(de)(de)間...