2019
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干(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)作為核(he)心裝備廣泛應用于半導(dao)體產業(ye)、太陽能電池制造、化(hua)工(gong)、制藥等(deng)重(zhong)要行業(ye), 其研發和生產越來越受到重(zhong)視。干(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)有多種結構形(xing)式(shi),其中主要有多級(ji)(ji)羅(luo)(luo)茨(ci)式(shi)、多級(ji)(ji)爪式(shi)、組合式(shi)(羅(luo)(luo)茨(ci)+爪型(xing)(xing))和螺桿式(shi)等(deng),抽(chou)(chou)氣(qi)過(guo)程中氣(qi)體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)溫度(du)和壓力(li)存在(zai)復(fu)雜的(de)(de)(de)(de)(de)(de)變化(hua)。目前, 除(chu)(chu)制造裝配要求精度(du)高、加工(gong)難度(du)大等(deng)制約(yue)因素(su)外,設計(ji)(ji)理(li)(li)(li)論也亟待(dai)提高,如轉子熱變形(xing)及對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)間(jian)隙的(de)(de)(de)(de)(de)(de)影響、空(kong)(kong)氣(qi)動(dong)(dong)力(li)性(xing)噪(zao)聲的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產生與控制、顆粒(li)物的(de)(de)(de)(de)(de)(de)抽(chou)(chou)除(chu)(chu)及在(zai)腔(qiang)內的(de)(de)(de)(de)(de)(de)運動(dong)(dong)等(deng)問題都(dou)值(zhi)得深入(ru)分(fen)(fen)析, 因此,對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)泵(beng)(beng)腔(qiang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)場進行研究(jiu)具(ju)有重(zhong)要意義。 近年來,計(ji)(ji)算(suan)流(liu)(liu)體力(li)學(xue)(CFD ,Computational FluidDynamics)發展迅速并被應用于流(liu)(liu)體機(ji)械(xie)內部流(liu)(liu)場的(de)(de)(de)(de)(de)(de)研究(jiu)。在(zai)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)技術(shu)領域也不斷(duan)有 CFD 的(de)(de)(de)(de)(de)(de)應用成果(guo)被報道, Boulon 和 Cheng 等(deng)研究(jiu)了(le)(le)(le)復(fu)合分(fen)(fen)子泵(beng)(beng)Holweck 排氣(qi)級(ji)(ji)和渦輪增壓泵(beng)(beng)內的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)動(dong)(dong)模擬問題;Wang 等(deng)對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)不同運轉條件下蒸汽噴射泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)能進行了(le)(le)(le)數值(zhi)計(ji)(ji)算(suan)。本文(wen)以(yi)多級(ji)(ji)干(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)羅(luo)(luo)茨(ci)型(xing)(xing)吸氣(qi)級(ji)(ji)泵(beng)(beng)腔(qiang)為研究(jiu)對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)象(xiang)(xiang), 基于CFD 通用軟件AN-SYS -CFX 并采(cai)用動(dong)(dong)網格(ge)方(fang)(fang)法對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)泵(beng)(beng)內的(de)(de)(de)(de)(de)(de)瞬(shun)態(tai)流(liu)(liu)動(dong)(dong)進行了(le)(le)(le)數值(zhi)計(ji)(ji)算(suan), 討論了(le)(le)(le)CFD 方(fang)(fang)法的(de)(de)(de)(de)(de)(de)適用性(xing), 分(fen)(fen)析了(le)(le)(le)氣(qi)體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)流(liu)(liu)動(dong)(dong)現象(xiang)(xiang)和流(liu)(liu)場分(fen)(fen)布, 為進一(yi)步研究(jiu)干(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)內的(de)(de)(de)(de)(de)(de)物理(li)(li)(li)過(guo)程和理(li)(li)(li)論問題進行了(le)(le)(le)有益(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)嘗試. 通過(guo)學(xue)者(zhe)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)研究(jiu)得出以(yi)下結論 (1)應用動(dong)(dong)網格(ge)方(fang)(fang)法建(jian)立了(le)(le)(le)干(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)羅(luo)(luo)茨(ci)吸氣(qi)級(ji)(ji)內流(liu)(liu)動(dong)(dong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)瞬(shun)態(tai)模擬模型(xing)(xing), 針對(dui)(dui)(dui)(dui)(dui)泵(beng)(beng)腔(qiang)間(jian)隙接...