一、袖珍型超高真空插板閥
此真空(kong)閥(fa)(fa)門有手(shou)動、氣(qi)動驅動兩種方式,,在(zai)結構設計上(shang)合理,在(zai)外形上(shang)美(mei)觀(guan),并具有動作平穩、體(ti)積小(xiao)、使用(yong)可靠、密(mi)封性(xing)能好和壽命長等優點,能廣泛應用(yong)于超高真空(kong)設備中。閥(fa)(fa)門以壓縮空(kong)氣(qi)推動氣(qi)缸為動力,通過(guo)傳動桿(gan)推(拉)動連(lian)桿(gan)機構,帶著(zhu)驅動體(ti)沿軸向運動,驅動體(ti)通過(guo)擺桿(gan)與閥(fa)(fa)板連(lian)接,完成閥(fa)(fa)板開啟及(ji)關閉動作。閥(fa)(fa)門的介質為空(kong)氣(qi)及(ji)非腐蝕性(xing)氣(qi)體(ti)。
二、袖珍型超高真空插板閥特點
軸封(feng)為波(bo)紋管密封(feng),無潤滑(hua)劑(ji)設計;
閥體材料為(wei)不銹(xiu)鋼,整體剛性(xing)好,體積(ji)小,外形(xing)美觀(guan);
采(cai)用雙導軌軸承滾輪機構,運動平(ping)穩;閥(fa)板內整體式結構,支撐力均勻(yun)。
三、袖珍型超高真空插板閥參數
適用范圍:
1×10-5Pa~1.2×105Pa(全部(bu)氟膠圈密封)
1×10-6Pa~1.2×105Pa(波(bo)紋(wen)管密封)
打開時插板上的壓差:≤3×103Pa任(ren)意方向
閥(fa)體和閥(fa)座(zuo)漏率:1.3×10-7Pa·L·s-1
首次(ci)保養循環次(ci)數(shu):10,000次(ci)
閥體烘烤溫(wen)度:打開(kai)時(shi)≤200℃;關(guan)閉時(shi)≤150℃
安裝位置:任意
電源(yuan):交流(liu)220V 50Hz,6W或直流(liu)24V,3W(除(chu)了(le)上述規格外,特殊規格可定做)
閥門開啟或關閉時間(jian):≤3s
氣動壓縮(suo)空氣:0.4~0.7MPa
閥門位置指示
手(shou)動(dong)驅動(dong):帶有啟閉位置(zhi)指示(shi)(機械式(shi))
氣動(dong)驅動(dong):帶有啟閉位置指(zhi)示開關(磁性開關)