羅茨(ci)真空(kong)泵(beng)不能單獨(du)使用(yong)。必須配(pei)備前級(ji)泵(beng)。前級(ji)真空(kong)泵(beng)用(yong)于降低羅茨(ci)真空(kong)泵(beng)的(de)排出壓力(li)。由于羅茨(ci)真空(kong)泵(beng)的(de)壓縮比受到(dao)限制,因此選擇前級(ji)真空(kong)泵(beng)的(de)抽速。
重要的(de)(de)是,羅(luo)(luo)茨真空泵(beng)的(de)(de)最(zui)大(da)壓(ya)(ya)縮(suo)比隨(sui)排出(chu)壓(ya)(ya)力(li)而變化。在高(gao)排出(chu)壓(ya)(ya)力(li)下,最(zui)大(da)壓(ya)(ya)縮(suo)比高(gao)達(da)3:1,最(zui)高(gao)壓(ya)(ya)縮(suo)比為1至10 mbar。介(jie)于(yu)(1 mbar = 0.75 Torr)至50:1之間,甚至更高(gao)。因(yin)此,應根據羅(luo)(luo)茨真空泵(beng)的(de)(de)長期工作壓(ya)(ya)力(li)范(fan)圍(wei)選擇前級(ji)泵(beng)的(de)(de)抽速。
例(li)如,有一個系統使用羅茨真(zhen)空泵裝置抽(chou)空氣,在1毫巴的入口(kou)壓力下需要(yao)600升/秒(miao)的抽(chou)速,并且工作很長時間,詢(xun)問前級泵應(ying)該多(duo)少選擇。
首先假設使用(yong)30升/秒(miao)的前級泵,當K = 20時,壓(ya)縮比K = 600:30 = 20,從上圖開始(shi),最大排出(chu)壓(ya)力(li)為30毫巴。
因此,當使用30升/秒的前級泵時,在(zai)低于1.5毫(hao)(hao)巴(ba)(ba)的入口(kou)壓力(li)下(xia)(xia)工作是可行的,但是當在(zai)高于1.5毫(hao)(hao)巴(ba)(ba)的入口(kou)壓力(li)下(xia)(xia)操作時使用更(geng)大的前級泵。在(zai)這種(zhong)情況(kuang)下(xia)(xia),工作真空在(zai)1.5毫(hao)(hao)巴(ba)(ba)以下(xia)(xia)1毫(hao)(hao)巴(ba)(ba),因此30升/秒的前級泵可以滿足上述真空系統的泵送要求。
另外,應該考慮(lv)如果(guo)正常工(gong)作時間長于(yu)預提取時間,則可(ke)以(yi)(yi)選擇較小(xiao)的(de)(de)前泵(beng)。如果(guo)真(zhen)空室很大(da)并(bing)且需要預抽真(zhen)空,則需要使用較大(da)的(de)(de)前級泵(beng),有(you)時為了更(geng)好地利用設(she)備(bei)的(de)(de)效(xiao)率(lv),該裝(zhuang)置(zhi)配備(bei)了更(geng)大(da)的(de)(de)預泵(beng),這是正常運(yun)行后停止,并(bing)使用較小(xiao)的(de)(de)前級泵(beng)進行維護,以(yi)(yi)節省電力。
在選擇前(qian)級(ji)泵(beng)(beng)時,還必須(xu)考慮羅茨(ci)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)裝(zhuang)置的最(zui)終壓力(li)要求。對于(yu)極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)(高達1X10-3Pa~1X10-2Pa壓力(li)),兩級(ji)旋片式油封(feng)機械(xie)泵(beng)(beng)或(huo)兩級(ji)滑閥機械(xie)泵(beng)(beng)作為(wei)前(qian)級(ji)泵(beng)(beng)。極(ji)端(duan)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)需要一個單級(ji)油封(feng)機械(xie)泵(beng)(beng)作為(wei)(1X10-2Pa和(he)1X10-1Pa)之(zhi)(zhi)間的前(qian)級(ji)泵(beng)(beng)。極(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)要求介于(yu)133和(he)1333Pa之(zhi)(zhi)間。可以(yi)使用往復式真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)或(huo)液環真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)作為(wei)前(qian)部(bu)。
當(dang)選用(yong)往(wang)復式(shi)或液(ye)環式(shi)粗真(zhen)(zhen)空泵(beng)作(zuo)為(wei)羅(luo)茨(ci)真(zhen)(zhen)空泵(beng)的(de)前級泵(beng)時,前級泵(beng)的(de)抽(chou)速一般(ban)為(wei)羅(luo)茨(ci)真(zhen)(zhen)空泵(beng)的(de)1 / 2-1 / 4,不能太大,否則將(jiang)超過壓縮比(bi)。很大,導(dao)致羅(luo)茨(ci)真(zhen)(zhen)空泵(beng)的(de)排氣(qi)溫度很高,無法(fa)正常工作(zuo)。
選擇前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)時,還(huan)(huan)必(bi)須考(kao)慮(lv)泵(beng)(beng)(beng)(beng)送氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)中是否(fou)存在腐(fu)(fu)蝕性介質(zhi),是否(fou)含(han)有(you)可(ke)冷凝(ning)(ning)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti),無論是大還(huan)(huan)是小。如(ru)果含(han)有(you)腐(fu)(fu)蝕性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti),則不能使用(yong)油封機械(xie)泵(beng)(beng)(beng)(beng)。油封機械(xie)泵(beng)(beng)(beng)(beng)不適合泵(beng)(beng)(beng)(beng)出含(han)有(you)大量可(ke)冷凝(ning)(ning)蒸汽的氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)。否(fou)則,密封液將快速(su)乳化,并且將除去含(han)有(you)可(ke)追蹤(zong)可(ke)冷凝(ning)(ning)蒸汽的氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)。同(tong)時,還(huan)(huan)必(bi)須使用(yong)帶有(you)氣(qi)(qi)(qi)鎮裝(zhuang)置的油封機械(xie)泵(beng)(beng)(beng)(beng)作為前級泵(beng)(beng)(beng)(beng)。
為了在低入口壓力(1~100pa)下獲得高泵送速率,羅茨真空泵可用作另一臺羅茨真空泵的前泵的三級或四級單元。這時,羅茨真空泵兩者之間的抽速一般在2到5之間。
一般而言,選(xuan)擇前(qian)級(ji)泵的原則如下(xia):
1.需(xu)(xu)要由(you)前級泵(beng)操作主(zhu)泵(beng)所(suo)需(xu)(xu)的(de)預(yu)真空(kong)條件。
2.在(zai)主泵(beng)允(yun)許的(de)(de)最大排氣壓(ya)力下,前(qian)級泵(beng)必須及(ji)時(shi)排出主泵(beng)排出的(de)(de)最大氣體量。前(qian)級泵(beng)的(de)(de)抽速必須與泵(beng)在(zai)實際入口壓(ya)力下的(de)(de)實際抽速一致。
3.兼作預(yu)泵的(de)前級泵應滿足預(yu)抽時間和預(yu)真空度的(de)要求。
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