旋片式(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)主要是(shi)中小型真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)。旋片式(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)有兩種(zhong)類型的(de)單級(ji)旋片式(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)和兩級(ji)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)。所謂的(de)兩級(ji)旋片式(shi)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)是(shi)兩個串聯的(de)單級(ji)泵(beng)(beng)(beng)結(jie)構。通常,將其制成兩個階段(duan)以獲得更(geng)高(gao)的(de)真(zhen)空(kong)(kong)度(du)。
微(wei)(wei)電子(zi)學需要(yao)(yao)越(yue)來越(yue)小的(de)(de)電子(zi)元件和電路,以及更高的(de)(de)集成(cheng)要(yao)(yao)求。這(zhe)與真空技術(shu)的(de)(de)應用密(mi)不可(ke)(ke)分,特別是(shi)VLSI的(de)(de)微(wei)(wei)加工技術(shu)。幾何結構,超薄層生長(chang)技術(shu)和粒子(zi)束注(zhu)入技術(shu)的(de)(de)形(xing)成(cheng)都需要(yao)(yao)高質(zhi)量(liang),清潔的(de)(de)真空環境。依賴真空技術(shu)和設備(bei)。目前,今(jin)天(tian)的(de)(de)VLSI工藝需要(yao)(yao)真空條(tiao)件(旋片式真空泵可(ke)(ke)以提供(gong))。
因此,在微電(dian)子技術中,進(jin)口旋片式真(zhen)空泵在這方面(mian)起著一(yi)定的作(zuo)用(yong)。
微電子技(ji)術是一種(zhong)基于(yu)各種(zhong)半導體(ti)器件(jian)的高(gao)科技(ji)電子技(ji)術,以(yi)集成電路為核心。它具有體(ti)積小,重量輕,可靠性高(gao),工作速度快的特點。微電子技(ji)術對信息時代產(chan)生巨(ju)大影(ying)響。
微電(dian)子(zi)技術(shu)(shu)是(shi)在(zai)(zai)傳(chuan)統電(dian)子(zi)技術(shu)(shu)的(de)(de)(de)基礎上發展(zhan)起來的(de)(de)(de)。它(ta)被稱為(wei)“微電(dian)子(zi)學”,顧名思義(yi),因為(wei)它(ta)是(shi)一(yi)(yi)種(zhong)(zhong)小型的(de)(de)(de)先進技術(shu)(shu),其特點是(shi)“四微”:1它(ta)的(de)(de)(de)信號處理是(shi)固體(ti)(ti)中的(de)(de)(de)微觀(guan)電(dian)子(zi)。它(ta)是(shi)在(zai)(zai)運動(dong)中實現的(de)(de)(de); 2其工(gong)作(zuo)范圍(wei)是(shi)實心(xin)甚至是(shi)晶格級微區; 3信號交換只在(zai)(zai)很小的(de)(de)(de)范圍(wei)內(nei)(nei)進行; 4它(ta)的(de)(de)(de)體(ti)(ti)積(ji)很大,可(ke)以(yi)放一(yi)(yi)個(ge)(ge)電(dian)子(zi)功能(neng),甚至一(yi)(yi)個(ge)(ge)子(zi)系統集成(cheng)在(zai)(zai)一(yi)(yi)個(ge)(ge)微芯片上。簡(jian)而言之,微電(dian)子(zi)技術(shu)(shu)是(shi)一(yi)(yi)種(zhong)(zhong)獨(du)特而神(shen)奇(qi)的(de)(de)(de)特殊(shu)技術(shu)(shu),可(ke)在(zai)(zai)幾(ji)乎看(kan)不見的(de)(de)(de)范圍(wei)內(nei)(nei)工(gong)作(zuo)。
微(wei)電(dian)子(zi)(zi)技(ji)術(shu)也(ye)對電(dian)子(zi)(zi)產(chan)(chan)品(pin)的(de)(de)消費市(shi)場產(chan)(chan)生了深(shen)遠的(de)(de)影響。低成本,可靠,小巧輕便的(de)(de)微(wei)電(dian)子(zi)(zi)技(ji)術(shu)層出不窮。電(dian)子(zi)(zi)技(ji)術(shu)產(chan)(chan)品(pin)和(he)微(wei)處(chu)理(li)器不再是(shi)世界(jie)上專業科(ke)學(xue)儀器的(de)(de)貴族,而是(shi)定居在各種流行產(chan)(chan)品(pin)中,并(bing)進(jin)入普通人的(de)(de)家(jia)中。例如,電(dian)子(zi)(zi)玩具(ju),游戲(xi)機(ji)(ji),學(xue)習(xi)機(ji)(ji)和(he)其他家(jia)用電(dian)器。即(ji)使(shi)(shi)是(shi)傳統(tong)的(de)(de)汽車機(ji)(ji)械產(chan)(chan)品(pin)也(ye)已滲透(tou)到(dao)微(wei)電(dian)子(zi)(zi)技(ji)術(shu)中。使(shi)(shi)用微(wei)電(dian)子(zi)(zi)技(ji)術(shu),汽車安全防盜系統(tong),出租車計量(liang)裝置等的(de)(de)電(dian)子(zi)(zi)發動機(ji)(ji)監控系統(tong)已被廣(guang)泛使(shi)(shi)用,有(you)時甚至在現代汽車中使(shi)(shi)用。有(you)幾十到(dao)幾十個(ge)微(wei)處(chu)理(li)器。
本文主要介紹了旋片式真空泵在微電子工業中的成功應用。旋片式真空泵廣泛應用于冶金,機械,軍工,電子,化工,輕工,石油,醫藥生產和科研等部門。它已廣泛用于食品的真空包裝和塑料工業的真空成型。印刷業中的紙張傳輸,真空裝置和真空吸塵。