半導(dao)體工(gong)藝真空主要用于鍵合工(gong)藝,如蒸(zheng)發、濺射、等離(li)子(zi)體化學氣相沉(chen)積(ji)、真空干法刻(ke)蝕(shi)、真空吸附、測試設備、真空清洗等。半導(dao)體生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)制(zhi)造過(guo)程中容易(yi)產(chan)(chan)生(sheng)(sheng)(sheng)易(yi)燃、易(yi)爆、有(you)毒物(wu)質和(he)氣體,對生(sheng)(sheng)(sheng)產(chan)(chan)和(he)人員安全(quan)構成威脅。因(yin)此,半導(dao)體真空泵應用中的幾(ji)個安全(quan)注(zhu)意(yi)事項如下:
1.定(ding)期(qi)清潔(jie)真空泵和(he)其他附件(jian)、過濾器(qi)和(he)管道,以避免過壓。
在半導體真空泵的(de)應用(yong)中,當介(jie)質在(zai)介(jie)質提取過(guo)程(cheng)中通過(guo)反應室(shi)和真(zhen)空(kong)泵(beng)時,介(jie)質的(de)組成(cheng)(cheng)可(ke)能(neng)極其復雜。例如(ru),四(si)氯化(hua)(hua)硅和氧(yang)氣(qi)在(zai)泵(beng)口形成(cheng)(cheng)二氧(yang)化(hua)(hua)硅,而四(si)氯化(hua)(hua)鈦水解形成(cheng)(cheng)鹽酸。假設是油封機械泵(beng),這(zhe)些氣(qi)體(ti)物質也可(ke)能(neng)與泵(beng)油發生(sheng)反應。這(zhe)些變化(hua)(hua)假定形成(cheng)(cheng)顆粒(li)、可(ke)冷(leng)凝物或(huo)腐蝕性介(jie)質,它們可(ke)能(neng)阻塞真(zhen)空(kong)泵(beng)或(huo)管道(dao)系統,影響(xiang)真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)性能(neng),導致壓力上升或(huo)過(guo)壓,并造成(cheng)(cheng)更大的(de)風險。因此,有必要及時清(qing)理,必要時設置過(guo)濾(lv)設備。
2.有效稀釋有害氣體的濃(nong)度
半(ban)導(dao)體容易(yi)產(chan)生上述易(yi)燃、易(yi)爆(bao)和(he)有(you)毒(du)的(de)有(you)害氣(qi)體。因此(ci)(ci),在半(ban)導(dao)體真空(kong)泵(beng)的(de)應(ying)用中,當(dang)提取(qu)這些介(jie)質(zhi)(zhi)時(shi),有(you)必要防止在真空(kong)泵(beng)或排氣(qi)過程中發生一些不可控的(de)反應(ying)。例如,當(dang)與(yu)空(kong)氣(qi)或氧氣(qi)接觸時(shi),SiH4、PH3、AsH3、B2H6和(he)其(qi)他物質(zhi)(zhi)會(hui)引起燃燒甚(shen)至爆(bao)炸。當(dang)空(kong)氣(qi)中氫的(de)混合比例達到一定程度和(he)溫度時(shi),也(ye)會(hui)發生燃燒。這些都取(qu)決(jue)于物質(zhi)(zhi)的(de)數量(liang)及其(qi)與(yu)環境壓力和(he)溫度的(de)關(guan)系。因此(ci)(ci),當(dang)半(ban)導(dao)體真空(kong)泵(beng)抽取(qu)這些介(jie)質(zhi)(zhi)時(shi),在壓縮之(zhi)前,需(xu)要惰性氣(qi)體如氮氣(qi)將這些氣(qi)體稀(xi)釋到當(dang)前條(tiao)件下的(de)安全范圍(wei)。
3.注(zhu)意氧氣(qi)的濃度
如(ru)果空氣中的氧(yang)氣濃度過(guo)高(gao)(gao),也會發生燃燒和爆炸的危險。因此,在某(mou)些(xie)情況下,應注意氧(yang)氣的濃度,并應使用惰性氣體(ti)稀釋(shi)氧(yang)氣,以防止濃度過(guo)高(gao)(gao)。假設(she)油(you)封機械泵可能需要使用一些(xie)惰性氧(yang)兼容的真空泵油(you),并及時更換濾(lv)油(you)器和油(you)品。
4.防(fang)止溫度過高
理解這一點(dian)更容(rong)易(yi)。在(zai)半(ban)導體(ti)(ti)在(zai)真空泵中的應用(yong)中,有許多(duo)有害氣(qi)體(ti)(ti)。但是,無論是干(gan)式真空泵還是油封(feng)機械泵,如(ru)果泵腔內溫度過高,易(yi)燃、易(yi)爆(bao)和有毒氣(qi)體(ti)(ti)在(zai)高溫下很容(rong)易(yi)產(chan)生危(wei)險(xian)。
當我們使(shi)用真空泵時,我們需要注意(yi)導(dao)體使(shi)用中的安(an)全(quan)注意(yi)事項,并(bing)在以后的使(shi)用中做(zuo)好準(zhun)備。