三、水冷高真空插板閥參數
類型: 插(閘)板閥(fa)?
驅動方式:手(shou)動∕氣動
閥體(ti)材料: 不銹鋼?
適用(yong)真空: 高真空?
適用范圍:
1×10-5Pa~1.2×105Pa(氟膠圈(quan)密封(feng))?
1×10-6Pa~1.2×105Pa(波(bo)紋管密封)
打開時(shi)插(cha)板上的(de)壓(ya)差(cha):≤2×103Pa任意方(fang)向
閥體和閥座漏率:<1.3×10-7Pa·L·s-1
首次(ci)保養循環次(ci)數(shu):10,0000次(ci)
安裝位置:任意
電源(yuan):交流220V? 50Hz? 6W或直流 24V? 3W(特殊規(gui)格可定做)
壓縮空氣:0.5~0.7MPa
閥門開啟或關閉(bi)時間:根據公稱通徑而(er)定
閥門位置指(zhi)示:帶有啟閉位置指(zhi)示開(kai)關(磁性開(kai)關)
閥門重量:以不同公稱通徑而定(ding)