2021
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干(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)主要在半導體(ti)行業(ye)、化學工(gong)業(ye)、薄膜產(chan)業(ye)得到應(ying)用(yong)與發(fa)展。國外(wai)(wai)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)泵(beng)(beng)市場正處于(yu)蒸蒸日上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)階段，如(ru)日本，半導體(ti)行業(ye)已全部用(yong)干(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)代替油封(feng)(feng)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)機械泵(beng)(beng)，而(er)歐(ou)美半導體(ti)行業(ye)45%以上用(yong)干(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)代替了油封(feng)(feng)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)機械泵(beng)(beng)，大(da)大(da)提高(gao)(gao)了產(chan)品的(de)(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)能和質(zhi)量(liang)。 為了滿足不同(tong)應(ying)用(yong)領域(yu)和不同(tong)工(gong)況(kuang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)要求，國外(wai)(wai)有(you)(you)(you)螺(luo)(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)、多(duo)級(ji)羅茨真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)、多(duo)級(ji)爪式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)、往(wang)復式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)活(huo)塞真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)、渦旋(xuan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)以及(ji)渦輪式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)無(wu)油真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)等。干(gan)泵(beng)(beng)極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。 1、干(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)介(jie)紹及(ji)原(yuan)理 此為立(li)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)雙螺(luo)(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)(gan)干(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)，它(ta)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)吸氣(qi)(qi)(qi)和排氣(qi)(qi)(qi)原(yuan)理和大(da)多(duo)數是(shi)(shi)(shi)一樣的(de)(de)(de)(de)(de)(de)，是(shi)(shi)(shi)利用(yong)一對(dui)螺(luo)(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)(gan)，在泵(beng)(beng)殼(ke)中作同(tong)步高(gao)(gao)速反向旋(xuan)轉(zhuan)而(er)產(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)吸氣(qi)(qi)(qi)和排氣(qi)(qi)(qi)作用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)抽氣(qi)(qi)(qi)設備(bei)。 干(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)工(gong)作時，相互(hu)之間無(wu)摩擦，運轉(zhuan)平穩(wen)，噪音低(di)，工(gong)作腔無(wu)需潤(run)滑(hua)油，因此，干(gan)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)螺(luo)(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng)能抽除含有(you)(you)(you)大(da)量(liang)水蒸汽及(ji)少量(liang)粉塵。由于(yu)螺(luo)(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)(gan)制成變螺(luo)(luo)(luo)(luo)距(ju)結(jie)(jie)構(gou)，與等螺(luo)(luo)(luo)(luo)距(ju)結(jie)(jie)構(gou)相比，極限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)更(geng)高(gao)(gao)，而(er)消(xiao)(xiao)耗功率(lv)更(geng)低(di)，具有(you)(you)(you)節(jie)能，免維修等優點。它(ta)是(shi)(shi)(shi)油封(feng)(feng)式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)更(geng)新換代產(chan)品。 備(bei)品備(bei)件是(shi)(shi)(shi)標準(zhun)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)O型圈。從上至下的(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸送方式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)能可(ke)靠地處理夾帶液體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)濕氣(qi)(qi)(qi)及(ji)粉塵，并(bing)且無(wu)需過濾器。最優化的(de)(de)(de)(de)(de)(de)螺(luo)(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)(gan)(gan)外(wai)(wai)形設計使功率(lv)消(xiao)(xiao)耗降到最低(di)，簡單的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設計可(ke)使泵(beng)(beng)腔在1小時內在現場全部解體(ti)，易于(yu)清洗維護。 2、獨特的(de)(de)(de)(de)(de)(de)冷卻(que)方式(shi)(shi)(shi)(shi)(shi) 很(hen)多(duo)泵(beng)(beng)轉(zhuan)子卡(ka)死的(de)(de)(de)(de)(de)(de)原(yuan)因是(shi)(shi)(shi)吸入含有(you)(you)(you)粉塵及(ji)結(jie)(jie)晶的(de)(de)(de)(de)(de)(de)物質(zhi)、高(gao)(gao)溫發(fa)生(sheng)聚合的(de)(de)(de)(de)(de)(de)物質(zhi)、熱(re)敏性(xing)物質(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)升華造成轉(zhuan)子間的(de)(de)(de)(de)(de)(de)間...