深圳恒才真空泵以清潔無污染,而且擁有較寬的抽速范圍以及良好的節能、穩定、易維護等優勢廣泛應用于半導體行業,今天張工來給大家普及一下真空泵在半導體生業使用中不可忽視的安全問題。
半導體(ti)工藝真(zhen)空主要用在蒸發,濺射,PECVD,真(zhen)空干法刻蝕,
真(zhen)空吸附,測試設備,真(zhen)空清(qing)掃等等鍵合(he)工序,半導體(ti)生產制造(zao)過程中容(rong)易產生易燃易爆以及有毒(du)的(de)物質氣體(ti),會對生產及人(ren)員安全(quan)造(zao)成威(wei)脅,因此,半導體(ti)真(zhen)空泵應用時需要注意的(de)幾(ji)個(ge)安全(quan)事項:
1、定期(qi)清洗真空泵及其他附件、過(guo)濾、管道,避免超壓:
半導體真空(kong)泵(beng)應用時,抽取介質過程中經過反應室與真空(kong)泵(beng),其成(cheng)(cheng)(cheng)分可(ke)能(neng)極為(wei)復雜,如(ru)SiH4與O2在泵(beng)口形成(cheng)(cheng)(cheng)SiO2,TiCl4水解會形成(cheng)(cheng)(cheng)HCl;假設是油封式機械泵(beng),這些(xie)氣(qi)體物(wu)質還(huan)可(ke)能(neng)與泵(beng)油發生(sheng)化反。這些(xie)變化假設形成(cheng)(cheng)(cheng)顆(ke)粒(li)、可(ke)凝物(wu)或(huo)(huo)(huo)者腐蝕(shi)性(xing)介質,就可(ke)能(neng)堵塞真空(kong)泵(beng)或(huo)(huo)(huo)管(guan)路系統,影響真空(kong)泵(beng)性(xing)能(neng),造成(cheng)(cheng)(cheng)壓(ya)力(li)上(shang)升(sheng)或(huo)(huo)(huo)超壓(ya),第(di)一點(dian)中提到的危(wei)險性(xing)也更大。所以需(xu)要(yao)及時的清(qing)洗,并(bing)在必(bi)要(yao)的時候設置過濾設備(bei);
2、有(you)效稀(xi)釋有(you)害氣體的濃(nong)度:
半(ban)(ban)導體易(yi)產生前面所(suo)說(shuo)的(de)(de)易(yi)燃易(yi)爆(bao)、有毒的(de)(de)有害氣(qi)體。所(suo)以半(ban)(ban)導體真空(kong)泵應用(yong)中在抽(chou)取(qu)(qu)這些介(jie)(jie)質時(shi)(shi)(shi)(shi)就必須防(fang)止它們在真空(kong)泵內或者(zhe)排(pai)氣(qi)過程中發(fa)生一些不可控的(de)(de)反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物(wu)質,在與空(kong)氣(qi)或氧接觸的(de)(de)時(shi)(shi)(shi)(shi)候(hou),會引起燃燒(shao)(shao)甚至(zhi)爆(bao)炸;氫氣(qi)在空(kong)氣(qi)中的(de)(de)混合(he)比例達到(dao)(dao)一定程度(du)與溫度(du)時(shi)(shi)(shi)(shi)也會發(fa)生燃燒(shao)(shao)。這些都取(qu)(qu)決于該物(wu)質的(de)(de)量以及與環(huan)境的(de)(de)壓力、溫度(du)的(de)(de)關系。因此半(ban)(ban)導體真空(kong)泵在抽(chou)取(qu)(qu)這些介(jie)(jie)質時(shi)(shi)(shi)(shi),需(xu)要(yao)用(yong)氮氣(qi)之類(lei)的(de)(de)惰性氣(qi)體,在壓縮前即(ji)將這些氣(qi)體稀釋到(dao)(dao)當時(shi)(shi)(shi)(shi)條件下的(de)(de)安全范(fan)圍;
3、注意氧氣的濃(nong)度:
空(kong)氣中的氧如果濃度過高也會發生燃燒及(ji)爆炸風險。所以一(yi)些情(qing)況下需(xu)注意氧的濃度,采用(yong)(yong)惰(duo)性氣體來稀釋,防止(zhi)濃度過高;假設是(shi)油(you)(you)封機械泵可(ke)能(neng)還需(xu)要采用(yong)(yong)一(yi)些惰(duo)性的與氧相容的真空(kong)泵油(you)(you),并及(ji)時更換油(you)(you)濾和油(you)(you)品:
4、防止溫度過高:
比較容易(yi)理解這點,半導(dao)體(ti)在真空泵的應(ying)用中,有害氣體(ti)比較多,而無論(lun)是干式真空泵還是油(you)封機械泵,泵腔內溫度過高,高溫下易(yi)燃易(yi)爆(bao)及(ji)有毒(du)氣體(ti)就(jiu)會容易(yi)發(fa)生危險;
以(yi)上幾(ji)個(ge)方(fang)面就是半導體真(zhen)空(kong)泵應用(yong)中(zhong)最(zui)主要的幾(ji)個(ge)安(an)全事項,一定不可忽視(shi),張工說小問題(ti)對運轉、產量、效率和安(an)全都有聯系,我們應該延長(chang)真(zhen)空(kong)泵的使用(yong)壽命,努力(li)協(xie)調平衡,保證效率與安(an)全。