真空泵(beng)于半導(dao)體設備意義重(zhong)大:
若半導體器(qi)件(jian)不同材料(liao)層(ceng)之間混入氣(qi)體分(fen)子,會(hui)破壞(huai)器(qi)件(jian)的電(dian)學或(huo)光(guang)學性能,而真空系(xi)統可對(dui)芯(xin)片的性能和良率起決定性作用。
(半(ban)導體真空系(xi)統改造前現場1)
半導體真空泵應用:
晶(jing)圓制造(zao)過程中的單晶(jing)拉晶(jing)、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。
(半導體真空系統改(gai)造前現場(chang)2)
Atlas螺桿真空(kong)機組應(ying)用領域:
分析(xi)儀器、化工、食(shi)品加工、發電解(jie)決方案、半導體、平板顯示、可再生能源(太陽能、LED照(zhao)明、儲能等)、石材、印刷包(bao)裝、家具木(mu)材等行業(ye)。
(半導(dao)體真空(kong)系(xi)統改造后,螺桿真空(kong)機組應用現場1)
經過深圳恒(heng)才(cai)機電的真(zhen)空方(fang)案改(gai)造后,半導體真(zhen)空泵應用(yong)方(fang)案節能可(ke)達50%:
1、一臺Atlas螺桿真空機組(zu)可(ke)替換多臺泵組(zu),為可(ke)客戶減少能耗、集中抽真空方便管理;
2、Atlas螺桿(gan)真空(kong)泵擁(yong)有VSD和設(she)定點(dian)控制功(gong)能,而常規(gui)的真空(kong)泵是不具備這樣的功(gong)能的,可根據實際所(suo)需真空(kong)水平或速度,提供需求的真空(kong)氣量,避(bi)免造(zao)成(cheng)浪費;
3、Atlas螺桿(gan)真空(kong)泵是真空(kong)領域的節能減排(pai)真空(kong)系統,節能可達50%,深受用(yong)戶好評(ping)。
(半導(dao)體(ti)真空系統改造后,螺桿真空機(ji)組應用現場2)
深圳恒才機電設備有限公(gong)司(si)的(de)真(zhen)空(kong)泵(beng)、真(zhen)空(kong)系統(tong)在電子、半導(dao)體工業(ye)、制(zhi)藥(yao)工業(ye)、印(yin)刷行業(ye)、鍍(du)膜、橡(xiang)塑成(cheng)型、PET片材擠(ji)出、顆粒擠(ji)出、醫療器械(xie)等(deng)工業(ye)領域應用,恒才真(zhen)空(kong)泵(beng)廠家始終(zhong)以(yi)穩(wen)定的(de)真(zhen)空(kong)系統(tong)為客戶提供安全(quan)可靠(kao)的(de)真(zhen)空(kong)解決方案、定制(zhi)化中央集成(cheng)真(zhen)空(kong)系統(tong)。