當確定真空系(xi)統(tong)的(de)(de)(de)配置時，設備能夠(gou)達到的(de)(de)(de)極(ji)限壓力取決于(yu)從系(xi)統(tong)外部到系(xi)統(tong)內(nei)部的(de)(de)(de)總(zong)泄漏(lou)率Qo和由虛擬泄漏(lou)形成的(de)(de)(de)總(zong)“泄漏(lou)”率∑Q1以及(ji)泵送系(xi)統(tong)的(de)(de)(de)有效泵送速度(du)的(de)(de)(de)總(zong)和。
真空技(ji)術中的(de)泄(xie)漏(lou)(lou)孔指的(de)是小孔、缺陷或(huo)間隙(xi)，以及可滲透(tou)元(yuan)件(jian)或(huo)氣(qi)(qi)體泄(xie)漏(lou)(lou)裝(zhuang)置，當密(mi)閉容(rong)器內外的(de)氣(qi)(qi)體壓力或(huo)濃度不(bu)同時，這些(xie)元(yuan)件(jian)或(huo)氣(qi)(qi)體泄(xie)漏(lou)(lou)裝(zhuang)置允許氣(qi)(qi)體從容(rong)器壁(bi)的(de)一(yi)(yi)側(ce)泄(xie)漏(lou)(lou)到另一(yi)(yi)側(ce)。由于泄(xie)漏(lou)(lou)孔尺寸小、形狀復雜，不(bu)能用幾何尺寸來表(biao)示，因此(ci)其尺寸一(yi)(yi)般用等效電(dian)導或(huo)泄(xie)漏(lou)(lou)率(稱為“泄(xie)漏(lou)(lou)率”)來表(biao)示，單位(wei)為pa·l/s。
![真空系統的焊接注意問題有哪些]( "真空系統的焊接注意問題有哪些")
焊縫是真空制造過程(cheng)中最容易出(chu)現(xian)漏孔的區域(yu)之一。
常見的焊(han)(han)(han)(han)(han)縫(feng)外觀缺(que)陷(xian)和(he)其(qi)他缺(que)陷(xian)，如未熔(rong)合、未焊(han)(han)(han)(han)(han)透、夾渣、氣孔、裂紋和(he)內應(ying)力等，是超(chao)高真(zhen)空(kong)系統中(zhong)漏孔或虛(xu)漏源的隱(yin)患(huan)。為了最大(da)限(xian)度地(di)減少焊(han)(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)缺(que)陷(xian)并便于檢(jian)查，超(chao)高真(zhen)空(kong)要求焊(han)(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)零(ling)件(jian)盡可(ke)能(neng)將焊(han)(han)(han)(han)(han)縫(feng)放置在(zai)真(zhen)空(kong)側(ce)，大(da)氣側(ce)焊(han)(han)(han)(han)(han)縫(feng)僅用(yong)作斷續強化焊(han)(han)(han)(han)(han)縫(feng)，而(er)最大(da)數量的焊(han)(han)(han)(han)(han)縫(feng)可(ke)在(zai)制(zhi)造階段單獨測試，并在(zai)最終組(zu)裝前進行校正。由于一(yi)些(xie)零(ling)件(jian)的橫截面(mian)尺寸較小(xiao)，內壁的焊(han)(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)受(shou)到(dao)限(xian)制(zhi)，一(yi)些(xie)零(ling)件(jian)只能(neng)使用(yong)大(da)氣側(ce)焊(han)(han)(han)(han)(han)縫(feng)。焊(han)(han)(han)(han)(han)縫(feng)應(ying)一(yi)次焊(han)(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)，以避免兩次焊(han)(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)造成的有害空(kong)間。因此，有必要保證單面(mian)焊(han)(han)(han)(han)(han)和(he)雙面(mian)成形的良(liang)好效果。
此外，應(ying)該指出(chu)的(de)是，由于壓力(li)差、振動、熱(re)循(xun)環和其他(ta)原因在(zai)接(jie)頭中(zhong)產(chan)生的(de)應(ying)力(li)和應(ying)變可能(neng)導致包含缺陷的(de)焊縫中(zhong)出(chu)現裂紋(wen)，從而(er)對(dui)焊縫造(zao)成損壞，或者(zhe)焊縫在(zai)使用過程中(zhong)可能(neng)被(bei)腐蝕，這(zhe)可能(neng)形成泄漏點。
因此，所(suo)采(cai)用的(de)焊(han)接(jie)方法必須能夠使焊(han)縫的(de)泄漏率(lv)滿足這(zhe)些(xie)條件下的(de)技術(shu)要(yao)求(qiu)。
目前，不(bu)銹鋼廣泛(fan)用于超(chao)高(gao)(gao)真(zhen)空容器(qi)。應(ying)該(gai)說不(bu)銹鋼的(de)可焊(han)性和(he)可焊(han)性都很好。為什(shen)么要(yao)(yao)(yao)(yao)提(ti)出超(chao)高(gao)(gao)真(zhen)空容器(qi)對(dui)焊(han)縫的(de)要(yao)(yao)(yao)(yao)求?原(yuan)因是超(chao)高(gao)(gao)真(zhen)空容器(qi)要(yao)(yao)(yao)(yao)求很低(di)的(de)泄(xie)漏(lou)率(lv)(lv)，這也對(dui)焊(han)縫的(de)密(mi)封性能(neng)(neng)提(ti)出了嚴(yan)格的(de)要(yao)(yao)(yao)(yao)求。微(wei)小泄(xie)漏(lou)難以檢(jian)測、修復(fu)和(he)消除。實踐(jian)證明，非(fei)超(chao)高(gao)(gao)真(zhen)空容器(qi)常用的(de)壓力檢(jian)漏(lou)方法不(bu)能(neng)(neng)滿足超(chao)高(gao)(gao)真(zhen)空容器(qi)的(de)漏(lou)率(lv)(lv)要(yao)(yao)(yao)(yao)求，即在壓力檢(jian)測找不(bu)到漏(lou)點的(de)情況下，氦(hai)質(zhi)譜(pu)(pu)檢(jian)漏(lou)仍可能(neng)(neng)發現漏(lou)孔，不(bu)能(neng)(neng)滿足漏(lou)率(lv)(lv)要(yao)(yao)(yao)(yao)求。因此(ci)，對(dui)于超(chao)高(gao)(gao)真(zhen)空容器(qi)，必須使用高(gao)(gao)靈敏度氦(hai)質(zhi)譜(pu)(pu)進行泄(xie)漏(lou)檢(jian)測。
為了保證焊縫滿足超(chao)高真空(kong)容(rong)器(qi)泄漏率的要求，不銹鋼(gang)焊接過程中應注意兩個(ge)主要問題:
一是(shi)防止產(chan)生熱(re)裂(lie)紋(wen)。其機理是(shi)在(zai)焊縫的(de)(de)一次(ci)結晶過程中，低熔點共(gong)晶在(zai)焊縫中心線(xian)聚集，并在(zai)熱(re)應力作用下形(xing)成。同時，應防止碳化物(wu)的(de)(de)形(xing)成導致(zhi)脆性和硬組織中的(de)(de)裂(lie)紋(wen)。
二是盡可(ke)能(neng)減少焊接缺陷(xian)的發生。